硬脆材料的环形电镀金刚石线锯加工试验研究41931

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1、硬脆材料的环形电镀金刚石线锯加工试验研究41931pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。维普资讯http://www.cqvip.com２００７年６月　金刚石与磨料磨具工程　Ｄａｎ＆Ａｂａｉｅ　ｇｎｅｎ　ｉｍｏｄｒｓｖｓＥｎｉｅｒｇｉＪｎ．０７ｕｅ２０　Ｓｉａ．５　Ｎｏ３ｅｒ１１９．　第１９期５第３期　文章编号：０６—５Ｘ（０７００５０　１０８２２０）３—０６—４硬脆材料的环形电镀金刚石线锯加工试验研究　盂剑峰韩云鹏葛培琪　（山东大学济南２０６）５０１　摘要本文利用环形电镀金刚石线锯对硬脆材料单晶硅、Ｔ５陶瓷进行了切割试验，究了锯切力、料加

2、工表面质　Ｌ５研材量及锯丝的磨损。研究发现，相同加工参数下，在切割Ｌ５Ｔ５陶瓷时的法向力与切向力之比小于单晶硅，与磨削相比，线　锯加工的法向力与切向力之比非常小；在本实验条件下，单晶硅和Ｌ５Ｔ５陶瓷均为脆性去除方式；因为Ｌ５Ｔ５陶瓷断裂韧　性高，同样加工条件下，在陶瓷加工表面质量优于单晶硅；恒进给压力条件下，锯丝速度增加，粗糙度值略微减小，恒进给　压力增加，粗糙度值明显增大；丝首先在焊口处断裂，锯由于锯丝不能自转，沿锯丝圆周方向磨损不均匀。　关键词硬脆材料；环形电镀金刚石线锯；加工试验　Ｔ１４Ｑ６　文献标识码Ａ　中图分类号Ｃｕｔｉｇｈａｄ－ｉｔｅｍａｅｉｌ　ｔ　ｎｌｓ　ｔｎ　ｒｂｒｔｌ

3、　ｔｒａｓｗｉｈｅｄｅｓｅｅｔｏｌｔｄｄｉｍｏｄｗｉｅｓｗ　ｌｃｒｐａｅ　ａｎ　ｒ　ａＭｅｇＪａｆｎ　Ｈａ　ｎｅｇＧｅＰｅｑｎ　ｉｎｅｇｎＹｕｐｎ　　ｉｉ　（ｈｎｄｎ　ｎｅｉ，ｉｎ２０６，ｈｎ）ＳａｇｏｇＵｉｒｔＪａ　５０１Ｃｉａ　ｖｓｙｎＡｂｔａｔＴｅｃｔｎ　ｘｅｍｅｔｆｉｃｎａｄＬ５　ｅａｃｕｉｇｅｄｅｓｅｅｔｐａｅ　ｉｏｄｗｒ　ａ　ｓｃｎｕｔｄｈ　ｓｒｃ　ｈ　ｕｔｇｅｐｒｎ　　ｌｏ　ｎ　Ｔ５ｃｒｍｉ　ｓ　ｎｌｓ　ｌｃｒｌｔｄｄａｎ　ｉｅｓｗｗａ　ｏｄｃｅ．Ｔｅｉｉｏｓｉｎｏｍｃｔｎ　ｏｃ，ｃｔｎ　ｕｆｃｓｑａｉ　ｎ　ｅｒｏ　ｒ　ａｗｒ　ｔｄｅ．Ｔｅｎｒｌｏｔｎｅｔｌｏｃ　ａｉ　ｅ

4、　ｕｔｇＬ５　ｕｔｇｆｒｅｕｔｇｓｒａｅ　ｕｌｙａｄｗａ　ｆｅｓｗ　ｅｓｉｄｉｉｔｉｗｅｕｈ　ｏｍａ－－ａｇｎｉ　ｒｅｒｔｗｈｎｃｔｎ　Ｔ５ｔａｆｏｉｃｒｍｉ　ｓｌｓ　ｈ　ｈｔｗｅ　ｕｔｇｓｉｏ．Ｔｅｎｒａ－－ａｇｎｉｌｏｃ　ａｉ　ｎｗｉ　ａ　ｕｔｇｉｌｓ　ａ　　ｒｎｉｇｅａｃｉｅｓｔａｔａ　ｈｎｃｔｎ　ｉｃｎｈ　ｏ　ｎｉｌｍｌｔｔｎｅｔ　ｒｅｒｔｉ　ｒｓｗｃｔｎ　ｓｅｓｔｎｉｇｉｄｎ．Ｏ　ｏａｆｏｅｉ　ｈｎｎｔｅｃｎｉｏ　ｆｘｅｍｅｔｉｃｎａｄＬ５　ｅａｃｗｅｅｒｍｏｅ　ｎａｂｔｅｒｇｍｅｈ　ｏｄｔｎｏ　ｐｒｎ，ｓｌｏ　　Ｔ５ｃｒｍｉｉｅｉｉｎ　ｒ　ｅｖｄｉ　　ｒｔ　ｅｉ．Ｂｃｕｅｔ

