IQC单晶棒检验标准-修改版.doc

《IQC单晶棒检验标准-修改版.doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、一、适用范围：1.适用于公司外购的用于切片的单晶硅棒。二、检验规格：类别检验项目检测要求检测工具缺陷判定包装包装箱无运输后的损坏，要求晶棒在包装容器内有泡沫塑料等进行阻隔防护，不能有晃动，外箱上需注明供应商、品名、重量、规格、生产批号和箱号。目测MAJ出厂检验报告供应商需提供一份正式的出厂检验报告，内容包括：包装、晶向、长晶方式、晶棒编号及与之对应的外观、边宽直径、有效长度、重量、中心偏离及头尾样片的导电类型、电阻率、少子寿命和碳氧含量。外观外表面表面不能有脏污，圆棒晶向线10mm距离内不能有≥5×5×1（深）mm的崩

2、缺，其它位置不能有≥5×5×2（深）mm的崩缺，端面凹陷须≤1mm；滚磨棒不能有凹凸、崩缺和裂纹；未滚磨棒不能有断棱线和裂纹。目测/游标卡尺晶棒端面需标注头部和尾部目测晶向＜100＞±3°尺寸有效长度200～800mm卷尺滚磨棒直径6inch:直径φ150±0.5mm或按《购销合同》游标卡尺8inch:直径φ200±0.5mm或按《购销合同》边宽6inch:125±0.5mm（仅适用于准方棒）8inch:156±0.5mm（仅适用于准方棒）中心偏离≤0.5mm（仅适用于准方棒）未滚磨棒直径6inch规格晶棒,直径153

3、mm≤φ≤156mm或按《购销合同》游标卡尺8inch规格晶棒,直径203mm≤φ≤207mm或按《购销合同》电学参数导电类型硅料导电类型与《产品购销P型或按《购销合同》P/N型检测仪CRI电阻率单段需满足1.0～3.0或3.0～6.0Ω·cm或按《购销合同》电阻率检测仪少子寿命最小值≥10μs（钝化）供应商《出厂检验报告》或少子寿命测试仪缺陷不能有位错（体缺陷或其它微缺陷视《购销合同》要求）目测/化学腐蚀碳含量≤10×1016atoms/cm3供应商《出厂检验报告》氧含量≤1.0×1018atoms/cm3抽样方案及

4、判定要求（1）滚磨棒缺陷检验项和需钝化头尾片测试少子寿命的每批次抽取5PCS，Ac=0，Re=1，其余按以下方法抽样；（2）采用GB/T2828.1-2003单次Ⅰ级抽样水准（出厂检验报告检验项一批为一个批量数，包装箱检验项以箱数为批量数，其余检验项以来料个体数为批量数），AQL：CRI=0，MAJ=2.5。