mems微针制备技术及其工艺的研究

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1、目录摘要........................................................................................................................................IAbstract.................................................................................................................................II第一章绪论...........

2、..............................................................................................................31.1研究背景.................................................................................................................31.2微针的作用........................................................

3、.....................................................41.3三维微加工技术简介.............................................................................................71.3.1深刻蚀工艺..................................................................................................71.3.2常用准三维微加工技术............

4、................................................................121.3.3其他几种三维微加工技术........................................................................161.3.4总结............................................................................................................201.4微针分类和加工方法...........

5、................................................................................201.4.1微针的分类................................................................................................201.4.2微针的制作方法........................................................................................201.5本

6、论文的研究意义及主要研究内容...................................................................251.5.1研究目的及意义........................................................................................251.5.2研究内容....................................................................................................26

7、1.6本章小结...............................................................................................................26第二章基于背面曝光制作微针.......................................................................................272.