扫描电镜成像原理

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1、扫描电镜成像原理扫描成像原理如下图所示，电子枪1（钨丝枪或LaB6枪或场发射枪等）发射一束电子，这就是电子源，其最少截面的直径为d0，对钨丝枪而言大约为20～50μm（场发射枪大约为10～20nm)，这个小束斑经3和5两级聚光镜进一步缩小几百倍，最后再经物镜缩小并聚焦在样品面上，这时束斑10直径最小可到3～6nm（约小于扫描电镜的分辨本领），电子束打在样品上，就产生上节所述的各种信号。二次电子和背散射电子信号是最常用的两种信号，尤其是二次电子。信号由接收器取出，经光电倍增器和电子放大器放大后，作为视频信号去调制高分辨显示器的亮度，

2、因此显示器上这一点的亮度与电子束打在样品上那一点的二次电子发射强度相对应。由于样品上各点形貌等各异，其二次电子发射强度不同，因此显示器屏上对应的点的亮度也不同。用同一个扫描发生器产生帧扫和行扫信号，同时去控制显示的偏转器和镜筒中的电子束扫描偏转器，使电子束在样品表面上与显示器中电子束在荧光屏上同步进行帧扫和行扫，产生相似于电视机上的扫描光栅。这两个光栅的尺寸比就是扫描电镜的放倍数。在显示器屏幕光栅上的图像就是电子束在样品上所扫描区域的放大形貌像。图像中亮点对应于样品表面上突起部分，暗点表示凹的部分或背向接收器的阴影部分。由于显示器

3、屏幕上扫描尺寸是固定的，如14in(1in=25.4mm）显示器的扫描面积是267×200mm2，在放大倍数为十万倍时样品面上的扫描面积为2.67×2μm2如放大倍数为20倍时，则为13.35×10mm2。因此改变电子束扫描偏转器的电流大小，就可改变电子束在样品上的扫描尺寸，从而改变扫描电镜的放大倍数。　　扫描电镜的分辨本领一般指的是二次电子像的空间分辨本领，它是在高放大倍数下，人们能从照片中分清两相邻物像的最小距离。通常是用两物像边缘的最小距离来计算。但照片放大近十万倍后，边缘轮廓往往不十分清晰敏锐，难以测量准确。现在多数人喜欢

4、用两个亮点（或黑点）之间的中心距离来表示，像透射电镜的分辨本领测试一样，这种方法比较严格可靠。　　二次电子像和背散射电子像是最常用的两种成像模式。二次电子像是用二次电子探头取出二次电子信号而成的样品表面形貌像，这是扫描电镜的最主要和最基本工作模式，它的分辨率高、图像立体感强。背散射电子像是用背散射电子探头取出背散射电子信号而成的像，它的分辨率和像的质量虽不如二次电子像，立体感也差，但它可以得到样品中大致的成分分布值化、、二值图滤波以及二值图运算。　　图像二值化，是把灰度图像转化成为二值图像，即只有黑，白两种灰度的图像。设定一个灰度

5、值作阀值，图像中任何一个像素的灰度大于此值的则用白色（255）代替其灰度，小于则用黑色（0）代替。若经二值分割出的二值图不够理想则可用二值图滤波进行再处理。二值图滤波有①填洞。对整幅图像进行处理，把画面上一些孤立点滤掉。②腐蚀滤波。去掉一些与提取特征不相关联的部分。先设定一个一定小如3×3的矩阵，令此矩阵在图像的每个像素上移动，若矩阵的中心点在物体内，则一切不变；若矩阵中心点在背叉斑成像在物镜的前焦平面上，经物镜后电子束接近平行束并射到样品面上，它的发射角只侠定于双聚细境缩小的交叉斑对物镜的张角矛扫描系统工作于抓放大倍数禅戎，扫描

6、使电子束偏转中心仍在物镜光栏处；当然也可以用单偏转方式（关掉下扫描线圈电流），同时去除物镜光栏，这时电子束偏转中心在上扫描偏转线圈中心。　　对于小单晶样品可用会聚束摇摆法。让电子束以其在样品上的入射点为顶点而作摇摆运动。用单偏转方式（关掉下扫描线圈电流），去除物镜光栏。由双聚光镜形成的细电子束受上扫描线圈偏转后，进一步受到物镜的偏转和聚焦作用。调节物镜电流，使上扫描线圈的偏转平面与样品表面共扼，这样就使会聚电子束以入射点为顶点作摇摆运动。如果这时再改变物镜电流的大小，在欠焦和过焦的情况下，在荧光屏上有隐约可见的样品表面特征物的像。

7、当正聚焦时，特征物的放大像趋于无限大，而出现清晰的电子通道花样图像，这就是选区电子通道花样的正聚焦条件。这时打在样品面上的电子束斑的大小决定了通道花样的选区面积。因此调节两个聚光镜的电流，改变电子束斑的大小可以改变选区面积。当电子枪交叉斑正好成像在上扫描线圈的偏转平面处，而第一聚光镜缩小倍数又最小时，就可以获得最小的选区面积。一、分析测试步骤开机1、接通循环水（流速1.5～2.0L/min）2、打开主电源开关。3、在主机上插入钥匙，旋至“Start”位置。松手后钥匙自动回到“on”的位置，真空系统开始工作。4、等待10秒钟，打开计

8、算机运行。5、点击桌面的开始程序。6、点击［JEOL·SEM］及［JSM-5000主菜单］。7、约20分钟仪器自动抽高真空，真空度达到后，电子枪自动加高压，进入工作状态。8、通过计算机可以进行样品台的移动，改变放大倍数、聚焦、象散的调整，直到获得满