紫外光敏复合引发体系的研究及应用

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1、摘要光敏聚合物材料中，光敏速度即感光灵敏度是一项极为重要的技术指标，它直接制约着光敏聚合材料的性能及应用前景。因此，高效光敏引发体系的研究成为当今研究的一个热点。本论文涉及到一种高效复合引发体及其在光敏成像体系中的应用。对所需增感剂、供氢体进行筛选，对所需聚合物进行改性，并对复合引发体系应用于光敏成像体系的成像性能进行较系统的研究。选用不同增感剂、供氢体与邻氯代六芳基双咪唑(BCIM)化合物进行复合，考察其光固化性能，重点考察了增感剂4，4．二(N，N’．二甲基一氨基)苯甲酮(EMK)、供氢体N一苯基甘胺酸(NVG)与邻氯代六芳基双咪哗(BcIM)组成的复合光引发体系的光固

2、化性能。实验结果表明BCIM／EMK／NPG复合光引发体系综合性能最好。采用毛细管膨胀计法检测了复合引发体系引发甲基丙烯酸甲酯(MMA)单体聚合的动力学。讨论了BCIM、EMK、NPG、MMA的浓度对溶液体系体积收缩的影响，并计算出聚合反应速率与各物质浓度之间的关系，实验结果表明本实验条件下BCIM浓度指数为0．68、EMK浓度指数为0．043，供氢体浓度指数为1．68，单体浓度指数为O．99。用丙烯酸缩水甘油酯改性苯乙烯．马来酸酐共聚物，得到碱溶性光敏树脂。通过酸值的测定，考察了反应时间、反应温度、催化剂种类、催化剂用量对丙烯酸缩水甘油酯转化率的影响；采用红外光谱对合成的

3、聚合物进行了结构表征；将合成改性的苯乙烯。马来酸酐树脂应用于光成像体系中，考察膜的综合性能。BCIM／EMK／NPG复合光引发体系应用于液态光致抗蚀剂。考察了供氢体种类、复合光引发体系用量、阻聚剂种类及用量、不同光引发体系、曝光能量等对液态光致抗蚀剂的固化性能、成像性能、稳定性及膜的其它性能的影响。关键词：六芳基双咪唑；增感剂；供氢体；液态光致抗蚀剂AbstractThephotosensitivityisvitalimportantforthephotosensitivepolymermaterials．Theimtimionsystemwithhighactivepho

4、tosensitivityisthecurrenttopic．Inthispaperacompoundphotoinitiatorsystemandapplicationforphotoresistwerestudied．Severalsensitizersandhydrogendonorswereselected，polymerwassynthesizedandimagingpropertiesofthephotosensitiveimagingsystemwereinvestigated．Severalsensitizersandhydrogendonorswereus

5、edwithhexaarylbiimidazoleasphotoinitiatorsystem．Thephotocuringproperties，especiallythephotoinitiatorsystemcomposedphotosensitivityofphotoinitiatorsystemexaarylbiimidazole／N，N-tetraethyl一4，4’一diaminobenzophenone(EMK)，hydrogendonorN—phenylglycine(NPG)andhexaarylbiimidazole(BCIM)werestudied．T

6、heresearchresultssuggestedthattheBCIM／EMK／NPGsystemWasmostefficiency．ThephotocuringprocessofMMAWasmonitoredusingdilatometer．Thecuringkineticswasfoundtobeaffectedbyvariousfactors．TheeffectonvolumeshrinkagebytheconcentrationofBCIM，EMK，NPGandMMAWasdeterminedandthepolymerizationrateWasachieved

7、．TheresearchresultssuggestedthattheexponentofhexaarylbiimidazolewasO．68，theexponentofEMKWas0．043，theexponentofNPGwas1．68andtheexponentofMMAWas0．99．Styrene／MaleicAnhydrideresinwassynthesized．Theeffectsofreactiontime，reactiontemperature，thecatalystsanditsdosagew