mems温度传感器批量检测系统

《mems温度传感器批量检测系统》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、摘要温度与我们的生产生活息息相关，温度的测量需要采用温度传感器来进行。当今传感器的一个明显发展趋势：沿用传统传感器的检测原理，优先选用半导体材料，利用MEMS技术，从传统的传感器设计和应用，转向以微机械和微电子为基础的微型传感器和智能传感器的设计和应用。数字温度传感器市场稳步快速发展，但是落后的检测方法及手工检测造成的低效率，成为制约其批量生产和影响产品质量的主要因素。因此如何实现数字温度传感器的自动批量检测，成为大幅提高生产效率的主要问题，有必要设计开发出一套高效实用的传感器批量检测系统。本文以数字温度传

2、感器SHT75为实验对象，结合虚拟仪器技术，设计了数字温度传感器的批量检测系统，具有多通道选择、任意温度点测量、传感器参数标定和数据传输存储等功能。本文首先介绍了检测系统整体方案的设计，随后重点介绍了检测系统的两个核心模块——下位机数据采集模块和上位机系统软件模块——的设计与实现，最后讲述了系统运行的结果，总结已完成的工作和需要改进的部分。本文进行了如下研究工作：1．设计了一套64通道的数据采集系统，实现了对SHT75数字温度传感器的批量采集，并能与上位机进行可靠通讯。2．自动控制温度源，可以任意选择温度检

3、测点，实现检测的自动控制。3．实现了检测仪器的虚拟化，用户在高度交互性的虚拟控制面板上进行简单操作，就能实现检测过程的设置与控制。4．对采集数据进行线性拟合，给出线性参数，并将数据保存至Excel文件。本系统的研制，有效解决传感器自动检测与标定这～传感器企业亟待解决的问题，为组建类似的检测系统提供了可以借鉴的方法，具有一定的理论意义和实际应用价值。关键词：检测系统，数字温度传感器，数据采集，虚拟仪器ABSTRACTTemperatureiscloselyrelatedtoourdailyproduction

4、andlife．whichismeasuredbythetemperaturesensor．Atpresent，thedevelopmenttrendofsensorsisveryclear．Followingthesamedetectionprinciple，wedesignandmakeuseofmicro．sensorsandsmartsensorbasedonmicromechanicsandmicroelectronics，insteadofconventionalsensors，utilizin

5、gsemiconductormaterialsandMEMStechnology．Themarketdemandofdigitaltemperaturesensorsisincreasingrapidly．However，theinefficiencymadebythebackwarddetectionmethodsandmanualdetectionbecomethechieffactorthataffectsmassproductionandqualityofsensors．Therefore，howt

6、osolvetheproblemofautomaticbatchdetectionisthemainproblemifwewanttomakeasubstantialincreaseinthesensorproductionemciency．ItiSessentialtoresearchanddevelopanemcientandpracticalautomaticbatchdetectionsystemfordigitaltemperaturesensors．111edigitaltemperatures

7、ensordetectionsystemispresentedinthisthesis．DigitaltemperaturesensorSHT75iSchosenasthetestobject．Combiningwiththevirtualinstrumenttechnology,thissystemhasthefunctionsofmulti·channelselecting，testingatanytemperature，parametercalibration，datatransmissionands

8、torageandetc．Firstly,thedesignofthedetectionsystemisintroduced．Secondly,dataacquisitionmoduleandsystemsoftwaremodule，whicharethetwokeymodulesofthesystem，arediscussedindetail．Atlast，theperformanceofthesysteman