mems器件工艺特性及其性能测试的研究

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1、分类号：THl62UDC：62l工学硕士学位论文密级：编号：MEMS器件工艺特性及其性能测试的研究硕士研究生：李向洲指导教师：邵伟平教授学科、专业：机械制造及其自动化沈阳理工大学2014年3月10日分类号：THl62UDC：621工学硕士学位论文密级：编号：MEMS器件工艺特性及其性能测试的研究硕士研究生：指导教师：学位级别：学科、专业：所在单位：论文提交日期：论文答辩日期：学位授予单位：李向洲邵伟平工学硕士机械制造及其自动化机械工程学院2013年12月15日2014年3月8日沈阳理工大学Classificati

2、onIndex：THl62U．D．C：621AThesisfortheMasterDegreeofEngineeringMEMSDeviceCharacteristicsandPerformanceTestingTechnologyResearchCandidate：LiXiangzhouSupervisor：ShaoWeipingAcademicDegreeAppliedfor：MasterofEngineeringSpeciality：MechanicalManufacturingandAutomationD

3、ateofSubmission：December15，2013DateofExamination：March8．2014University：ShenyangLigongUniversity沈阳理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：本论文的所有工作，是在导师的指导卜．，由作者本人独立完成的。有关观点、方法、数据和文献的引用已在文中指出，并与参考文献相对应。除文中已注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经公开发表的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均己在文中以明确方式标明。本人完全意

4、识到本声明的法律结果由本人承担。作者(签字)：日期：学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解沈阳理工大学有关保留、使用学位论文的规定，即：沈阳理工大学有权保留并向国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权沈阳理工大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或其它复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后适用本授权书)⋯Et一签象雾缈秽币签螽易踅彬期：卿，；，侈日期：砌乒，刍，侈沈阳理T大学硕十学位论文摘要本文在把握微细电火花技术的国内

5、外发展的现状基础上，对微细电火花技术做了深入的研究，就微细电火花的加工原理，在阐述其放电蚀除过程的同时，对复杂的放电过程进行了分析，对放电能量的转换进行了图示总结，并且研究了加工后工件的表面质量和电参数影响的关系，利用窄脉宽放电实验方法把表面质量可能的结果进行了分类研究，对表面凹坑的形成原因和形成的大小进行了研究，采用ANSYS有限元仿真软件进行建模仿真，模拟加工过程的温度场，并对仿真结果进行图像处理，可以看到不同时刻的温度变化和最终凹坑形成的大小，利用公式对其进行修正，得到凹坑的变化趋势，验证放电参数对表面质量

6、的影响规律。课题针对这项技术的加工工艺特性做了深入研究，优化设置多日标参数，采用的是科学的『F交试验方法，对各种参数对加工过程的变化规律进行总结，通过打孔的实验得到了加工效率和电极损耗下的优化参数，对粗加工和糖加工的参数优化有很大的指导作用。在加工0．1mm以下的微细结构时，用到了精加工的参数优化设置，经过两次实验得到了很好的实验效果，为加工此类微细的结构提供了有力的参考，并尝试了自己设计的隔爆板和微齿轮的加工，根据不同的材料，选择参数的组合，经过多次的实验，成功的加工出符合设计要求的隔爆板和微齿轮，总结出了加工

7、工艺，为以后复杂零件的加工提供一个参考。对于极微细的结构，需要相应微细的电极，本文通过比较众多的在线制作微细电极的方法，选用了块电极反拷法进行了加工，制备出了直径在0．1mm、0．08mm、0．05mm的不同电极，利用加工出的电极进行了打孑L实验和窄槽的加工，并制作出了直径约为0．012mm的电极，长径比在1：30以上，为制作精细的三维结构奠定一些基础。关键词：微细电火花技术；『F交试验；反拷法：放电通道沈阳理T大学帧士学位论文AbstractInthispaper,tograspthemicro—EDMtech

8、nologydevelopmentstatusathomeandabroad，basedonthemicro—EDMtechnologytodoathoroughresearch，themicro—EDMmachiningprinciplesexpounddischargeerosionprocess，inthesametime，thecomplexdischargepr