979b真空规操作手册

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1、979B真空规操作和维护手册总说明：压力测试范围5x10-10到标准大气压设置点范围5x10-10到100Torr模拟输出DAC10.5到6.95VDC，0.5V/十位DAC20.75到10.02VDC，0.75/十位超压限1500Torr可重复性1x10-9to10-3Torr+/-5%10-3to100Torr+/-2%精确性10-9to10-3Torr+/-20%10-3to100Torr+/-5%电源24VDC+/-10%功率15w继电器接触1A@30VAC/VDCresistiveloadSemi52/UL991SafetyCompliant真空材料304不锈

2、钢，硅片，SiO2，SiN4，金，维托，viton管，玻璃，钨，表面是铂的钼，表面时氧化的铱，环氧树脂，科瓦铁镍钴合金外壳材料Al/304不锈钢内部体积23cm3操作温度0to40oC烘干温度85℃安装方向任意CE认证EMC指令89/336/EEC，EN-61326-1低电压指令73/23/EEC,EN-61010-1真空连接小型CF，2.75”CF，NW16KF，NW25KF，NW40KF尺寸（KF25）重量（KF25）2.9”x3.1”x3.9”(74x79.6x100mm)0.93磅(422g)手册中用到的标识：警告：电击危险警告：依据手册进行操作，否则可能造成人

3、身伤害和设备的损坏。：注意重要的程序，实际情况和条件特征与位置控制所有的用户入口都是通过一个15针口的D-sub连接器和两个按钮开关实现的。当真空规连接电源后“POWER”灯亮，当细丝接通电源后，“FILAMENTON”指示灯亮，当传感器被设置为一个特殊地址时，“FILAMENT”指示灯也常常被用来与TESTTS485-TST连接，在视觉上很好识别，若几个HPS真空规同时接在一个系统的时候是非常有用的。979B真空规正视图：979B真空规的安装大气真空规的安装位置分布：安装的时候尽量远离泵和气体源，这样可以更好的得到准确的压力值。方向：此真空规可以在任何不造成危害的地点

4、安装和操作。污染：真空规安装的位置和方向应该尽量没有污染，例如，假如真空规被直接安装在一个蒸发源的上面的话，蒸发的气体就可能直接污染传感器元件以致造成校准值的改变。真空规的口应该面向下以防止颗粒或液体能够进入到设备。为了防止错误压力值的测定，将真空规安装在电子或离子源附件（例如溅射系统的电子束源附近）和远离强磁场位置。看accesorie(45页)的颗粒过滤器，他安装在979B真空规的入口就是为了防止颗粒进入到传感器内。电子线路的连接用一根带有内螺纹，15个针头的高密度的D-sub连接器连接，确保合适的用电连接并尽量减小连接器的压力输入/输出线路：做一根数字电缆，与EN

5、61326-1的要求一致，用一个带有编织和保护的电缆的尾端与金属罩连接，供电接地。接24VDC，电源正极位置在D-sub连接器的pin3，负极在pin4。注意不能错误连接！假如用的是模拟输出（在模拟输出章节描述），输出电压是pin5（+）和pin6（-）。在一个系统控制中，不同的输入方式连接不同的输入电压或模拟-数字（A/D）转换器。注意：不要将模拟输出（pin6）的负极接到电源输入（pin4）的负极位置或不能将其接地。979B真空规电路连接表数字通讯连接是pin1和pin2。RS-485用pin1作为负极（-），pin2作为正极（+）。Pin描述1RS485-2RS4

6、85+3电源24V(+)4电源24V(-)5模拟输出+6模拟输出-7继电器1N.O.8继电器1普通9抽气状况10细丝选择11继电器2普通12继电器2N.O.13开抽气14继电器3普通15继电器3N.O.继电器传感负载和弧线抑制假如用设置点位置继电器去开传感负载（如螺线管，继电器，变压器等），继电器接口的弧线形状可能干扰979B的工作且减少继电器接口的寿命。因此，推荐上图的弧线抑制网络系统连接。C—电容，R—电阻计算C-法拉，R-欧姆，I-DC电流，E-DC电压，a=1+(50/E)PINS状况控制操作抽气开(pin13)将这根pin接线后，抽气开始，若抽气三十分钟后此线

7、仍与地连接的话则要断开并重新连接地线。抽气状况（pin9）当抽气断开时，这根pin线就是不固定的。当抽气开时，它接地。一个外电阻器几乎可以与任何24Vdc电压连接，电流不到15mA。细丝选择（pin10）通过连接/断开pin地线可以变换起作用的细丝。操作下表参数时厂家默认设定值，用户可根据需要修改默认值模拟输出979B真空规模拟电压信号的pins接口是5（+）和6（-），用不同的输入端连接好5，6。979B真空规提供2种模拟输出范围：一种是DAC1，每0.5V/十位，DAC2是0.75V/十位，DAC1是默认输出。下面曲线显示了DAC1的