上料机构工业案例

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1、IVT-REJX-50xxx学院毕业项目届项目类别：工业案例项目名称：wafer的上料机构专业名称：机电一体化姓名：学号：班级：指导教师：年月日25目录一．系统简介…………………………………………………………………………5(一)装置的整体结构及其组成部分…………………………………………………5(二)wafer上料机构中各个模块……………………………………………………51.检测wafer模块……………………………………………………………………62.分辨wafer模块…………………………………………………………………

2、…63.运送wafer模块……………………………………………………………………74.其他组件……………………………………………………………………………8二.wafer上料机构的流程图………………………………………………………81.整个装置的各部分组成明细表…………………………………………………102.运动过程的整体描述……………………………………………………………103.I/O地址…………………………………………………………………………114.整个运动过程的程序………………………………………………………12三.分

3、辨sensor的工作原理……………………………………………………131．分辨wafer的sensor的工作原理………………………………………………132.．sensor分辨的灵敏度检测……………………………………………………14四．电气控制系统………………………………………………………………151．电气控制系统的基本理论………………………………………………………152．电气动控制系统的优缺点及组成………………………………………………153．电气系统部分示意图……………………………………………………………16五.光

4、纤传感器………………………………………………………………………171．传感器的介绍…………………………………………………………………17252．光纤传感器的工作原理………………………………………………………173．光纤传感技术的运用…………………………………………………………17六.总结………………………………………………………………………………20七.谢辞……………………………………………………………………………21八.附图…………………………………………………………………………221.Robot的结构图………

5、………………………………………………222.Robotarm的结构示意图……………………………………………233．分辨sensor的结构示意图……………………………………………234．光纤式传感器…………………………………………………………24九.参考文献资料…………………………………………………………………2425摘要这个工业案例中对wafer上料机构的系统和其基本原理的介绍，还对其检测wafer模块，分辨wafer模块、运送wafer模块和一些其他组件组成进行详细介绍。在此分析过程中，主要通过对wafer上料

6、机构的介绍及其光纤传感器的介绍，还对其工作中的优缺点进行了介绍。运用所学知识对系统工作过程进行介绍分析，最后机电一体化产品逐步取代传统机电产品的趋势已日益明显。机电一体化之所以具有强大的生命力，完全取决于其卓越的性能。通过这个设计，反映出自动化的高科技设备逐步取代，同时整个设计进一步加深对所学知识的综合运用和巩固。AbstractTheindustrycasesofthewafermaterialonthesystemandtheintroductionofitsbasictenets,butalsoitswaf

7、erdetectionmodule,identifywafermodules,wafertransportmoduleandsomeothercomponentsofadetailedbriefing.Inthedesignprocess,mainlythroughthematerialonthewaferonthemoveanditselectricalsystem,alsointhedesignofitsworkintheanalysisoftheadvantagesanddisadvantages.Useo

8、ftheknowledgeofthesystemworkontheprocessoffinalintegrationofmechanicalandelectricalproductsgraduallyreplacethetraditionalmechanicalandelectricalproductshasbecomeincreasinglyobvioustrend.E