环氧树脂改性超支化聚酯合成、性能及光致抗蚀剂的应用

《环氧树脂改性超支化聚酯合成、性能及光致抗蚀剂的应用》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、四川大学硕士学位论文环氧树脂改性超支化聚酯的合成、性能及光致抗蚀剂应用高分子科学与工程专业研究生柯旭指导教师王跃月摘要由于超支化聚合物独特的三维分子结构、分子之间无缠结，较低的黏度和较高的反应活性，因而适合作为U、r光固化的低黏度感光树脂。在实际应用中，如何提高超支化感光聚合物的感光活性、力学性能等是超支化感光聚合物的研究要点。论文选用双酚F型环氧树脂为核，以偏苯三酸酐、环氧氯丙烷的交替开环聚合，“一步”反应合成了改性超支化聚酯，再用甲基丙烯酸缩水甘油酯封端制备了感光聚合物。采用双酚F型环氧树脂对超支化聚酯改性，一方面有利于提高超支化聚酯的支化度，使超支化聚合物的多分散系数有所减小；另

2、一方面可以利用双酚F型环氧树脂优良的耐热性、耐湿性、绝缘性、加工性等性能。用傅立叶红外光谱(FTIR)、核磁共振但1NMR)、凝胶渗透色谱(GPC)、紫#t'--可见光谱(UV-Visspectra)、热分析(DSC，TGA)、粘度测定等手段对改性超支化聚酯进行了表征和研究。结果表明，超支化感光聚合物的粘度随环氧树脂的增加先增大到一极大值后下降，环氧树脂对超支化聚酯的改性，能够提高热稳定性，在光固化时具有较好的转换率和光敏性，力学强度，附着力均有较大的提高。研究了环氧改性超支化感光树脂的光活性，以该感光树脂配制了光致抗蚀剂，研究了光成像性及光刻工艺。环氧树脂改性超支化感光聚合物后，光致

3、抗蚀剂的初始凝胶时间to减小了4s，反差值丫曰d从0．240增大到0．653，最大凝胶率也有较大的增加；活性稀释剂HEMA有助于表干，而助剂KH570的加入有助于附着力的提高；经优化工艺后配制的光致抗蚀剂可以光刻出十分清晰，整齐的微纳米图形，图像清晰，断面情况好。关键词：环氧树脂，超支化树脂，光固化四川大学硕士学位论文EpoxyResinModifiedHyperbranchedpolyesters—Synthesis，PropertiesandAppficafionforPhotoresistMajor：PolymerScieneeandEngineeringPostgraduate

4、：XuKeSupervisor：Prof．YuechuanWangABSTRACTBecauseoftheentangling-freeanduniquethreedimensionalmolecularstructures，lowviscosity,hi曲solubilityingomlnonorganicsolventsandhighchemicalreactivity,hyperbranchedpolymerhasbeenconsideredasthebestresinforUVcurableapplication．Enhancingthereactivitytowardphot

5、opolymerizationandincreasingmechanicpropertyarethekeyissuesfordesigningnewhypcrbranchedphotopolymer．Hyperbranclaedpolyesters(ImP)mottledwithepoxyresinweresynthesizedbythe‘'one-step”ringopeningpolymerizationoftrimellitieanhydride(TMA)andepichlorohydrin(EC田，withbisphenolF(BPF)epoxyresinasthecore．T

6、hepolyesterswerefunctionalizedwithgrycidolmethacrylate(GMA)tointroduceacryloxygroups．IncludingBFEintotheI-IBPnotonlyincreasedthedegreeofbranching,reducingthedispersi够ofmolecularweightdistributionfortheI-IBP，buta／somadeuseoftheexcellentthermo-，mechanic，lowwaterabsorptionandelectricpropertiesofBFE

7、forHBP．ThestructuresandpropertiesofthesepolymerswerecharacterizedbyFT风H1m珉GPC，Uv，VOP，Photo-DSCandTGA．ItwasfoundthatviscosityofthehyperbranchedpolyestersincreasedwiththefractionofBFEandthendecreaseddownwhenfurtherincreaseofBF