小型真空系统及其加热装置的设计论文

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1、毕业设计设计题目小型真空系统及其加热装置的设计学生姓名廖世云学号20090766专业班级机械09-10班指导教师方应翠院系名称机械与汽车工程学院2013年6月7日目录中文摘要1英文摘要21绪论31.1真空镀膜的意义31.2真空镀膜技术在国内外的发展状况41.3真空加热烘烤的重要性51.4课题的研究的任务及背景62设计方案的确定72.1加热装置的选择72.1.1加热烘烤装置的类型72.1.2加热烘烤装置的确定82.2加热元件的选择82.2.1加热元件的种类82.2.2加热元件的选择92.3加热箱体的内部结构设计1

2、12.4加热烘烤过程中的温度控制方案123真空系统的设计及计算143.1真空系统简述143.2玻璃真空管壁厚的计算143.3真空室选泵的计算153.3.1粗算主泵抽速153.3.2流导计算153.3.3精算主泵抽速163.3.4前级泵的计算163.3.5抽气时间的计算183.3.6计算扩散泵的抽气时间203.4加热时间的计算233.4.1玻璃真空室吸热量的计算233.4.2中间空气吸收的热量233.4.3计算加热时间253.5系统概况264.设计系统的操作流程27结论29谢辞30参考文献31小型真空系统加热装置

3、设计摘要:本次毕业设计主要是针对小型真空系统的加热装置进行的，一个好的真空系统，要保证真空室有一个良好的高真空环境，需要有一个稳定的加热系统。由于真空系统体积较小且为玻璃圆柱状，内部的气体不易抽出，故需要对其进行加热处理，设计中选择外部圆筒式烘烤箱加热的方式，内部是以高温铁铬铝合金丝为电阻丝的单管红外石英加热灯管，以正六边形各顶点的位置分布于箱体内壁，以达到加热的均匀性，排出气体效果良好，达到高真空的目的。同时，对加热温度进行简单的电路控制，使加热烘烤温度能稳定在所需温度范围，达到控制的自动化，不需要每次都手动

4、操作，保证了加热的稳定性和持续性。关键词：小型真空系统；加热烘烤箱；加热温度控制；第26页Abstract:Thegraduationprojectisprimarilyforsmallheatingdevicevacuumsystem.Agoodcoatingmachinemusthaveagoodhighvacuumenvironmentandastableheatingsystem.Becausethevacuumsystemissmallanditismadeofcylindricalglass,the

5、externalcylindricalovensheatingmodehasbeenchosen.Theinteriorofthesystemisasingletubeofquartzinfraredheatinglamps,whoseresistancewireismadebyhightemperatureiron-chromiumalloywire.Andtheyarelocatedinthehousingwallinthepositionoftheverticesofaregularhexagon,ino

6、rdertoachieveuniformityofheatingandagoodeffectoftheexhaustgas.So,itcanachievethepurposeofhighvacuum.Meanwhile,designingthesimplecontrolcircuitoftheheatingtemperaturekeeptheheatingandbakingtemperaturecanbestabilizedatthedesiredtemperaturerange.Theequipmentcan

7、ensuretheheatstabilityandsustainabilitythatdonotrequiremanualoperationeachtime.Keywords:Smallvacuumsystem;heatingovens;heatingtemperaturecontrol;第26页1绪论1.1真空镀膜的意义随着我国电子科技、食品加工、医疗生产等方面的不断进步，真空镀膜广泛应用在电真空，电子学、光学、能源开发、现代仪器、建筑机械、包装、民用制品、表面科学、以及原子能工业和空间技术中。在真空系统中的

8、镀膜技术，是真空应用技术的重要组成部分，是一项综合的、应用范围很广的先进技术，是许多前沿学科发展的基础技术之一，同时也是当今信息时代中许多高新技术发展必不可少的手段。这一技术目前之所以得到飞速发展是因为它不仅仅是单一的真空应用技术，而是以真空技术为基础，利用物理或化学的方法，并且吸收了电子束、分子束、离子束、等离子体、射频、磁控等一系列新的技术，从而为科学研究与生产提供了膜层涂覆的新工