mems陀螺仪项目商业计划书

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1、MEMS陀螺仪项目商业计划书MEMS陀螺仪项目商业计划第46页MEMS陀螺仪项目商业计划书第一章：摘要1.1项目背景陀螺仪器最早是用于航海导航，但随着科学技术的发展，它在航空和航天事业中也得到广泛的应用。陀螺仪器不仅可以作为指示仪表，而更重要的是它可以作为自动控制系统中的一个敏感元件，即可作为信号传感器。根据需要，陀螺仪器能提供准确的方位、水平、位置、速度和加速度等信号，以便驾驶员或用自动导航仪来控制飞机、舰船或航天飞机等航行体按一定的航线飞行，而在导弹、卫星运载器或空间探测火箭等航行体的制导中，则直接利用这些信号完成航行体的姿态控制和轨道控制。作为稳定器，陀螺仪器能使列车在

2、单轨上行驶，能减小船舶在风浪中的摇摆，能使安装在飞机或卫星上的照相机相对地面稳定等等。作为精密测试仪器，陀螺仪器能够为地面设施、矿山隧道、地下铁路、石油钻探以及导弹发射井等提供准确的方位基准。甚至在重型机械领域也有广泛的应用。由此可见，陀螺仪器的应用范围是相当广泛的，它在现代化的国防建设和国民经济建设中均占重要的地位。传统的陀螺仪是由高速旋转的转子，内环、外环和基座组成，这种陀螺仪的内外环通常是用滚珠轴承支承，这些通常是用机械加工方法制成，需要加工精度高，难度大，而且做成的陀螺仪体积大、重量重。MEMS陀螺仪，是基于MEMS(Micro-Electro-MechanicalSyst

3、ems)技术而制造的陀螺仪，它与传统的陀螺仪不同，几乎所有的MEMS陀螺都舍弃了飞轮的设计方法而采用振动型的设计,通过测量转动在振动体上产生的哥氏力所激发的正交振动来检测转动的角速度第46页MEMS陀螺仪项目商业计划书。MEMS陀螺仪由于其体积小、重量轻、成本低、可靠性高、低功耗、易于数字化等多种优势而广泛应用于航空、航天、兵器、汽车、生物医学领域。微机械使用现代半导体制造技术来制造机械结构，使得成本、尺寸、功耗、环境生存能力、工作寿命与传统技术相比有量级上的改进．如同半导体取代真空管，微机械传感器正逐步替代传统惯性传感器。目前，低性能传感器市场已经由硅微机械占据。微机械陀螺

4、的性能在很短的几十年内得到了迅速的提高，目前正由速率级向战术级精度迈进．从1991年起，根据随机游走系数定义的陀螺性能指标，体微机械和表面微机械陀螺的性能在每2年便以10倍的速度得到提高(图5)，表面微机械陀螺与体微机械陀螺的性能差距也正越来越小。生产成本、性能和可靠性是微机械陀螺商业化的关键因素．将产品成本降低到大规模汽车市场可接受的水平，需要精密微机械、高度真空封装、高性能接口电路和电子调谐技术。Draper和RockwellInternational从1993年开始合作将Draper的硅音叉陀螺商业化应用到汽车领域..其它许多公司也纷纷将各种类型的微机械陀螺推向商业市场。在一

5、个芯片上组合多轴微机械传感器是微机械惯性传感器的发展方向。目前已经有6自由度、手指甲大小的惯性测量单元(IMU)，其中组合了信号处理和控制电路。全硅结构、混合模式(体/表面微机械)第46页MEMS陀螺仪项目商业计划书制造技术、高纵横比深度干蚀刻技术与集成电路技术相结合，可以为未来高性能微机械陀螺提供需要的技术条件。通过牺牲层蚀刻、高尺寸比、具有高品质因子的厚结构和一致性材料特性及应用芯片级真空封装技术来制造亚微米结构间隙，将有助于微机械陀螺在性能上获得数量级的提高。深干蚀刻技术形成的厚、高尺寸比结构可以提供具有大尺寸振动结构的大的敏感电容，其有助于提高性能并简化封装。将结构间

6、隙缩小到亚微米级，可使偏差和控制电压下降到CMOS能够接受的水平。此外对于未来的高性能战术级和惯性级微机械陀螺，利用结构的动态电子调谐技术对温度进行补偿则有助于消除传感器的长期漂移影响。陀螺仪市场在很多应用领域都呈现高速增长的趋势。除汽车电子稳定系统和GPS接收机外，行业分析家认为MEMS陀螺仪将会在消费电子市场出现高速增长，例如，便携通信设备的运动用户界面以及摄像机和数码相机的图像稳定器。1.2公司背景飞恩微电子有限公司是由一批从海外归来的集成电路、MEMS及光电子封装、汽车电子等领域的技术专家和优秀管理人才组成的高科技企业。飞恩微电子有限公司依靠其优秀的技术和管理团队，依靠其在

7、海内外掌握的先进技术和丰富的实践管理经验，以汽车电子、工业电子和消费电子产品为核心业务，提供芯片（专用集成电路芯片、MEMS芯片）、MEMS传感器、MEMS传感器系统产品、测试设备等四大类产品，以及ODM/OEM服务。飞恩微电子有限公司开发、生产的MEMS压力传感器、汽车轮胎胎压监测系统（TPMS）、电流传感器等系列产品已经被多家知名的汽车制造商采用，并且基于低成本的ASIC和塑料封装技术正在进入消费电子领域。飞恩微电子已经开始一个基于SiC的功率电子封装研究项目，目