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《晶体硅太阳电池的氮化硅表面钝化研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、------------------------------------------------------------------------------------------------晶体硅太阳电池的氮化硅表面钝化研究第36卷 第6期2002年6月 西 安 交 通 大 学 学 报JOURNALOFXI′ANJIAOTONGUNIVERSITYVol.36 №6Jun.2002文章编号:0253-987X(2002)0620651204杨 宏1,王 鹤1,于化丛2,奚建平2,胡宏勋2,陈光德1(1.西安交通大学理学院,710049,西安;2.
2、上海交通大学太阳能研究所)摘要:为了提高晶体硅太阳电池的光电转换效率,PECVD)的SiNx:H,::H/SiO2双层光学减反射结构对晶体硅,提高了太阳电池的光电转换效率.基于界面物理,提出,解释了用不同实验方法制作的晶体硅太阳电池性能的差异.关键词:太阳电池;表面钝化;SiNx:H;等离子增强化学气相沉积中图分类号:TM91414 文献标识码:AInvestigationonPassivatingSiliconNitrideSurfaceofCrystallineSiliconSolarCellsYangHong,WangHe,11YuHuaco
3、ng,XiJianping,HuHongxun,ChenGuangde2221(1.SchoolofSciences,Xi′anJiaotongUniversity,Xi′an710049,China;——————————————————————————————————————------------------------------------------------------------------------------------------------2.InstituteofSolarEnergy,ShanghaiJiaotongU
4、niversity)Abstract:Inordertoimprovephotoelectricconversionefficiencyofcrystallinesiliconsolarcells,someeffectsofsurfacepassivationqualityandantireflectionpropertiesofsiliconnitridepreparedbyplasmaenhancedchemicalvapourdepositiononcrystallinesiliconsolarcellsareinvestigated.All
5、kindsofcrys2tallinesiliconsolarcellswerepreparedbydifferentprocessmethods.Itwasfoundthatthesiliconni2tride/siliconoxidedoublelayeropticalantireflectioncoatingsstructureshowsexcellentpassivationpropertiesforcrystallinesolarcellscomparedtosiliconnitride,sophotoelectricconversion
6、efficiencyofcrystallinesiliconsolarcellsisenhanced.Basedoninterfacephysics,anewenergybandmodelofsili2connitride/siliconoxide/siliconispresented,differencesofefficiencyofcrystallinesiliconsolarcellspreparedbydifferentmethodesareexplainedbythismodel.Keywords:solarcells;surfacepa
7、ssivation;siliconnitride;plasmaenhancedchemicalvapourdeposi2tion 目前,适于作晶体硅太阳电池光学减反射膜的材料有SiO2、TiOx、SiNx:H等薄膜材料.SiO2的折射率(114)太低,光学减反射效果不好;TiOx的折射率虽然接近晶体硅太阳电池最佳光学减反射膜的——————————————————————————————————————--------------------------------------------------------------------------
8、----------------------收稿日期:2001210211. 作者简介:杨 宏(1968～),男,讲师.
