清洗工序规范要求

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1、清洗工序规范要求一、脱胶1.接班后，第一时间到切片车间统计机台的出片时间，便于清洗安排。2•接班时，先了解清洗机的药水槽屮的药水是否需要更换（脱胶100根硅棒的药水需要更换）清洗硅棒的次数可在电脑系统中查询。3•检查设备的喷淋水压是否正常，在机床后面的水压表中查看，数值在0.2-0.3之间，水压正常后，检查喷嘴的摆动情况是否正常。检查设备的超声，开启超声后，用手感觉水面（三、四槽）的振动。4•运行时检查设备的工艺设置，如电机超声是否正常作业、温度是否正常（与工艺参数相符为正常）。6•切片出棒后，切片人员送至清洗区域后，脱胶操作专员应及吋检查上料框架是否需要校对。7.在转运箱往上料框架里卸

2、棒的下降过程中要随时查看框架的四周，硅棒到上料车的位置，防止晶棒跟框架四周发生碰撞，造成崩边。8.卸棒之后必须仔细检查是否有掉片断线磕碰等异常情况，如果有的话要在相应的随工单上记录准确的数目并找相关负责人签字确认。9.晶棒之间必须用隔片隔开，插入隔片的时候一定要保持水平往里，遇到阻力要小心慢慢前行，不可左右摆动，导致碎片。如有弯曲、损坏隔片应立即停止使用。（切勿忘记史换钢筋棒）10.装好硅棒后启动运行按钮，并安排人在边上观察，发现异常，立即按机台上的急停按钮停下处理。11・脱胶机三槽每刀必须换水，四槽溢流必须打开。12.要随吋注意乳酸槽乳酸的液位，保证乳酸能将晶棒全部淹没。13•脱胶时耍

3、注意安全，第五槽升起时要查看硅片是否脱完胶，如未脱胶完全，则继续脱胶，直到完全脱胶。（如发现大面积未脱落，及时请示组长，检查是否因为晶棒未切透而导致无法脱落）。14.脱胶完之后在脱胶记录本上标注清楚脱胶时间及乳酸使用次数。15.—定要保证出料口小推车里的水能把晶棒全部淹没。16.脱胶完成后，由脱胶机操作专员负责将硅棒上的工件板小心拿下，取工件板时不能斜取，必须90度直接取下来。（取工件板时，必须另外一人协助，防止部分硅片吸附在头尾片上）17•移动下料小车时，平稳送至转运箱附近，运送过程中看清地面是否有工件板挡路。18•将硅片移至转运箱中，转运时必须佩带双层手套，注意一次拿的硅片不超过20

4、0片，转运箱内一定要垫软垫，硅片所靠一侧也必须垫，且移动时要小心，避免硅片与其他物品碰撞。19.每天下班之前要清洗设备将所有水槽进行清洗，将水槽里的碎硅片及砂浆清理干净。二、擦胶1.要随时保证擦胶台的干净，不能有碎硅片导向条在擦胶台上。2.取硅片时先将硅片缝隙屮胶条清理干净，然后将硅片两边整理平整，手拖住硅片底部，每次拿片厚度不得超过50nini・3.擦胶吋硅片不能直接在擦胶台上直接翻滚，要全部拿起来翻，同时要将四个面及倒角仔细擦干净，擦胶的时候注意百洁布有破损需及时换新的。1.擦完胶的硅片放入转运箱时，转运箱内一定要垫软垫，硅片所靠一侧也必须垫，必须保证水槽内无碎硅片，水槽的水必须完全

5、浸没硅片。5•每擦完一个晶棒放入屮转水槽内必须将随工单放置在对应的位置上防止混单。三、插片1.一定耍保证硅片的粘胶而在承载器的顶部。2.插片时要注意手的力度，不能将硅片用力的靠在滑台侧边，防止硅片崩边。3.到插片槽取片时需双手端篮，轻拿轻放。4.要保证插片机储水槽、中转水槽内的水能将硅片全部淹没。5.插片机升降台底部和插片机储水槽底部不得有碎硅片。6.同一个晶棒应放在同一个水槽内，防止混乱，插完一个棒要将插片数据记录好，将完整片数与破片数准确告诉岀料核对。四、清洗硅片1.检查机械臂、超声波、上下料链条、电机、烘风口风机是否正常运行。1.检查温度、清洗时间是否与工艺参数和符。2.检查药水是

6、否需要更换，更换药水需要在清洗记录本上记录清楚。4・装料：将插好的硅片装入清洗提篮时要轻拿轻放。1.转运：平稳的运送到清洗机上料口。注意应掌握清洗机洗片进度,不能因插片太快而将大量待洗硅片集中运到清洗机上料口处滞留晾干，从而导致硅片重洗或洗不干净产生黑斑。2.上料：双手慢抬清洗篮，轻、稳、准放置到上料槽。3.看机：密切监控整个清洗过程，及时发现异常情况；关注超声波发生器是否正常运行；槽液不足时需要补液；溢流槽洗片时保持溢流。4.出片；硅片烘干出槽后，双手端篮轻放到中转台上，逐篮取出，排列整齐，清点数量，填好随工单。一定注意不能混淆装篮，造成混片。5.出料人员在下料时必须双手佩带棉手套，佩

7、带口罩不得将手套搭在硅片上。10•上料窗口、地面、下料所用推车不允许存在碎片。11・随工单不得随意放置在清洗好的硅片上。9.定位：把空清洗提篮轻放在指定位置。无片洗时，手推车停放在指定位置且摆放整齐。10•清洗机不洗片时，溢流应及时关闭。