YST25-1992硅抛光片表面清洗方法.pdf

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1、中华人民共和国有色金属行业标准vs/T25一92硅抛光片表面清洗方法1主题内容与适用范围本标准规定了硅抛光片表面的清洗方法本标准适用于硅抛光片表面的清洗。经清洗后表面再现原来的状态。本标准不适用于表面存在环氧树脂之类有机残留物的硅抛光片的清洗2引用标准GB662魂硅抛光片表面质量目测检验方法3方法提要在有机试剂中将硅片进行超声清洗，用过氧化氢使其表面氧化，再用氢氟酸去除氧化膜而达到清洗表面的日的4试剂4.1氢氟酸:p1.15g/mL4.2过氧化氢:30。4.3水:电阻率大于2MO·Cm4.41,1,2一三氯乙烯(CCl}:CHC1).4.5月旨肪酸烷醇胺聚氧乙烯:即非离子型

2、表面活化剂。4.6表面擦洗溶液:非离子型表面活化剂:水=1:400(体积比)。5设备5.1超声清洗设备:工作频率2okHz,能使有机试剂加热到80'C.5.2擦片机5.3超净通风柜:环境洁净度为外界每升空气中。.5pm以上的尘埃粒数不大于3500粒的条件F,通风柜内每升空气中。.5pm以上的尘埃粒数不大干3.5粒。净化气流均匀，流线平行，初始平均风速为0.4^0.6m/s.5.4带盖石英烧杯其形状和容积能盛放装有硅片的片架5，5聚四氟乙烯烧杯:其形状和容积能盛放装有硅片的片架。5.6镊子和真空吸片器。6试样试样的抽样方案和数量由供需双方商定中国有色金属工业总公司1992一0

3、3一09批准1993一01一01实施YS/T25一92了清洗步骤了.，所有试剂及水在使用前都必须用0.2km的微孔过滤器过滤。7.2对所有与硅片和清洗液接触的器具都必须仔细清洗。有的器具可采用与7.3--7.9条相似的方法进行清洗。了.3在超净通风柜中将硅片放入片架，再把片架浸入到一个带盖的盛有份氯乙烯的石英烧杯中，将烧杯放人超声清洗装置中，在75'C卜清洗10士2min了.4从烧杯中取出装有硅片的片架，并将硅片放到擦片机上，按一般的使用条件用表面擦洗溶液将硅片擦洗一遍了.5在室内一般环境照明「检查是否存在可见的有机沾污物质。如有有机残留物则重复7.3-7.4条步骤的操作，

4、直至清洗干净767将盛放硅片的片架浸入到盛有沸腾过的过氧化氢(H月a)溶液的石英烧杯中，浸没5士。.5min将盛放硅片的片架放在90℃的水中连续漂洗10次，漂洗时硅片必须全部浸没78将盛放硅片的片架浸人到盛放氢氟酸的聚四氟乙烯的烧杯中，在室温下保持5士0.5min7.9按7.7条漂洗盛放硅片的片架7.10检查硅片表面是否疏水，即对水是否非润湿。7.10.1如果是疏水表面，则可按Gs6624的规定在窄光束下检查硅片表面是否有肉眼可见的颗粒物质。7.10.2如果不是疏水表面，则按7.3-7.9条重新清洗7.11硅片表面如果无可见的颗粒物质，则认为对硅片的清洗是合格的。7-12硅

5、片表面如果有可见的颗粒物质，则按7.3-7.9条重新清洗。附加说明:本标准由中国有色金属工业总公司标准计量研究所提出本标准由上海第二冶炼厂负责起草。本标准主要起草人沈听士本标准等效采用美国标准ASTMF612-83《硅抛光片表面清洗规程》