物性分析实验室Я

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1、NTUSTPolymerEngineering-物性分析實驗室一聯絡人：胡先生分機：6542E-Mail:wjhu@mail.ntust.edu.tw掃描式電子顯微鏡(ScanningMicroscope)名稱：掃描式電子顯微鏡廠牌：JEOL放置地點：E1-243負責老師：蘇清淵負責技術員：胡吳俊負責助教：何宗育購置年月：79.10.23購置金額：$1,869,986儀器狀況：正常本系(A):$140元/時段校內外系(B):$700元/時段校外(C):$1,400元/時段儀器簡介：如后掃描式電子顯微鏡ScanningMicroscope—、測試目的：1.了

2、解掃描式電子顯微鏡的基本原理。2•使用掃描式電子顯微鏡觀察纖維的構造和表面形態二、構造原理:掃描式電子顯微鏡的原理與電視相類似o當試樣受極細的電子探束照射，即自試樣表面發生二次電子、反射電子、吸收電子、透過電子、陰極螢光及X射線等各種量子。這些量子的發生率，因試樣被照射點的幾何形狀，構成物質及其它物理性質而異。因此電子探束之照射點在試樣面上掃描時，如果試樣表面形狀、性質等情況有所變化，則自試樣所產生的量子發生量也會隨之而變。如此經由偵測器檢出、增幅器將之放大，最後可在陰極射線管面上，得到試樣表面之影像。故掃描電子顯微鏡的觀察，是以極小的電子探束，掃描於試樣

3、表面而得。三、操作說明：仁開機:a.開冷氣。b.開穩壓器。a.開冷卻循環水（由右到左向上開）。a.SEM主機以鑰匙開機ON■>STAR-ON。b.約30分鐘後，HTREADY出現，方可使用。2•按VENT鍵，待真空回壓後，放入電鍍完成之樣品。3•關上真空室，壓住，按EVAC鍵，開始抽真空，真空達100%後，方可進行下一步驟（真空約10%左右，手可鬆開）o4•面板顯示：1kv5•按下HT鍵，加速電壓開啟，瑩幕開啟。6•按ACCV△調至15kv（或20kv）。7•以LSPI調整二次電子飽和點，再將FLIAMENT轉至固定位置。8•按TV鍵，並以X、Y轉軸找到樣

4、品點。9•按PICI鍵確認位置。10•按EXP鍵，調整（配合MAGNIFICATION及FOCUS）。"•調整EXP正確曝光量。12.SETFILMDATA。13•放入底片。14•抽出相機之曝光遮板，按SHUTTER開始拍照。15•拍照完後，取出底片。16•換樣品注意事項:a.FILAMENT轉至左底。b.ACCV▽至Ikv。c.HToffod.按VENT鍵破真空。e.開啟真空室，以六角扳手鬆開樣品支座，更換樣品並固定。f.接續步驟3o17•關機步驟：a在HTREADY下執行。b.取出樣品，抽真空。c.POWER之鑰匙OFF。d•約15分鐘後，關冷卻循環水

5、（由左至右關閉）。四.注意事項：a.試片最大直徑10mm,最大高度10mmob.容易吸附水份的試片應先於真空乾燥皿中存放。c.試片有油污、腐蝕或其它粘附務時，應先以超音波清洗乾淨。d.試片應確實固著於試片載台上，避免鬆動掉落而毀損真空系統。e.試片取樣及清洗處理後，不可再用手接觸，所有後續工作如粘附、電鍍、放置試片進SEM等均以工具輔助之。