机械系统运动方案设计课件.ppt

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1、J60型单晶炉主要技术指标1.电源:三相50Hz380±10%2.冷炉极限真空度:6.67×10-3Pa3.充气压力:0.08MPa4.炉体尺寸炉腔内径:¢600mm炉腔内部高度:900mm付室尺寸:¢200mm×100mm5.籽晶杆拉速(i=67×67谐波减速)0.5~10mm/h晶体生长系统设计(一):6.籽晶杆快速手动7.籽晶杆转速5~100rpm8.籽晶杆炉内引程500mm9.坩埚杆炉内引程100mm10.坩埚杆升速手动11.籽晶杆端头螺纹M22×1.512.感应线圈支承中心距450mm13.真空机组扩散泵(选购)JK—200型机械泵2XZ—8型

2、14.中频电源(用户自备)50Kw/2.5KC15.水压0.13~0.18MPa16.水管直径进1〞出2〞17.主机外型尺寸(长×宽×高)900×1200×2900mm18.电控柜尺寸(长×宽×高)680×550×1700mm晶体生长系统设计(二)

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