电子探针在析出物和夹杂物分析中的应用

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1、------------------------------------------------------------------------------------------------电子探针在析出物和夹杂物分析中的应用第31卷第10期实验室研究与探索胡1，2莹，丁11晨，刘俊亮（1．宝山钢铁股份有限公司研究院，上海201900；2．上海交通大学材料科学与工程学院，上海200240）要:电子探针将高度聚焦的电子束聚焦在样品上，激发试样中某一微小区域，使其发出特征X射He、Li、Be等几个较轻线，测定该X射线的波长和强度，即可对该微区的元素作定性或定量分析。除H、摘元素外，电子探针都可进

2、行定性和定量分析，在电子显微镜下把观察到的显微组织和元素成分联系起来，解决材料显微不均匀性的问题，是研究亚微观结构的有力工具。以电子探针在合金中析出物和夹杂物的一些表征工作为例，对其在此领域中的主要应用展开讨论，并对比其他电子显微方法总结电子探针的方法特点。关键词:电子探针;析出物;夹杂物中图分类号：TB31文献标志码：A文章编号：1006－7167（2012）10－0260－03——————————————————————————————————————----------------------------------------------------------------------

3、--------------------------ApplicationofEPMAinAnalysisofPrecipitateandInclusion2HUYing1，，DINGChen1，LIUJun-liang1（1．TestCenter，BaosteelResearchInstitute，Shanghai201900；2．SchoolofMaterialsScienceandEngineering，ShanghaiJiaotongUniversity，Shanghai200240，China）Abstract：Theelectronprobemicro-analysis（EPMA）

4、putshighlyfocusedelectronbeamonthesampleexcitingthecharacteristicX-rayfromaspotonthesample．Bymeasuringthewavelengthandintensityofthex-ray，mostelementqualityandquantityanalysiscanbemade，exceptH，He，LiandBe．TheEPMAisapowerfulinstrumenttoresearchmicostructurebecauseitcandosecondelectronmapandelementmaps

5、imultaneouslytoanalyzethenonuniformityofthematerial．TheAnalysisoftheprecipitateandinclusionbyusingtheEPMAwasdescribedanddiscussedinthispaper．AfteracomparisonofEPMAwithothermicrobeamanalyzers，themethodofEPMAwassummarized．Keywords：electronprobemicro-analysis（EPMA）；precipitate；inclusion0引言得更好甚至特殊的性能。很多

6、情况下，能谱提供的结需要借助电子探针进一步表征。笔果不能满足要求，——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------者结合电子探针的实验室实践，介绍这一设备在分析合金中析出物和夹杂物等方面的应用。由于材料产生偏析或存在夹杂物时，成分不均匀，定量检测很难准确、全面地反映材料的特征，对于成分研究中更多地是关注不同元素在材料中的偏析问题，分布情况，所以选择面分析（将电子束沿样品表面扫描

7、，可以获得元素的面分布表征途径。［1］电子探针X射线显微分析仪（ElectronicProbMicroanalysis，EPMA）简称电子探针［1］，用于研究物质表面上的元素组成及其分布。与能量谱线相比，其［2］波长谱线的分辨率高，一般可达到几个eV，能够很［3］好地分辨出原子序数相邻元素。在冶金和材料科学领域，合金的析出物和夹杂物都是研究人员关注的一个重点，一些工作希望尽可能以便得到更加均匀纯净