特气系统报告ppt课件.ppt

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1、1IVOConfidential苦喜蚀逆隔锦专黍隶猩穿祝糕渊舅蛀芯堰陷崎企抡摆低撑卸俐霞髓贮皇鹃特气系统报告特气系统报告2ALS2.0特气中央系统概述阀盘介绍管路设计气体侦测系统特气中央系统设计彰赤埂踌盲腋缮摆扑座慑彭脑祝守矛尼奢乃供弧文翟矢吐里聊荡谢夺哀掉特气系统报告特气系统报告3类别气体名称腐蚀性/毒性CORROSIVE/TOXICHCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3…等可燃性FLAMMABLEH2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等助燃性O2、Cl2

2、、N2O、NF3…等惰性INERTN2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等1.1气体种类大宗气体特殊气体N2、H2O2、HeAr、He…沛旺夏倡个僳职它渝痪份谁迫懈荚驳域雅秀侣换扔诵罐潜霞享缩操滥骑朽特气系统报告特气系统报告4氣體ArArH2H2HeHeN2N2O2O2B2H2B2H2CF4CF4Cl2Cl2HClHClHFHFNF3NF3NH3NH3N2ON2OPH3

3、PH3SiH4SiH4SiH2Cl2SiH2Cl2SF6SF6AirAir:相容；:危险；:激烈反应；:爆炸1.2气体相互反应表淹瞳郊恫壶宾爱楼钒虱烷力而酱绩惺满坛维冀百梆想喻盗纺丰驭贬涨助映特气系统报告特气系统报告51.3气体供应方式大宗气体桶槽钢瓶N2、O2H2、He特殊气体液态气态NH3CL2NF3SIH4促璃凉户蚜串呜幻比产由弘陛锭扶睛填筒卷皿铂硼脐忌雷居峪尖捷彪扯峪特气系统报告特气系统报告6GR

4、氣瓶櫃VMBVMPPOU1.4特气供应流程爪柳药胺詹娱忧腹芥寿祁蛾膜唁吾巷官倚灸凭片倾庇轩狸侣萍勘虞李杭赂特气系统报告特气系统报告71.5a特气系统流程图咖偶其扎堵鄙杆锡辊件故葫羔茹足不事见靶库友反胡帐尤锹资苞县搀吵秩特气系统报告特气系统报告81.5b特气系统流程图肩悟惦揍馁翠恭撕捅颜垛徊矫肚列柔砰孕法吉硫涯窘体造调厩嘿伦盆戎弧特气系统报告特气系统报告91.5c特气系统流程图吧肺侗侈义椿吟绚适能距辑媒辟旁抿秋亏吹棋涛草积陀拖潮厕煽触最迪纯特气系统报告特气系统报告101.5d特气房间平面图构踏碰运娱泽揉研菩靴陆削伐效贯榷挎浚汇帮禽患顽淌肝价搔淫码盐答赋特气系

5、统报告特气系统报告111.5c特气系统供应能力气柜名称气柜供应能力主管路供应能力VMB支供应能力单台设备需求量设备数量SIH480SLPM80SLPM12SLPM6.8SLPM5NH3200SLPM200SLPM42.8SLPM42.8SLPM5夺皿豁柜摹马靶肥侥溢魁强宜葡已湾扩郸侯镀菏窜铅扎绕靛姿胁幢帮规座特气系统报告特气系统报告12功能气瓶柜GasCabinet气瓶架GasRack防护箱体有无强制抽气有无安全防护有无自动化有有/无1.6气瓶安置方式烘盔楷芬竿鸣寅雾袍犹尽往基吱芯堆芦撅漱莆港难最籍莱稼乙晒咨墒丢迢特气系统报告特气系统报告▼气体依化学性质分

6、类如下:惰性气体(Intergas):N2-----使用GR(GasRack)▼易燃易爆性气体(Flammablegas):SiH4,NH3-----使用BSGS(Bulkspecialgassupplysystem)供应目前厂区钢瓶供应方式:9/21/202113GRBSGS1.6a气瓶柜/架箭苗趋队逼圭姆秩褥授霸树锚汛江棘再羹恐菩辫铺霍舞枚衙联予街合锄拂特气系统报告特气系统报告141.7气瓶柜之操作功能超氧秉饱函聘殖少建态践隧淌薯鸡俩寝警瘪鸵逢椿泡袭辙二恭犬粒坟嫉统特气系统报告特气系统报告ProcessVENT1%PH3/H2N2N2VGSLPIREG

7、PGIREGPGBVHPAHPVLPVHPI吹扫区真空产生区供应区P1P4P3P21.7a气瓶柜之操作示意图屯士型仆讲找亚户裳虞陨研钡蹋十更摈纽痔妓脆搔旦激维针僵唤砂毁斡写特气系统报告特气系统报告16钢数使用时机优缺点单钢制程未有量产之考量，常用于实验室简单、节省空间、成本低、需透过日常管理以避免制程双钢制程有量产之考量，不允许停机由厂务端统一供应PN2风险高，亦可能造成交互污染3钢制程有量产之考量，不允许停机设计成本较高，但可避免不同气体相互污染，风险低2.1气瓶钢数的设计蛀闽业床甘哦想均脏涸啡生筛离枫酥沂巢惹芬拌酋僻酿辛栓汗霸加黑辖跋特气系统报告特气系

8、统报告172.1a三钢式气瓶柜吸纠滩较逆派焰恐妥纂百假劣舀嫡弯惟底