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时间:2019-05-14
《宽禁带半导体SiC和ZnO紫外探测器的研究与分析》由会员上传分享,免费在线阅读,更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、中国科学技术大学硕士学位论文宽禁带半导体SiC和ZnO紫外探测器的研究与分析姓名:梁锦申请学位级别:硕士专业:微电子学与固体电子学指导教师:谢家纯200505012005年5月中国科学技术大学硕士论文摘要本论文先后综述了宽禁带半导体sic年uZn0的性质、材料制备以及器件方面的研究。介绍了我们采用宽禁带半导体n一4H—S】c.fu会属Au研制出的sic肖特基紫外光电探测器。该器件高温下有较低的反向漏电流,肛I柚开启电压下降速度为一1.2mV/℃;波长响应范围为200~400nm,在23。C$n260℃时,光谱响应峰值分别出现在320nm和330nm,每100。O波长红移约4nm;
2、响应灵敏度随温度升高而降低,平均每100℃降低2倍,但仍保持良好的紫外响应特性。并对基于si衬底的Au—ZnO—AuUV增强光电探测器进行了测量分析,器件在200nm至lJ400nm的之间有灵敏的光电响应,在370nm附近时有一个响应的峰值停留,同时保留了Si在400nm以上波长的光谱响应:测试得到的IV特性符合肖特基接触的反向特性曲线;电容在OV附近具有最大值,随着正反向电压增大电容值呈对称性快速减小。研究表明,该结构的uV增强光电探测器可采用微电子Si平面工艺和外延薄膜工艺相结合,具有广泛的生产和应用前景。另外还对我们制备的ZnO/SiC/Si器件进行了测试分析并讨论了制作紫
3、外探测器件可行性。2005年5月中国科学技术大学五亘上论文AbstractThisthesissuccessivelydescribesthepropertiesofSiCandZnO,theirmaterialpreparationsandtheresearchoftheirdevices.ItintroducesSiCSchottkyUltravioletPhotodetectorwhichhasbeenfabricatedwithn一4H-SiCandAubyUS.Themeasurementresultsshowthatthedevicehaslowerleakagecu
4、rrentathi曲temperatures.Thedescendentspeedoftheforwardtum—onvoltageis一1.2mV/。C.Theresponsewavelengthrangeisfrom200nmto400nm,thepeakvalueofthespectrumresponseappearsin320nmat234Cand330nmat260。Crespectively,andthewavelengthhasredshiftabout4rimevery100"(2;Thesensitivityofresponsereducesastemperat
5、urerises,anditisreducedby2timesevery100"(2orlaverage,butitalsohasgoodUVresponsecharact甜sfics.TheUVenhancedphotodetector谢tlltheconstructionofAu-ZnO—AubasedOnSisubstratehasbeenmeasuredandanalyzed.Theultravioletresponsefrom200nmto400nmissensitive;atabout370nmthepeakresponsehasbeenobserved.Theres
6、ponserangefrom400to1000nrnoftraditionalSidetectorshasalSObeenreserved.TheI-VcharacteristicsofthedevicesatisfyreverseSchottkycontactcharacteristics.Thecapacitanceofthedeviceismaximumatzerobiasedandthecapacitancebecamesmallerwiththebiasedvoltageincrement.TheexperimentsshowthatAu—ZnO-AuUVenhance
7、dphotodetectorsCanbemadebymicroelectronicsplanetechnologyaswellasMOCVDmethod,whichhavegreatappliedpotential.Inaddition,wehavemeasuredandanalyzedtheZnO/SiC/SidevicefabricatedbyUS,andhavediscussedthepossibilityofmakingitakindofUltravioletPhotod
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