ld泵浦全固态213nm深紫外激光器的研究

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1、山东师范大学硕士学位论文LD泵浦全固态213nm深紫外激光器的研究中文摘要激光二极管泵浦的全固态激光器(DiodePumpedSolidstateLaSers，DPssL)具有效率高、稳定性好、光束质量好、结构紧凑、寿命长等优点，是多年来的研究热点之一。紫外、深紫外激光器在微精细材料加工、光刻、光印刷、高分辨光谱学、微电子学、光生物学、超高密度光驱、紫外固化、医疗和科学研究等领域有广泛的应用前景。本论文围绕全固态213m深紫外激光器进行了理论和实验研究，论文主要内容概括为：1．介绍了全固态紫外、深紫外激光的应用，总结了当前全固态紫外、深紫外激光器研

2、究的国内外动态。2．介绍了非线性晶体中的相位匹配技术；总结了紫外倍频晶体的基本特性。3．从高斯光束矩阵变换角度出发，对谐振腔进行了简单的设计；在此基础上结合理论和工作要求，优化腔结构。介绍了声光调Q原理，比较了几种常用的掺钕激光晶体的特性；，探讨了获得最佳准连续1064砌激光的方式。4．分别选用腔内、腔外倍频的方案实现532m绿光激光输出。结合理论分析采用了KTP／BBO晶体实现腔外1064IlIIl四倍频产生266rlIn紫外激光。在注入泵浦功率10．3w、重复频率20kHz时，获得59mW的266m紫外激光输出，532m一266nm光．光转换效

3、率为9％，脉冲宽度8ns、峰值功率370w。5．比较了两种产生五倍频激光的技术方案，根据五倍频的转换效率公式，推出了当晶体长度为最优化长度时对应的五倍频转换效率：为使激光器的输出能量得到充分利用，分析了产生紫外激光时各光波偏振的匹配情况，采用1064衄和266rlⅡl和频的方案实现了213nm深紫外激光输出。关键词：213nIIl深紫外激光器，全固态，Nd：YV04，BBO，五倍频分类号：0437山东师范大学硕士学位论文Studyofdiode—pumpedall—solid—statedeepultraVioletLaserat213nmABST

4、RACTDiode-pumpedall—soli小statelasers(DPSSL)haVebecomeacenⅡaloffocusinthefieldoflasersduetotheirmanya“antages，suchashi曲e硒ciency，hi出stability，goodqualityofJi曲tbe砌，compactness，longIifet曲eandetc．All·solid—statedeepultravioletlasersare谢delyusedin廿1efleldofprecisematerialsmaking，opt

5、icalc11isel，opticalprintin＆spec廿oscopicanalysis，Inicroelectronjcs，medicaltreatmentandscientificreseardhingeneral．Thisdissertationpresentsrcsultsof也eoreticalandexperi王nentalresearchesonlasersbasedonall—solid—state213nmde印“travioletlaser．Thecontentscanbeoutlinedasfollows：1．Thead

6、v趾tagesaIldappliesofdiode-pumpedsolid—s诅teultravioletlasersareintmduced．ThemainapproachesaIldnewresultsofall—solid—statcultraVi01et1aserswithdiode—pumpedatpresentares嘲a打zed．2．蛳ducing血etheoWofnominear打equencydoubling，sum-fkquencya11dmephaSe—mafcllingtechnologyAnalyzillgt11echar

7、actersofeVerybndofnolllinearcf)，stal，theiradvantagesa11dshomIessarepresented．3．TheQ—sWitckdtecllIlologyandpriIlcipleofacoustic—opticalQ—switchedaresmnmarized．Analyzingthecharactersofsomekindoflasercrystals，theiradvalltagesaIldshomlessarepresented．Thebestworkwayof1064nmlaserisi

8、nvestigatedbytheoryarlalyzingandneedofourexp舐ments．4．1heconti