北方微调试方案.doc

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1、微电子装备楼等4项工程项目洁净空调系统调试方嗓编制：审核：批准：中国电子系统工程笫四建设有限公司北方微电子项目部2011年4月目录一、系统概况2二、调试依据2三、测试流程3四、调试测试41.单机试运转42.坏境保洁43.空吹44.系统总风量测试方法：45.风平衡调整56.洁净区静压差测试67.洁净度测试：（静态）78.洁净区照度测试99.洁净区噪声测试10口u中电四公司微电子装备楼等4项工程项目洁净空调系统调试方案一、系统概况微电了装备楼4项工程项目洁净区在1#建筑一层，洁净区面积大约8000余平方米，分为东区和西区两部分。洁净区分为4个级别。东区：J5级区域：P10

2、8检测区；J6级区域：P110PVD区、P112刻蚀区、P115净化清洗区、P119LED清洗包装区、P117aLED刻蚀区、P117bLED黄光区;J7级区域：P120b净化走道;J8级区域：P120a净化走道、P102更衣间、P122净化仓库、P123研发试验区、P121机电装配区、P130大型零件来料区、P129RFLAB；洁净空调形式：1.MAU（JK-1/2）+FFU（424台）+DCC（47台）,服务于J5、J6级区域;2.MAU（JK-1/2）+RCU（12台）+HEPA（148台），服务于J7、J8级。西区:J7级区域:P101制绒/清洗/刻蚀/去PS

3、G；J8级区域：P102扩散间、P103扩散灰区、P105PECVD区、P106丝印烧结、P107包装区、P108PECVD设备组装试验区洁净空调形式：1.MAU（MAU-1/2）+HEPA（20台），服务于J7级区域；2.MAU（MAU-1/2）+HEPA（20台）、RCU（9台）+HEPA（68台），服务于J8级（除108外）区域；3.AHU（AHL-1/2）+球星喷口（38台）、RCU（4台）+球形喷口（19个），服务于P108房间。非洁净空调系统：两台AHU机组（K-1/2），服务于一次更衣间、换鞋间、预留净化区、非净化仓库、大型设备放置区、周转卸货区、门厅、

4、值班室、办公室、参观走廊等区域二、调试依据2006-01-10GB50243-2002GBJ50073-20011.《微电子装备楼等4项工稈项目-设计图纸》2.《通风与空调工稈施工质量验收规范》3.《洁净厂房设计规范》三.测试流程调试准备r拆除机组临时固定件人清洁机组内部单机试运转1坏境保洁认检查风机电机的「•作电流九初效过滤器加无纺布保护洁净区回风口加无纺布保护打开系统全部风阀5.点动检查风机转向、调试测试1.单机试运转厶首先拆除机组的临时固定间，并对机组功能段内部进行清洁处理，检查风机箱内是占有异物。丄开启系统上全部风阀，包括机组风阀、电动风阀、防火风阀、末端的全

5、部风阀。&在机组的初效过滤器以及所有末端冋风口处安装无纺布对系统进行保护。丄能够进行手工盘动的传动机构应先手盘检杳，确认旋转无阻碍。亠点动确认风机转向正确。亠将机组风机逐步提高到工频（50Hz）,检杳风机的工作电流并对着机组铭牌进行检查。需注意开启时间不应过长，且开启时最低工作频率不低于25Hzo丄单机试运转前丿应对洁净区环境进行彻底保洁。2.环境保洁丄对洁净区以及冋风夹道内的环境要彻底保洁。3.空吹厶MAU、AIILRAU以及全新风系统的JK机组等同时以30~40IIz的频率下运行。亠空吹时间建议不低于48小时丄检查系统阀门的开启状况，同时对房间的压力情况进行监视

6、，避免房间的静压过大对壁板或顶部造成损害，对于静压过大的房间须打开房门泄压。&对无风的送冋风口进行处理。丄空吹完成麻安装高效过滤器滤芯及FFU1.系统总风量测试方法：丄总风量测试前再次确认系统阀门的状态：对于全新风系统上所有的阀门都应处于全部开启状态；对于循坏机组系统的新风阀开启度调整到60^70%的程度，系统上其他阀门均处于全部开启状态。丄采用热球式风速仪在各机组的主干管的直管段上对风速进行测试，换算成总风量。、调试测试1.单机试运转厶首先拆除机组的临时固定间，并对机组功能段内部进行清洁处理，检查风机箱内是占有异物。丄开启系统上全部风阀，包括机组风阀、电动风阀、防火

7、风阀、末端的全部风阀。&在机组的初效过滤器以及所有末端冋风口处安装无纺布对系统进行保护。丄能够进行手工盘动的传动机构应先手盘检杳，确认旋转无阻碍。亠点动确认风机转向正确。亠将机组风机逐步提高到工频（50Hz）,检杳风机的工作电流并对着机组铭牌进行检查。需注意开启时间不应过长，且开启时最低工作频率不低于25Hzo丄单机试运转前丿应对洁净区环境进行彻底保洁。2.环境保洁丄对洁净区以及冋风夹道内的环境要彻底保洁。3.空吹厶MAU、AIILRAU以及全新风系统的JK机组等同时以30~40IIz的频率下运行。亠空吹时间建议不低于48小时丄检查系统阀门的开启状