捷佳伟创晶体硅电池高温扩散炉的培训资料全

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1、捷佳伟创晶体硅电池高温扩散炉的培训资料制作单位：深圳捷佳伟创集团公司日期；二零一一年四月二十五日目录1设备介绍2设备结构3工艺控制4人员操作5设备的保养设备介绍1设备用途2产品特点3主要技术指标4技术特点设备用途晶体硅太阳能电池制造中硅片的扩散掺杂通过扩散所形成的PN结，就是晶体硅太阳能电池的核心太阳光照到PN结上，产生电子的定向移动，产生电流产品特点串级温度控制精度高，恒温区稳定、真实工艺舟软着陆闭管扩散工艺气体流量精确性价比高具备手动/自动功能主要技术指标1电阻率误差范围：±5ohms/sq2温度控制范围：350～1300℃3

2、温度控制方式：5段智能串级温度控制器进行控温4恒温区长度及精度（动态,即模拟工艺状态）：350～600℃≤±1℃/1100mm600～1300℃≤±0.5℃/1100mm5温度斜变能力：A．最大可控升温速率：15℃/min；B．最大降温速率：6℃/minC．RT→1100℃≤90min6具有自动斜率升温及恒温功能。7设置有超温、断偶、断点启动等自动保护系统8送舟方式：采用SiC悬臂桨自动送片机构，舟速20～1000mm/min连续可调，可选自动装卸舟9配备快速冷却系统10工艺方式：软着陆＋闭管扩散（最大装片量400片/批）11工艺

3、过程由工业计算机全自动控制，直接在触摸屏上操作。12可存储200条工艺曲线、每条曲线不少100个拐点。13最大升温功率：42KVA/每管技术特点5段自动适时恒温区工艺舟软着陆闭管扩散数字式MFC精确控制气体流量自动装卸舟技术特点——5段自动适时恒温区在1100mm的恒温区范围内，采用5点Profile热偶配合炉壁热偶进行串级温控温控元件应用高精度智能温控器完整的控制方案确保从低温到高温状态下，炉管内恒温区的持续与真实性。技术特点——5段自动适时恒温区+PID1PID2触发器温度设定值4~20mA输出4~20mA输入温变器温控仪38

4、0V380V380V温度串级控制示意图++++技术特点——工艺舟软着陆技术特点——数字化控制，消除了模拟变量传输的干扰悬臂桨的进出料运动与软着陆的上下运动，均运用通讯控制的256细分马达驱动器，防止运动过程中的阻步、丢步现象，从而确保机械运动的高度稳定与重复性。数字式MFC的运用，确保了反应气体流量的控制精确、稳定、无干扰，对工艺生产的重复稳定控制具有非常有益的帮助，通过配合串级温度控制，可极大的提高工艺批次间的品质。同时具备手动设置调整功能，极大的方便设备测试、维护工作的开展。技术特点——自动装卸舟（机械手）自动装卸舟功能的实现

5、将大大的提高扩散工序的自动化操作程度高度的重复性，避免了人工操作的随意性对工艺产生的影响。全套动作由独立监控电脑控制，各种动作通过电机与导轨配合自动完成，系统通过与各管工位现场计算机及到位传感器进行联锁，保护舟及反应片的安全。设备结构1.DS-300A型管式高温扩散炉：控制部分、推舟净化部分、炉体加热部分、气源部分。2.外围3.工装夹具：石英舟舟托架DS-300A型管式高温扩散炉控制部分推舟净化部分炉体加热部分气源部分控制部分位于控制柜的计算机控制系统分布于各个层面，但每个层面的控制系统都是相对的独立部分，每层控制对应推舟、炉温及

6、气路部分，是扩散/氧化系统的控制中心。在每层相应的前面板上，分布有触摸屏，状态指示灯、报警器、急停开关和控制开关。控制部分是我们调节工艺参数的主要途径。控制部分工控机软件功能强大,人机接口界面友好:⑴有工艺程序集中编辑功能。⑵有计算机手动调试界面。⑶工艺运行中,可方便地实现跳步﹑在线编辑﹑修改。⑷具有程序断点启动功能。⑸具有超温﹑断偶报警保护及自动斜率升降温和故障自诊断功能。⑹能存储200条以上工艺曲线。(7)全中文图示，直观、易懂、方便推舟净化部分推舟净化柜的顶部装有照明灯，正面是水平层流的高效过滤器及推舟的丝杠、导轨副传动系统

7、，SiC悬臂桨座，丝杠的前端安装有驱动步进电机，导轨下端按有限位开关。平移马达限位保护开关净化系统SIC桨上下马达推舟净化部分精密直线导轨副配合精密丝杆副传动步进电机及数字通讯驱动器作驱动计算机通过通讯方式给驱动器发出控制信号可精确控制步进电机256细分，达到稳定可靠转速推舟的速度在20～1000mm/min内无级变化工艺反应过程中，悬臂桨外置，实现真正的闭管扩散自动机械手实现自动装卸舟功能，实现高度自动化炉体加热部分主要工艺控制点：炉门炉体（热电偶加热丝）温控表主要参数设置方法炉体加热部分1）功率部件变压器为低压大电流输出，原边

8、以380V三相供电，设备中任意一管工作，都不影响电网负荷的平衡。采用周波过零触发技术，克服了对电网的二次谐波干扰。2）炉体优良热场设计，既有良好的热场均匀性，又能保证升、降温的速度。3）炉丝进口一级康泰尔丝，保证长寿命炉体加热部分c10.93010