太阳能多晶硅国标

《太阳能多晶硅国标》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、太阳能多晶硅国标太阳能级多晶硅1范围本标准规定了太阳能级多晶硅的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输及贮存。本标准适用于使用（改良）西门子法和硅烷等方法，生产的棒状多晶硅、块状多晶硅、颗粒状多晶硅。产品主要用于太阳能级单晶硅棒和多晶硅锭的生产。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新

2、版本适用于本标准。GB/T1550非本征半导体材料导电类型测试方法GB/T1551硅、锗单晶电阻率测试直流两探针法GB/T1552硅、锗单晶电阻率测试直排四探针法GB/T1553硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法GB/T1557硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法GB/T1558硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法GB/T4059硅多晶气氛区熔磷检验法GB/T4060硅多晶真空区熔基硼检验法GB/T4061硅多晶断面夹层化学腐蚀检验方法GB/T14264半导体材料术语SEMIMF1389光致荧光光谱测单晶硅中

3、Ⅲ-Ⅴ族杂质SEMIMF1535用微波反射光电导衰减法非接触测量硅片载流子复合寿命的测试方法SEMIMF1630低温傅立叶变换红外光谱法测量单晶硅中Ⅲ-Ⅴ族杂质SEMIMF1723利用区熔生长和光谱法评价多晶硅产品规范SEMIMF1724利用酸提取原子吸收光谱法测量多晶硅表面金属沾污的测试方法3要求3.1分类产品按外型分为棒状、块状和颗粒状，根据等级的差别分为三级。3.2牌号多晶硅牌号表示为：SGPSi—□—□阿拉伯数字表示多晶硅等级字母I表示棒状，N表示块状、G表示粒状表示太阳能级多晶硅4技术要求4.1等级太阳

4、能级多晶硅的等级及相关技术要求应符合表1的规定。表1太阳能级多晶硅等级指标（一）项目（一）1级品2级品3级品基磷电阻率，Ω·cm≥100≥40≥20基硼电阻率，Ω·cm≥500≥200≥100少数载流子寿命，μs≥100≥50≥30氧浓度，atoms/cm3≤1.0×1017≤1.0×1017≤1.5×1017碳浓度，atoms/cm3≤2.5×1016≤4.0×1016≤4.5×1016太阳能级多晶硅等级指标（二）项目（二）1级品2级品3级品施主杂质浓度ppba≤1.5≤5.4≤50.4受主杂质浓度ppba≤0

5、.5≤2.7≤27Fe、Cr、Ni、Cu、ZnFe、Cr、Ni、Cu、ZnFe、Cr、Ni、Cu、Zn基体金属杂质，TMI(TotalmetalTMI(TotalmetalTMI(Totalmetalppmwimpurities)总金属杂质含impurities)总金属杂质含impurities)总金属杂质含量：≤0.05量：≤0.1量：≤0.2注：1，基体金属杂质检测可采用二次离子质谱、等离子体质谱和中子活化分析，由供需双方协商解决。2，每个等级的产品应该同时满足本等级的要求，若某项超出指标，则降为下一级。3,

6、3级品主要应用于多晶硅锭的生产。4.2尺寸范围4.2.1破碎的块状多晶硅具有无规则的形状和随机尺寸分布，其线性尺寸最小为3mm，最大为200mm。4.2.3块状多晶硅的尺寸分布范围为：a)3～25mm的最多占重量的15%；b)25～100mm的占重量的15%～35%；c)100～200mm的最少占重量的65%。4.2.4颗粒状硅粒度范围为1～3mm。4.2.5棒状多晶硅的直径、长度尺寸由供需双方商定。4.3结构及表面质量4.3.1块状、棒状多晶硅断面结构应致密。4.3.2多晶硅免洗或经过表面清洗，都应使其达到直接

7、使用要求。所有多晶硅的外观应无色班、变色，无肉眼可见的污染物和氧化的外表面。4.3.3多晶硅中不允许出现氧化夹层。5测试方法5.1多晶硅导电类型检验按GB/T1550测试。5.2多晶硅电阻率测量按GB/T1552测试。5.3少数载流子寿命测量按GB/T1553测试。5.4多晶硅中氧浓度测量按GB/T1557测试。5.5多晶硅中碳浓度测量按GB/T1558测试。5.6多晶硅断面夹层检验按GB/T4061测试。5.7多晶硅中的Ⅲ-Ⅴ族杂质含量按照SEMIMF1389测试。5.8少数载流子寿命测量按SEMIMF1535

8、测试。5.9单晶硅中Ⅲ-Ⅴ族杂质含量测量按SEMIMF1630测试。5.10棒状多晶硅的尺寸用游标卡尺测量，块状多晶硅、粒状多晶硅的尺寸分布范围用过筛检验，或由供需双方商定的方法检验。5.11多晶硅的表面质量用肉眼检查。6检验规则6.1检查和验收6.1.1产品应有供方质量监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准规定，并填写产品质量证明书。6.1.2需方可对收到的产品进行检