perc电池产业化技术介绍

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1、高效晶硅PERC电池产业化技术1.PERC技术简介常规电池背面的光学和电学损失制约了效率的提升。PERC技术提升效率机制——降低背面电学复合+增加内部光学反射。2.PERC电池结构从结构上看，PERC电池仅比常规电池多一个背钝化层，氧化铝是目前产业化最好的钝化介质膜。正面金属电极正面镀膜磷扩散制PN结全铝背场背面金属电极背面钝化叠层局部铝背场3.PERC电池生产流程增加2道工序双面制绒管式扩散背刻+边缘隔离正面镀膜背面钝化叠层：AlOx+SiNx背面钝化层激光开槽金属化后的PERC电池需改进工序4.背面钝化技术——1钝化原理：场效应钝化+化学钝化钝化效果监控：

2、少子寿命测试4.背面钝化技术——2钝化方式的选择：PECVD。关键设备：SiNA改造,费用￥1000万+/套。兼顾产能和效率5.激光开槽技术目的：打通背面绝缘叠层，形成背电场与硅基体的电学通路。关键设备：武汉帝尔,费用￥100万+/套。图形：选择不同的打线或打点方案，可实现相同的电池效率。532nm波长的纳秒级激光开线，约36um宽。6.背面抛光工艺目的：削平金字塔塔尖，减少背表面悬挂键，降低表面复合速率，增加内反射。方法：改进现有刻蚀工艺的化学配方，在去PSG和边缘隔离的同时进行背抛工艺。目标：化学蚀刻厚度5~6um，表面粗糙度0.3~0.5um.背面抛光效

3、果，500×7.扩散工艺匹配扩散工艺的改进匹配PERC工艺曲线常规扩散曲线改进常规扩散工艺，获得更佳的长波响应。8.背面局部金属化技术精选专用的低温浆料，配合特殊的烧结工艺，使得局部接触无空洞。无空洞局部接触9.电池效率分布图10.PERC单晶产品展示电池外观组件成品