(t-is-016)线锯工序(东京制钢工艺规范)

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1、设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016产品型号名称太阳能硅片共11页第1页一、目的加工多晶硅片二、使用工具扭矩扳手、气动枪、丝杠（短、中、长）三个、工具车两台、刀片、布基胶带、气瓶、铲子、常用具一套、焊接机三、必备的劳保用品：一次性医用手套、护目镜、防滑工具鞋、布围裙、防水套袖、工作服、工作帽。四、使用的主要原料：无水乙醇、钢线、滑轮外套、浆料、润滑油。五、质量控制点1搬运装载晶棒；2分线网切割位置调整；3依照《粘接工序工艺规范》对晶棒进行定位检查。六、工艺流程↗线网整理（过线节、带跳线）切割前准备→晶棒装载→切割前检查→热机→开始自动切割→整理现场↘线轴更换取片←冷却硅片

2、←确认切透←检查切割深度←切割结束←监视机床运行七、机床通断电步骤1、通电・确认电器柜内已闭合无熔丝断路器（以下简称NFB）1-5；闭合NFB1，请将位于电器柜正下方的“ＵＰＳ”通电。长按UPS开关键3秒即开启。资料来源编制审核工艺提供部门标准化标记处数更改文件号签字日期批准11设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016共11页第2页12345・确认主操作板的触摸屏警报菜单显示。当有任一警报显示时，确认其内容后，按压报警菜单上的“异常归零”，进行警报复位。・当按压主操作板上的运转准备按钮6时，按钮灯亮，变为“运转准备ON”762、断电・确认张力解除后按下紧急停止按钮7；・关闭

3、UPS电源;长按UPS开关键3秒即关闭；・关闭机床总电源。八、工艺步骤1、收放线轴准备11设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016共11页第3页・让主操作板的触摸屏上显示为“绕线模式”。・缠绕作业按照正方向（即自A线轴至B线轴方向）操作。・点击8、9键让线轴移动平台由里向外移动。待线轴移动到最外端时，按下10、11键将A、B轴毂固定，使用扳手将轴毂前端的六角螺母松开.101198・将新线轴放在A轴的移动滑台上，钢线旧线轴放在B轴的移动滑台上，分别将线轴推入轴毂上，推到底即可。・利用扳手拧紧六角螺母，固定线轴。拧紧即可不必用力太大。2、导轮更换（1)拆卸主辊１）将轴承箱下方的压

4、缩空气管拔出，用胶带将端口包好，防止进浆料。２）取下前面轴承箱的盖子。３）拧松连接主辊的螺栓，将其与栓帽一起卸下。4）卸下固定前面轴承箱的螺栓（Ｍ１０×３０，４个）。11设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016共11页第4页５）将前轴承箱后面的V形密封圈挪到导轮处。６）插入中长丝杆，在0.5Mpa气压下将气动枪调至4档，并接通气源。启动气动枪将导轮与机床里侧的轴承箱分离。反向旋转取出丝杆。这时，将轴承箱向前滑动5mm，拧紧后取下螺杆。7）插入短丝杆，同样用气动枪将前轴承箱与导轮分离，然后将轴承箱向外滑动5mm，取出短丝杆。11设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-01

5、6共11页第5页８）放入拆卸线轴用的长丝杆。９）将前侧轴承箱往前移。取下来的时候，在轴承箱外围上面安装吊起螺栓，将轴承箱吊起。动作要轻，防止轴承箱壁与机床发生磕碰。１０）然后将导轮移至前面。１１）使用吊起主辊用的工具将主辊吊起，取下长丝杆。更换作业结束。的固定销.（2)主辊的安装１）确认主辊以及轴瓦部分是否有损坏等，用干净的抹布蘸酒精擦拭导轮的锥形面和前后轴承箱的锥形面及外轴承箱的轴套，如果有毛刺或硬伤凸起，用1200#砂纸打磨平。（因为轴瓦等部位有脏污将会影响导轮的振动。）２）将长丝杆插入拧紧，让后轴承箱的两个固定销摆到竖直位置与上面的凹槽对齐，将导轮安装上，导轮的两个固定孔也转到竖直

6、位置，注意要将有字（标记）的一面朝外。推入导轮,使导轮的固定孔准确的对入轴承箱。3）放入V形密封圈，先套在导论上，要注意V形密封圈的方向,软边朝向外轴承箱。在安装轴承箱的轴套上均匀的抹些润滑油.(记住先上导轮后抹油)4）将擦干净的前轴承箱吊起,套入长丝杆,把固定销旋转至竖直位置,顺着丝杆轻轻推入,手动调整轴承箱的位置,使其吻合的对入轴套,若发生倾斜偏移用橡皮锤轻轻敲打使其校正.推入轴承箱使固定销对入导轮的固定孔.拔出长丝杆.11设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016共11页第6页５）插入连接主辊的螺栓，用气动枪拧紧。・ＧＴ－１６００ＶＰ（气动枪）：４档转矩２０４０kgf・c

7、m（空气压力０．５ＭＰａ）６）安装轴承箱的螺栓（Ｍ１０×３０４个）拧紧，固定轴承箱。７）安上轴承箱的盖子,插入压缩空气气管.(3)调整排线单元１）排线单元幅度的确认方法如果出现以下情况，则必须调整排线单元的幅度。11设计文件名称线锯工序东京制钢工艺规范T-IS-016共11页第7页２）排线单元的卷状出现不良时的修正方法除切割以外的时候，在机械下方的操作板上将排线单元轴设置到“里侧移动极限”。然后将线轴位置移动到线轴钢线的出线位置。接