《icp操作规程》doc版

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1、ICP操作规程开机（一）开机前检查1）大空调风机是否开启；2）超净室冷却循环水是否开启；3）液氮转化氮气装置是否开始进入蒸发状态，存量是否够一次使用；4）kyky水箱水位（冷却机体循环水）；5）尾气处理器的情况（水位，水的颜色等）；6）检查Icp的供电情况（Ban2-16单相和Ban2-19三相空气开关是否合上；Ban2-14（尾气处理）和Ban1-n1（kyky循环水箱的电闸是否合上，三相，三火一个零线）。7）下电极冷却水箱的冷却液的液位；8)机械泵的油位。（二）开机1）打开kyky水箱；2）打开

2、尾气处理器；3）打开要使用气的气瓶阀（氯基气体除外），及其对应的流量计气柜前阀；4）打开供干泵和系统放气的N2气阀，压力显示为10psi，5）压缩空气阀，压力显示为75-80psi，6）打开超净室冷却循环水阀，先打回水，后打进水。用手摸一下朔料管，检查是否有水流。7）按off按钮复位；8）按Main按钮，等计算机进入window界面；9）按pump按钮（控制机械泵的开启）；10）打开下电极冷却水箱；11）打开干泵（需检查水流量2-3.5L/M,氮气流量指针在绿区，58-62PaM3/s，记录运行时间

3、；12）双击应用程序PLC-1.36.exe，系统初始化，等待分子泵加速5分钟，这时可以进行下面的步骤：13）logon登录，编辑和调用recipe工艺单，等分子泵全速（三个绿灯亮，power，normal，remote）后，才能进行工艺过程。工艺过程：（一）检查真空按Manualprocesscontrol按钮，查看工艺腔的真空pressureread值，按pressisoopen按钮打开真空计前的阀，看工艺腔的真空pressureread值的大小，小于5mT，没有问题，如果时间很长，还达不到小于

4、20mT,可能分子泵的抽速不行了，大于50MT，分子泵可能没转，或者系统漏气。（二）清洗系统（clean）把清洗工艺单调入当前目录窗口，或者调入编辑工艺单，save，再把编辑好的清洗工艺单调入当前目录窗口，pressureset设为250，ICP（500），RIE（150）。Exit工艺界面，按fullauto按钮，进行全自动操作（打开预真空室，放入光片，ok，ok….）清洗腔室。（三）构造环境（condition）M111M2流量计柜V1V2V3V4V5V6氯气瓶氮气瓶气瓶柜如果使用氯气和BCl3

5、，需要清洗对应的气路，然后放入该气入管路备用，步骤如下：[1]氯气的备用51）先抽干上次冲入的保护管路的N2（从气瓶到腔室）：确认V4和V3关闭，把减压器M1调到最大(旋钮变紧)，打开V1和V2后，按Manualprocesscontrol按钮，进入该界面，把pressureset，Hepressureset和其他各路气体流量设为0，把要洗的气体流量设为最大，如Cl2流量43，点击gasesoff按钮，开始抽气，CL2read值变为1既可，按gaseson按钮结束抽气。2）冲入N2：（1）.先关闭V

6、1和V2，可以看到M1的值为负值，把减压器M1调到最小（旋钮变松）；（2）开V4,把减压器M1调到20psi，慢慢打开V2，打开V1；（3）关闭V4。3）再抽气按Manualprocesscontrol按钮，进入该界面，把pressureset，Hepressureset和其他各路气体流量设为0，把要洗的气体流量设为最大，如Cl2流量43，点击gasesoff按钮，开始抽气，CL2read值变为1既可，按gaseson按钮结束抽气。4）充氯气入管路：（1）关闭V1，关闭V2阀，把减压器M1调到最小；

7、（2）确认V4关闭后，打开氯气瓶阀V3，一定把阀调到最大，把减压器M1调到20psi，慢慢打开V2，打开V1。[2]BCl3的备用同样(1)先抽干上次N2；（2）冲入N2;（3）再抽干N2；（4）冲入BCl3，，把减压器M1调到5psi（BCl3的饱和蒸气压低）。[3]环境构造把工艺单调入当前目录窗口，或者调入编辑工艺单（可以设置腔体压力，ICP和RIE功率，各路气体流量，工艺时间，He的流量和压力，chamberpressureIon（torr）可以设置允许工艺开始的真空值，默认值为小于10-3，

8、实验步数最多16步,每步工艺时，相隔5秒），save，再把编辑好的工艺单调入当前目录窗口，按fullauto按钮，进行全自动操作（打开预真空室，放入光片，ok，ok….）进行工艺，进行二次。（二）进行工艺把样片放入进行工艺。可以手动，半自动和全自动三个模式进行。结束后需要清洗氯气和BCl3管路。（三）清洗氯气和BCl3管路（一）氯气管路（1）关闭氯气瓶阀V3，确认V1,V2打开和减压器M1为20psi，（2）用gaseson抽氯气：按Manualprocesscont