cis失效的分析方法及良率提升

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1、独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果,除了文中特别加以标注和致谢之处外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得天津大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。学位论文作者签名:签字日期:年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解天津大学有关保留、使用学位论文的规定。特授权天津大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编以供查阅和借阅。同意学校向国

2、家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘。(保密的学位论文在解密后适用本授权说明)学位论文作者签名:导师签名:签字日期:年月日签字日期:年月日摘要随着集成电路制造业工艺技术的成熟发展和集成电路设计水准的不断提升,CMOS图像传感器凭借其成本低、功耗低、集成度高、体积小、工艺不复杂且开发周期短等等优势,在诸多领域中得到了及其广泛的应用,特别是数码产品类市场如数码手机、数码照相机、数码摄像机等图像传感器应用方面,当前市场前景广泛,因此对CMOS图像传感器的研发有着非常高的市场价值。本文首先介绍了CMOS图像传感器的发展历程和研究现状。随后叙述了CMOS图像传感器

3、的分类、结构及工作原理,为了更好的剖析CMOS图像传感器,着重说明了成像原理和图像信号的读取和处理过程,以及CMOS图像传感器的重要性能参数,以及在芯片测试(CP:ChipProbe)、终端测试(FT:FinalTest,)、应用测试(AE:ApplicationEngineeringTest)中的重要测试项加以剖析和分析。然后把实际的CMOS图像传感器的集成电路的制造中,利用代工厂的三大主要分析手段和结合相关CIS相关的问题去剖析和改善,最后把实际发生的CIS相关的问题做了概述和总结,建立了CMOS图像传感器的失效数据库。用实际经验给相关从业人员查阅的提

4、供了捷径,大大的提高工作效率和解决问题的能力。关键词:CMOS图像传感器,失效分析,良率,测试AbstractWiththedevelopmentofmanufacturingtechnologyofIntegratedCircuitandtheimprovementofICdesign,CMOSImageSensorshavebeenwidelyusedinmanyareasbecauseofitsmerits,suchaslowcost,lowpowerdissipation,highintegrationdensity,smallextension,

5、simpleprocessshortdevelopcycle.Themarketisratheropen,especiallyintheareaofdigitalproducts,thereforeitisveryusefulandvaluabletoresearchanddeveloptheCMOSImageSensors.Firstly,thepaperintroducesthedevelopmenthistorytheresearchsituationoftheCMOSImageSensors.Secondlyitpresentstheclassif

6、ications,structureandworkingprincipleofthepixelofCMOSimagesensor,inwhichitfocusontheimagingtheory,theprocedureofreading,processingtheimagesignalandimportantfunctionparametersofCP(ChipProbe),FT(FinalTest),AE(ApplicationEngineeringtest).Thirdly,atthepreconditionofCISmanufacture,use3

7、majorFABanalysismethodscombiningwithactuallycasestodoissuesolventandbaselineimprovement.Finally,summaryallCMOSimagesensorrelatedcases,thenbuildlibraryforthem.Anduseactualexperiencetoproviderelatedpractitionersthelessonlearnttolookup,greatlyincreasetheirworkefficiencyandabilitytoso

8、lveproblemsobviously.KeyWords:CMO

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