单晶棒检验划线标准1(工艺技术中心制).doc

《单晶棒检验划线标准1(工艺技术中心制).doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、一、目的为了规范8寸、6.5寸单晶棒的检验工作，保证单晶棒的品质，确保检测规范，不流出不良品。二、适用范围适用于公司所生产8寸、6.5寸单晶棒的检验工作。三、缺陷定义3.1严重缺陷（CRI）：能危害生命、健康，以及对性能有大的不良影响的缺陷；3.2主要缺陷（MAJ）：并非严重缺陷，对产品的功能或视觉产生明显消极影响的缺陷；3.3次要缺陷（MIN）：不明显地影响了产品的合理性，对产品的用途及视觉有不明显影响的缺陷。四、作业内容5.1单晶棒外观图5.2检验标准检验项目检验标准方法/工具缺陷判定外观无裂缝。目视CRI重量称取重量，数值精确到小数点后两位，附带“Kg”单位

2、，标记于晶棒头部。电子天平称MIN长度长度数值精确到小数点后一位；如果是断棱则在位错位反切(8"为140mm，6.5"为100mm)；如果是断尾则以断面直径长度反切；如果是有线整尾，则从收尾处用记号笔划线；三种情况都应在晶棒转肩位置到其位错反切线（即有效长度）区域用数字注明该长度，并附带“mm”的单位。卷尺记号笔MAJ直径直径数值精确到小数点后一位；8寸单晶直径Φ≥203mm为合格；Φ﹤203mm且长度大于等于40mm时，作为6.5寸晶棒处理；Φ﹤203mm且长度小于40mm时，作回收料或准单晶籽晶；6.5寸单晶直径Φ≥168mm为合格；Φ﹤168mm作准单籽晶或

3、回收料；对直径偏小区域用记号笔划线，注明长度。记号笔游标卡尺MAJP/N型P型为合格。P/N型号笔CRI电阻率在晶棒有效长度区域内的圆弧面上，由尾向头每隔100mm测一个点，数值精确到小数点后一位；电阻率数值1-3Ω·cm、3-6Ω·cm为合格，分别划线。四探针测试仪MAJ抽样方案全检注：对在检测中的数据应该在《单晶晶棒检验记录表》、《单晶随工单》上有详细的体现，对其一些特殊情况并在该表的备注栏内注明。