5、ｅｆａｔｒ　ｕｈｅｓｏ　ｅａｃｉｌｅａｓ　　ｒｃｕｅｔｇｎｓ　ｆｒｍｉ　ｈｏｃｉ　ｉｈｒｔａ　ｉｃｎ，ｔｅｃｔｎ　ｕａｅｉｂｔｒｔａ　ｉｃｎＦｒｃｎｔｔｆｒｅｆｅｓｈｇｅ　ｈｎｓｌｏｉｈ　ｕｔｇｓｒｃ　ｓｅｔ　ｈｎｓｌｏ．ｏ　ｏｓａ　ｏｃ　ｅｄ，ｔｅｓｒｃ　ｏｇｎｓ　ａｄｃｅｅ　ｉｆ　ｅｉｎｈ　ｕａｅｒｕｈｅｓＲ　ｅｒａｓｆｓｓｇｔ　ｉ　ｅｉｃａｅｏ　ｒｓｅｄｎ　ｈ　ｕａｅｒｕｎｓＲｉｃａｅ　ｔ　ｅｉｒａｅｏ　ｏｓｎ　ｅ　ｏｃ．Ｔｅｌｈｌｗｔｔ　ｒｓ　ｆｅｐｅ．Ａｄｔｅｓｒｃ　ｏｇｅｓ　ｎｒｓｓｗｈｔ　ｎｅｓ　ｆｎｔｔｆｄｆｅｈ　ｉｙｈｈｎｅｉｗ　ｆｈ　ｅｉｈｃｃａｅｒｂｅｋｇ　ｆｒ　

6、ａｔｏ　ｌｃ　ｔｔｅｗｌ　ｏｎ．Ｆｒｔｅｗｒ　ａ　ａ　ｏ　ｅｆｒｔｔｔｅｗｅｌｏ　　ｓｎｔｅｅ　ｒａａｅｏ　ｅｓｗ　ｏｋｐａｅａ　ｈ　ｅｄｐｉｔｏ　ｈ　ｉｅｓｗＣｎｔｓｌ　ａｅ，ｈ　ａｆｔｗａ　ｏ　ｖｎ．ｉｗｎｏ＂ｉＫｅｗｏｄ　ｈｒ?ｒｔ　ｔｒａｓｅｄｅｓｅｅｔｏｌｔｄｄａｎ　ｉｅｓｗ　ｕｔｎ　ｘｅｍｅｔｙｒｓａｄ?ｉｌｍａｅｌｎｌｓ　ｌｃｒｐａｅ　ｉｍｏｄｗｒ　ａｃｔｇｅｐｒｎ　ｂｔｅｉ　ｉｉ随着科学技术的不断发展，晶硅、程陶瓷等硬　单工脆材料在半导体工业、械工业、化工业等领域的应　机石用越来越广泛。切片是材料加工的一道重要工序，其　采用电主轴和变频调速器，现了主轴的无级调速，实即　

7、锯丝速度的无级调速；了使进给速度能够自动适应　为锯丝的切割能力，利于保护锯丝，件进给采用恒压　有工加工质量的好坏直接影响后续工序的加工及最终加工　质量。环形电镀金刚石线锯切片这一新的加工技术具　有切缝窄、切效率高、片质量好、环境污染小等　锯切对优点。因此，对这一加工技术进行深人系统的试验研　力进给方式；冷却。环形电镀金刚石锯丝长度为　水２２　ｍ，．５ｍ直径０５ｍ金刚石磨粒平均尺寸为０６　．　ｍ，．４ｍ。　－　试验以锯丝速度、进给压力、恒材料作为