线锯工序(hct线锯工艺规范)

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1、http://www.docin.com/weitong2010线锯工序线锯工艺规范HCT共页第页171一.目的：加工多晶硅片二．使用的工具刀片洗瓶铲子扭矩扳手常用工具一套电叉车换导轮车焊接机三．必备的劳保用品一次性医用手套护目镜防滑工作鞋布围裙防水套袖工作服工作帽四．使用的主要原材料无水乙醇布基胶带钢线滑轮外套绝缘转子浆料五．质量控制点·搬运装载晶棒；·分线网切割位置调整；六.工艺流程更换放线轴→线网准备→切割前准备→晶棒装载→设零点→热机→整理线网→热机检查→自动切割→机床监视→运行结束→移除旧线冷却晶棒

2、→取片七．工艺步骤更换放线轴更换放线轴更换放线轴更换放线轴①去除张力(右图红色按钮）。②剪断钢线，然后用磁铁将线头固定在机床内壁上。③拆除线轴螺丝，拿走法兰盘，用工具车取下旧线轴并放到指定区域内。1.资料来源编制审核工艺标准化提供部门标记处数更改文件号签字日期批准1http://www.docin.com/weitong2010http://www.docin.com/weitong2010线锯工序线锯工艺规范HCT共页第页172④用毛巾清洁适配器和法兰盘，并用工具车准备好新收线轴，破线端口表面毛刺用锉去除。

3、⑤安装上新线轴。用定位销固定方向。确保线轴位置正确。首先将扭矩扳手调到100N.m将螺丝拧紧，再调到180N.m进一步紧固螺丝，紧固须按下列步骤：销子卡位-紧螺丝-转线轴180度卡位-紧固。如此反复几次到250N.m。这样线轴的受力均匀而且紧固。部分机床收线轴排线，采用液压锥形轴，当切割结束时，关闭绕线室，锁好门，点击“钢线控制”把钢线弹出，用手把旧线拆卸到旧线箱内，擦净法兰盘及锥形轴测距仪，重新上好法兰盘螺丝。⑥测量排线：用钢板尺测量收线轴排线区域内外壁到机床壁的距离，比如测量值分别是54mm、364mm。

4、把内排线位置设置为54mm，点击“排线内侧位置按钮”，待排线单元静止后，测量滑轮外套的外边缘到机床壁的距离,比如：测量值是67mm,那么排线单元的真实位置是：67-13=54mm(13mm为滑轮外套厚度的一半)。此时说明排线单元位置是正确的，如果不相符，请技术员做位置校正。预热完成后，如果排线不正常（凸起、凹陷等），继续测量并调整排线设置直至正常。2.2.2.2.装载定位硅棒装载定位硅棒装载定位硅棒装载定位硅棒2http://www.docin.com/weitong2010http://www.docin.

5、com/weitong2010线锯工序线锯工艺规范HCT共页第页173②启动主驱动，让线结缓慢的通过滑轮到达线导轮后停止，调整线结的方向，按照图2标示方向旋转几圈，然后搭接在线网上表面，这样能防止线结头被其他钢线卷入线网而导致断线。用手辅助线结进入线网一段距离。线结儿走过200-300m后改成高张力走线。0.14mm钢线（24；22N)，0.12mm钢线(22；20N)。0.13mm钢线（22；20N)，0.11mm钢线(19;19N)，0.10mm钢线(15;15N)⑤整理跳线：由于槽内存在颗粒物，将钢线挤

6、出原来的线槽，钢线进入其他线槽而形成跳线。上下导轮垂直方向两个线槽中，只有一个跳槽的，称为单向跳线，可以用手校正，使钢线恢复原位。下导轮跳线时应该用手压住该跳线的上方区域，同时正转线网，直至拇指压住的区域到达下导轮；上导轮跳线处理方法相反。（下导轮单向跳线处理图片）上下全部跳槽的，需要用胶带粘住“未跳线”区域的部分线网，整体向前（跳线位置在线网后半部分）或向后（跳线位置在线网前半部分）转动线网，以校正跳线。（胶带方法整理双向跳线图片）3http://www.docin.com/weitong2010http:

7、//www.docin.com/weitong2010线锯工序线锯工艺规范HCT共页第页174③启动主驱动，激活wirebreakcontrol，关门上锁。线速度控制在15m/s以内，注意随时从观察门观察线结状态，如有异常（线网有缝隙等）马上停止，检查并修复。④等线结快出线网时（图4），降低速度，并用手辅助线结缓慢的通过线网末端，在线网形成处，慢慢前进，以避免线结出线导轮时相邻钢线“撞开”线结。这可能会导致钢线断开，进而整个线网全部散开。图4⑤把线结绕到收线轴上几圈后，再检查线网有无跳线、交叉等现象。更改高张

8、力，转动线网，使整个线网的分布均为高张力。4.4.4.4.切前准备切前准备切前准备切前准备在开始切割之前，必须检查以下内容：·钢线是否足够，在控制面板上检查钢线长度·输出轴上的间空是否足够切割·检查张力壁的垂直位置是否合适·排线位置是否适当及调整是否正确·检查滑轮外套（A正常）是否切深夹线，滑轮方向是否适合钢线，钢线偏的话调整滑轮方向4http://www.docin.com/weitong2010