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《真空技术及应用系列讲座 第七讲_真空检漏04》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、真 空第2期46Vacuum2VacuumTechnologyandMaterial1998年4月真空技术及应用系列讲座东北大学真空工程博士点,博士导师杨乃恒先生主持第一讲:真空科学的发展及其应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯李云奇 95(2)第二讲:真空物理基础⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯张世伟 95(3)第三讲:机械真空泵(一)(二)(三)(四)(五)(六)⋯张以忱95(4)、(5)、(6)、96(1)、(2)、(3)第四讲:蒸汽流真空泵⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯
2、⋯⋯⋯⋯⋯姚民生 96(4)第五讲:气体捕集式真空泵⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯徐成海 96(5)第六讲:真空测量⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯刘玉岱 96(6)、97(1)、(2)、(3)、(4)第七讲:真空检漏⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯关奎之 97(5)、(6)、98(1)第七讲:真空检漏关奎之(东北大学)21氦质谱检漏仪法(接1998年第1期第50页)利用氦质谱检漏仪进行检漏的方法有:喷吹法、氦罩法、检漏盒法、吸枪法、充压法、背压法、累积法、选择性抽气法、检漏台法、逆流检
3、漏法和标准漏孔比较法。各种方法的设备、步骤及漏率见表11。在检漏过程中,应注意调节仪器工作压力和氦峰,注意经常校准仪器灵敏度,注意降低仪器本底和本底噪声,以便保证氦质谱检漏仪检漏法的灵敏度。表11 氦质谱仪检漏法方法示 意 图 符号 步 骤 漏 率1检漏仪1预抽I-I0喷2辅助阀2调仪器qL=2InqL,min3辅助泵3喷He吹I0—本底4被检件4测漏I法In—噪声5喷枪6氦气qL,min—灵敏度1检漏仪3充He2辅助阀4测漏I氦3辅助泵5测标漏I0,aI-I0罩4被检件6比较
4、IöI0,aqL=I0,a·qL,05氦罩法6氦气qL,0—标漏漏率7密封件8检漏盒1检漏仪1预抽检漏盒2辅助阀2调仪器检3辅助泵3喷He漏4被检件I-I0盒5喷枪4测漏IqL=2L,minInq法6氦气7密封件8检漏盒第2期 关奎之:真空检漏47方法示 意 图 符号 步 骤 漏 率吸1检漏仪1充HeI-I0枪2吸枪2调仪器qL=2InqL,min3被检件3吸枪搜索法4氦气4测漏IqL,min—吸枪法的灵敏度1检漏仪1预抽5I-I501.01×10充2
5、辅助阀2调仪器qL=2IL,min3辅助泵3充He进4,nqpHe压法4被检件 压力pHepHe—充He压力[Pa]5真空室4测漏I6氦气qL,min—灵敏度背1加氦压1背压He进试件压2净化2净化试件外表面法3检漏3检漏1抽速阀aHe升压累积法:2质谱室 关阀1升He压3被检件b氦罩峰值法:累4氦罩$t时间后快速积5快速阀 开阀5法6吸枪c吸枪峰值法:7检漏盒$t时间后开吸8检漏仪 枪61预抽I-I0选1检漏仪2调仪器qL=2IL,minnq择2辅助阀3开泵3抽气性3吸附泵qL,min—步骤4
6、灵敏度或4用标漏5校灵抽4被检件I气5标准漏孔 敏度qL=qL,05用He测漏IL,0法6配气系统qL,0—标漏漏率1检漏仪1辅助系统5预抽检2检漏台2调仪器漏I-I03密封圈3关5开1抽2qL=qL,min台2In4被检件4用He测漏法5辅助系统逆1逆流检漏流 仪1预抽I-I02调仪器qL=qL,min检2辅助阀2In3测漏漏3辅助泵qL,min—逆流法的灵敏度法4被检件标1检漏仪1预抽漏2辅助阀2调仪器I·qqL=L,o比3辅助泵3标漏5讯号Io,aIo,a较4被检件4试件4讯号1qL,o—
7、标漏漏率法5标准漏孔5比较IöIo,a48真 空 第2期31检漏方法的选择及对检漏人员的要求(1)检漏方法的选择比较理想的检漏方法应满足下列要求:①合适的检漏灵敏度在具体的检漏条件下,所选择方法的检漏灵敏度,通常高于最大容许漏率1～2个数量级。②反应时间和清除时间短③不仅能找出漏孔的位置,而且还能测定漏率找出漏孔位置的方法有喷吹法和吸枪法。喷吹法适用于可抽空的被检件。高频火花检漏器法、真空计法、固定式卤素仪法和氦质谱仪法归于喷吹法。吸枪法适用于不允许抽空、放
8、气量大、复杂管道等被检件。气泡法、荧光法,氨检漏法及吸枪式检漏仪法可归于吸枪法。测定漏率的方法是测量示漏物质的漏率变化或浓度变化量。根据条件可采用适当的方法。④品质优良的示漏物质示漏物质具有在空气中含量少,灵敏度高,不腐蚀、不污染被检件、抽气系统及检漏仪表,无毒、阻燃和防爆。⑤稳定性好、检漏范围宽⑥结构简单、操作维修方便,成本低由于上述要求有些是相互矛盾的,若想采用一种方法都能满足是不合实际的。所以只要根据具体情况能够满足其主要要求的检漏方法就是较为适宜的。实践证明,检漏人员的素质、工作经验也是
