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《毕业设计（论文）-ld泵浦全固态紫外激光器的研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、摘要摘要LD泵浦全固态激光器从二十世纪八十年代以来获得长足的进步，紫外激光器因其在人眼安全波段，光刻的主要光源等重要应用，一直以来就是人们研究的热点。LD端面泵浦的全固态紫外激光器效率高、结构紧凑、光束质量好等优点而取代准分子激光器成为研究热点。作者也在紫外方面从理论和实验方面进行了深入细致的研究：在被动调Q理论的指导下，充分考虑了被动调Q晶体Cr:YAG的激发态吸收效应对脉冲激光器性能的影响，延伸了Degnan的被动调Q优化理论，直接给出了优化设计过程中我们最关心的被动调Q晶体的小信号透过率与输出耦合镜
2、的透过率关系，简化了设计程序。在高斯光束倍频理论的指导下，改进了传统的聚焦方式，使结构更为紧凑下，获得了更高的紫外功率输出，并且该结构可同时满足三倍频，四倍频的要求。在连续紫外的研究中，充分考虑到激光器输出镜的最佳透过率与倍频转换效率之间的关系，详细了计算了一定泵浦功率时的输出镜最佳透过率，并由此优化倍频晶体长度。设计了一台高性能的脉冲1064nm红外激光器，单脉冲运转，在输入泵浦为14.5W的时候，峰值功率高达10kW以上、脉宽10ns、脉冲能量为100μJ且脉冲序列稳定，单脉冲输出。腔外一次聚焦，两次
3、频率变换，获得了340mW的355nm脉冲输出，290mW的266nm脉冲输出，均为同等情况下国内所见报道的最好结果。采用简单的两镜腔结构，将二倍频、三倍频频率变换晶体同时放在腔内，还实现了355nm连续激光的输出，在泵浦功率为5.6W的时候，输出功率高达15mW，这是目前报道的最好结果。关键词：紫外激光器，优化，被动调Q，最佳聚焦，频率变换29ABSTRACT29ABSTRACTAbstractLDpumpedallsolidstatelaserhasbeendevelopedgreatlysince1
4、980s,Astheuseinphotophobia,interestsinSolid-stateUVlaserhasincreasedduetotheadvantagesofthehighefficiency,impactstructure,betterbeamqualityandhighoutputpower.BasedonthetheoryofpassivelyQ-switchedlaser,theeffectofexcitedstateabsorptionofthepassivelyQ-switc
5、hedcrystalCr4+:YAGonthepulselaserwasconsidered,astheextendofDegnan’soptimizationofpassivelyQ-switchedlaser,therelationbetweenthesmall-signaltransmissionoftheabsorberandthereflectivityoftheoutputcouplerwasobtained,simplifythedesign.Underthedirectionoftheth
6、eoryoftheGaussbeamfrequencyconversion,amorecompactstructurethatsatisfiedtherequirementofboththirdharmonicgenerationandfourthharmonicgenerationwasgot.Forthecontinuousultravioletlaser,therelationbetweentheoptimumtransmissionoftheoutputcouplerandefficiencyof
7、frequencydoublingofthelaserwasconsidered,thenwegottheoptimumcrystallength.Designastable1064nmpulselaserwithTEM00mode,peakpowerabove10kW,pulsewidth10nsandsinglepulseenergy100μJwasobtained.Usedafocussphericallens,twocrystalplacedaroundthelensfocusposition,.
8、whenthepumpingpowerwas14.5W,266nmpulselaserwithaveragepower290mWand355nmpulselaserwithaveragepower340mWwereobtained,bothwerethebestresultreportedinthecountry.Usedthesimpletwomirrorscavity,twofrequencyconversioncryst
