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1、NanoFabricationFacility中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所SuzhouInstituteofNano-TechandNano-Bionics，CAS中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所SuzhouInstituteofNano-TechandNano-Bionics，CAS主编：加工平台范亚明特气系统安全培训目录1.气柜概述2.自动气柜安全配置3.系统参数含义及作用4.气柜的安全性能5.常见故障及处理方法特气系统培训GasCabinet的用途实现安全的连续的供应某种特殊气体,供机台制程使用,满足生产用气要求.
2、为保证供气的联系性,一般左右盘面均为独立的操作执行体.能够在保证一边供气的前提下,另外一边实现Purge,更换钢瓶,并直至到Standby.等待被自动切换当另外一边气体被用完后.可以实现跟VMB,Scrubber等设备的联动根据客户的要求.中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所SuzhouInstituteofNano-TechandNano-Bionics，CASNH3&SiH4Psi---poundspersquareinch磅/平方英寸（1Mpa=145psi=10.2kg）·无水氨气是一种刺激性、无色储存于钢瓶的液化压缩气体。其
3、存储压力为其蒸汽压114psi·需避免的情况：高温(大于426℃)，钢瓶储存温度不可高于52℃·比重：(空气＝1)0.59·不可燃气体!但当它在空气中的浓度超过15%时有立即造成火灾及爆炸的危险·可自燃气体!硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。其存储压力为其蒸汽压900~1100psi。·如果泄放硅烷时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险，不要靠近。·比重：（空气＝1)1.2·不要用卤化物类灭火器。从最远的距离用水冷却暴露在火焰
4、中的钢瓶。中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所SuzhouInstituteofNano-TechandNano-Bionics，CAS特气系统培训硅烷和氨气主要在太阳能生产上用于等离子化学气相沉积(PEVCD)之中.等离子化学气相沉积(PEVCD)：PEVCD被使用来在硅片上沉积氮化硅材料，是在300-900℃的温度下通过化学反应产生Si3N4的过程。典型的化学反应为：SiH4+NH3→Si3N4+NH3+N2全自动气柜安全配置FireSensor(火焰侦测)HighTempSensor(高温传感器)AutoGuard(钢瓶接口处的
5、安全装置)Sprinkler(喷淋装置)SeismicDetector(防震探测器)GasLeakDetector(毒气侦测器)中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所SuzhouInstituteofNano-TechandNano-Bionics，CASFireSensor(火焰侦测)定义:此设备是针对一些易燃气体,易爆气体或因为其他原因而设工作原理:当气柜里面有火焰时气柜内部会有个超声波检测模块(UV-TRON)探测到一个特殊的频段,产生报警信号中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所SuzhouInstituteofNano-Tec
6、handNano-Bionics，CASHighTempSensor(高温传感器)定义:此设备的目的是为了防止气柜内部温度过高而导致危险工作原理:这是一个双金属开关,它由两个受热膨胀绿不同的金属片组成,从而控制电信号开关.规格:工作温度是72℃,超过72度便产生报警信号.中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所SuzhouInstituteofNano-TechandNano-Bionics，CASAutoGuard(钢瓶接口处的安全装置)定义:这个装置的目的是为了保证换钢瓶的安全.为了防止在没有进行换瓶前吹扫便把钢瓶卸下从而导致毒气泄漏
7、.工作原理:这是一个气动装置.装置内部有一个控制开关的电磁阀.这个装置保证了钢瓶接口处的安全,操作者无法轻易卸下钢瓶接口,除非是在安全流程下才会打开此装置,允许操作者卸下接口中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所SuzhouInstituteofNano-TechandNano-Bionics，CASSprinkler(喷淋装置)定义:当气柜内部由于火焰或其他原因导致内部温度超过72℃时喷淋启动工作原理:当气柜内部温度上升到一定极限(72℃)时消防水便会被开启中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所SuzhouInstituteofNan
8、o-TechandNano-Bionics，CASGasLeakDetector(毒气侦测器)定义:此设备是侦测大气中毒气含量的装置,根据所设定值来产生报警工作原理:公司常用的是电化学式的侦测器,通过采样管
