lcd制程工艺知识简介

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1、LCD工艺流程简介NC-PECYTang工艺流程光刻主要工序投入清洗涂胶曝光显影刻蚀脱膜玻璃投入工序作用:位于整条生产线的前端，负责整片ITO玻璃基板的投入。要求ITO玻璃的規格型號符合產品的要求。发料是最主要的是要记住ITO面朝上(通过大切角判断)ITO(indiumtinoxide，氧化铟锡)导电玻璃是一种既透明又导电的玻璃，它采用磁控溅射沉积成膜技术，以ITO材料作为溅射靶材，在玻璃基板上生成一层很薄的ITO膜。工序作用:玻璃的清洗与干燥：用清洗剂以及去离子水（DI水）等洗净ITO玻璃，并用物理或者化学的方法将ITO表面的杂质和油污洗净

2、，然后把水除去并干燥，保证下道工艺的加工质量。清洗涂胶工序作用:在ITO玻璃的导电层面上均匀涂上一层光刻胶，涂过光刻胶的玻璃要在一定的温度下将涂有光刻胶的玻璃烘烤一段时间，以使光刻胶中的溶剂挥发，增加与玻璃表面的粘附性Glass基板ITO感光树脂膜曝光工序作用:用紫外光（UV）通过预先制作好的电极图形掩模版照射光刻胶表面，使被照光刻胶层发生反应，在涂有光刻胶的玻璃上覆盖光刻掩模版在紫外灯下对光刻胶进行选择性曝光Glass基板UV光显影工序作用:用显影液处理玻璃表面，将经过UV光照分解的光刻胶层除去，保留未曝光部分的光刻胶层，用化学方法使受UV

3、光照射部分的光刻胶溶于显影液中，显影后的玻璃要经过一定的温度的坚膜处理使光刻胶更加坚Glass基板現像液刻蚀工序作用:用适当的酸刻液将无光刻胶覆盖的ITO膜蚀掉，这样就得到了所需要的ITO电极图形注：ITO玻璃为氧化铟锡的导电玻璃，易与酸发生反应，而用于蚀刻掉多余的ITO，从而得到相应的拉线电极Glass基板脱膜工序作用:用高浓度的碱液（NaOH溶液）作脱膜液，将玻璃上余下的光刻胶剥离掉，从而使ITO玻璃上形成与光刻掩模版完全一致的ITO图形Glass基板形成ITO图案过程图形检测（PATTERNCHECK）工序作用:对玻璃表面形成的ITO图

4、形用电学原理进行短路测试，同时得到激光修复所需要的数据。激光修复（LASERREPAIR）工序作用:对所查找到的短路缺陷进行修复。成盒段主要工序PI、TOP印刷摩擦SEAL、TR印刷喷洒对盒热压TOP工序:一般的TN与STN产品不要求此步骤，TOP膜的涂布工艺是在光刻工艺之后再做一次SiO2的涂布，以此把刻蚀区与非刻蚀区之间的沟槽填平并把电极覆盖住，这既可以起到绝缘层的作用，又能有效地消除非显示状态下的电极底影，还有助于改善视角特性等等，因此大部分的高档次产品要求有TOP涂布PI工序：为在蚀刻完成的ITO玻璃表面涂覆取向层，并用特定的方法对限

5、向层进行处理，以使液晶分子能够在取向层表面沿特定的方向取向（排列），此步骤是液晶显示器生产的特有技术在已洗净的基板上形成一层500Ao～1200Ao（0.05μm～0.12μm）的均匀PI薄膜。PI液：聚酰亚胺TOPPI工序的作用PI、TOP印刷TOP/PI印刷图：摩擦工序的作用用绒布类材料以特定的方向摩擦取向层表面，以使液晶分子将来能够沿着取向层的摩擦方向排列。如TN型号摩擦取向：45度工序的作用TOP/PICOATING后PITOPITOGLASSRUBBING后PI层被取向丝印工序的作用边框作用：提供CF/TFT基板接着时所需之封边用

6、框胶。防止液晶外漏或被污染。银点作用：上下电极导通丝印CP印刷後刮板SP接着剤（CP導通材）印刷模板Glass基板方向SP接着线（CP導通材）间隔剂散布工序的作用支撑上下基板,保持液晶盒厚均匀贴盒工序的作用按对位标记上与下玻璃对位粘合，将对应的两片玻璃面对面用封接材料粘合起来。Glass基板对盒热压工序的作用利用加热和加压的方法固化Seal,并保持一定的CellGap气嚢调机玻璃成盒玻璃热压纸热压后部主要工序切割灌液挤压,封口清洗电目测清洗贴片,包装切割當ITO玻璃貼合後，將對ITO玻璃上之LCD各個單位作切割，LCD其中顯示板的大小是依其產

7、品不同而有單位大小不同之分，故其自動化切割為依不同之型號做可程式處理灌液晶灌入液晶的製程，液晶片放入一真空的密封箱中，藉著基座的固定將小切割後的LCD顯示板固定住，再由下方的海綿提供液晶，首先會將密封箱抽成真空，然後藉著彈簧活動機構將海綿往上頂，如下圖16，然後釋放空氣進入箱中，此時LCD板藉著毛細現象將液晶完全吸入LCD板中間，完成灌液晶的動作。抽真空口N2入口封口.固化灌入液晶後在其開口處加上封口以防止液晶外漏封止治具上Glass基板下Glass基板加圧注射器清洗.目檢.電測.清洗LCD封口後在此利用偏光板目檢LCD板是否厚薄不均，或是內

8、部液晶散佈不均，電檢利用液晶板上之PIN腳加以導電，觀察LCD之點亮情形，加以判斷LCD板是否顯示正常貼偏光片.終檢包裝.入庫最後將偏光片貼在LCD板的上下兩面，如