5688专利技术网资源库《图纹面的照相制版工艺

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1、以下是5688专利技术网资源库《图纹面的照相制版工艺，例如：印刷工艺，半导体器件的加工工艺、其所用材料、原版、专用设备11》内容详细介绍：001图形尺寸校正装置和图形尺寸校正方法002高耐热性负型光敏树脂组合物003用于夹层绝缘膜的光敏组合物及形成带图形夹层绝缘膜的方法004形成防反射膜的组合物005使印刷电路板曝光的装置006投影光学系统、微影方法、曝光装置及使用此装置的方法007激光退火的制程光罩以及利用激光退火形成多晶系膜层的方法008涂料组合物009蚀刻组合物010凸起物和间隔物的形成及用于形成它们的辐射敏感树脂组合物011光敏树

2、脂组合物及其用途012一种精密可调定位装置013抗蚀剂组合物014形成和修正具有间隙缺陷的光刻版的方法015光掩膜及修补缺陷的方法016微接触印刷方法017中间掩模版保持器和中间掩模版的组件018曝光装置和定位方法019一种化学放大型正光刻胶组合物020蚀刻用组合物及蚀刻处理方法021图形形成材料、以及图形形成装置和图形形成方法022正性光刻胶的制作方法023球表面带有永久性图文的金属制品的制备方法及金属地球仪024一种应用于光学光刻系统的孔径盘025提高曝光直线的标准影像对数斜率的方法026具有可变快门的曝光机台及其曝光方法027光掩模

3、微尘清除器及光掩模微尘清除程序028采用光刻和干刻制造碳纳米管多层图案的方法029光刻机成像质量的检测方法030载置台装置及曝光装置031图形形成方法和半导体器件的制造方法032确定光刻装置的投影系统的像差的方法033光刻装置，器件制造方法和可变衰减器034具有紫激光感光性抗蚀剂材料层的成像材料及其抗蚀剂成像法035可聚合组合物,聚合物,抗蚀剂及蚀刻方法036用于中间层电介质的光敏组合物和形成图案化中间层电介质的方法037将衬底在工作台上对齐的方法038制作金属相片的方法039抗蚀材料以及利用该材料形成图案的方法040正型抗蚀剂组合物04

4、1正型抗蚀剂组合物042薄膜工件的切割方法043图形曝光方法以及图形曝光装置044一种调焦调平检测装置045光刻设备及器件制造方法046曝光装置047曝光装置及方法048曝光装置及器件制造方法049光刻装置和器件制造方法050曝光装置及其曝光方法、校正方法051激光绘图装置、激光绘图方法以及光掩模的制造方法052光刻设备和设备制造方法053正相抗蚀膜的剥离方法、曝光用掩模的制造方法以及抗蚀剂剥离装置054光致抗蚀剂剥离剂组合物055用于将图案转印到物体的设备056用于喷砂保护层的光聚合树脂组合物057活性能量射线敏感性树脂组合物、活性能量

5、射线敏感性树脂膜以及使用该膜形成图...058用于制造曝光结构的方法和装置059用于小线条印刷的光刻方法060剥离液061有中间检查薄膜层的改进的光学掩模062网板印刷用金属掩模版063平版印刷版原版064化学增幅型正型光致抗蚀剂组合物065旋涂材料层的平坦化方法及光致抗蚀剂层的制造方法066光刻装置及其应用方法067使用干涉成像光刻法的部件优化068光刻胶剥离剂组合物069用于双层光刻的低硅排气抗蚀剂070激光掩模以及使用该激光掩模的结晶方法071利用高酸碱值浸润流体的浸润式微影技术的方法与系统072氰基金刚烷基化合物和聚合物和含有它们

6、的光致抗蚀剂073产生模拟曝光工具成像性能模型的方法、装置和程序产品074光刻装置和器件制造方法075光刻装置、照明系统和用于旋转强度分布的光学元件076光刻装置及器件制造方法077平版印刷装置和器件制造方法078多层分划板079193nm抗蚀剂080用于对衬底侧面进行布线的光刻方法081电子符合型中文光学并行自动照相排字机082原子印章数控数显制版机083原子印章半自动立式制版照相机084液、固体感光性树脂版两用制版机085滚筒式照排机的同步装置086定位式拼版机087非接触式光刻曝光光学系统088光热制版机089数控光电刻版机090光

7、印绘图笔091连晒机单片微电脑控制箱092自动光学照排机093液体树脂版制版机094感光版制版机095普通绘图仪用笔式光绘装置096重氮复印机差动式分离装置097多功能感光树脂制版机098晒图机自动卷图装置099多规格彩色相片扩放附加装置100减压真空导入装置101光刻机的自动调焦装置102大面积紫外光刻(曝光)机的光学系统103动态光栅刻划机的自动调焦装置104多光束激光转镜式光学扫描系统105银盐印版制版机106印刷电路板底片光绘仪107彩色放大校色打样机108光学套版投映装置及装有该装置的影象套版机109一种节能型感光树脂版晒版机1

8、10一种重氮复印机显影用橡胶管111多功能便携式照相制版机112冷光源晒版机113绘图专用曝光孔头114一种晒图机中熏筒的温度自动控制系统115多功能制版机116明暗室照相制版一体机117非接