平面干涉仪参考面的高精度标定方法研究

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1、密级无分类号ＴＨ７４１＿ｆ知料掌Ｘ＇ＩＡＮＴＥＣＨＮＯＬＯＧＩＣＡＬＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ硕士学位论文＾平面干涉仪参考面的高精度标定方法研究赵思伟作者：指导教师：田爱玲教授申请学位学科：光学工程２０１８年５月２０曰密级无分类号TH741XI’ANTECHNOLOGICALUNIVERSITY硕士学位论文题目:平面干涉仪参考面的高精度标定方法研究作者：赵思伟指导教师：田爱玲教授申请学位学科：光学工程2018年5月20日通过理论分析、仿真和实验，验证了结合Zernike多项式的三平面互检面形标定的方法和重力

2、变形补偿标定方法的可靠性，为大口径平面的高精度加工和检测提供了重要的支撑作用。关键词：光学检测；参考面标定；有限元分析；自重变形；变形补偿thegravitydeformationofupto20nm.Then,theinfluenceofthedeformationofthereferencesurfaceonthecalibrationresultsofthethree-planecross-checksurfaceofZernikepolynomialswasanalyzed,andthedeformationafterdeformationwasupto

3、10nm.Onthebasisofthis,amethodtocompensatethedeformationofreferencesurfacegravitydeformationcomponentisproposed.Finally,experimentsonsomestandardplanesof100mmdiameterwerecarriedoutwithZygointerferometer,byusingZernikepolynomialfittingofthreeplanesurfaceshapefortheabsolutecalibrationme

4、thod,fixedgravitydeformationintheinterferencewave.ThefinalcalculatedreferenceplaneisconsistentwiththePVofthenominalsurfaceshape.Throughthetheoreticalanalysis,simulationandexperiment,combinedwiththeZernikepolynomial,thisdissertationverifiesthemethodofthecalibrationofthetriplanemutualc

5、alibrationandreliabilityofthecalibrationmethodofgravitydeformationcompensation,whichprovidesimportantsupportforthehighprecisionmachiningandinspectionofthelargecaliberplane.Keywords:Opticaltest;Referencesurfacecalibration;Finiteelementanalysis;Selfweightdeformation;Deformationcompensa

6、tion目录1绪论.............................................................................................................................11.1课题研究目的及意义.............................................................................................11.2国内外研究现状.................................

7、....................................................................11.2.1参考面标定的国内外现状..........................................................................11.2.2平面装夹方式的现状..................................................................................31.3本论文主要研究内容...............

8、............