化学沉积稀土钴基合金薄膜组织和软磁性能的研究

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1、化学沉积稀土铺基合金薄膜组织和软磁性能的研究摘要本文研究了化学沉积稀土锚基合金薄膜组织和软磁性能。采用正交实验法设计并实验了化学沉积co-Ni．B-RE合众工艺的基础配方和最佳配方，制备出试糖，考察了含众镀屡魏缀缓缝稳帮秧蕊影貔，潮定了合金渡爱瓣避拖学牲筑、力学性能及磁学性能。在化学沉积Co．Ni*B合金镀屠中添加不同莘串类稀土元素，探讨其对合金镀层工艺、组织结构和性能的作用机理和影响方式，以期获得综合性能优异的化学沉积钴基台金软磁薄膜。结果表明：镀液中添加稀土元素斌，滚获速凄褥黧翳燕疆寒，在一定范围蠹，蕤簧镀滚中R

2、E添熬爨浚鹫鸯嚣，淀舔速度先增大后减小；含有稀士元素镀液的稳定性、镀层的结合力和表面质量商所改善；在水溶液中稀土元綮RE可以与钻基合金实现共沉积，且随着镀液中RE浓菠鲍增大，合金镀层中Co、Ni秽RE的含量势嶷，B含量酶低；舔土RE韵溶入，使合盒镀层由菲晶淼转变畿徽菇悫，晶粒缨夺，缝缀致臻；添热稀主RE后影响了台龛的电化学饿能，提高了析出电位，减小了极化魔；络合剂和稳定剂改变了化掌镀Co，Ni-B—RE溶液的电化学行为，含量适量时使极化度减小，摄毽邀显受移纛寝减弱，沉积电滚瓒大，箍毫了浚积速瘦；稳±元素La、Ce、D

3、v使合金镀层舷微硬度得到敬善，在一愆范围内，鼹微硬度随RE含量的增加而先增大后减小，不同稀士的改善效果：Dy最明显，Ce次之，La最弱。稀土元繁明显改善了Co-Ni(Fe)一B合金的磁学性能，使褥饱和磁化强躞Ms、初始磁导攀蚌9稻最大磁静率p。。；秀蕊，蓊霰力He降诋。与co．Fe。B。RE台金疆整较，虽co．Ni．B—RE合金的Ms姆小，但其肛o、¨。。。较大，Mr、He较小，综合软磁性能更加优异，且含4f电予的稀土元索比不含4f电子的稀土元綮、轻稀土元素毙耄穗主元豢辩镀星牲毙麴改善终蠲翼糖疆显，褥翻了软磁性戆援异

4、静化学沉载Co．Ni．B．RE合金。关键词：化学沉积；稀士；锚基台金；薄膜；软磁性熊；Co．Ni．BStudyOiltheStructureandSoftMagneticPropertiesofElectrolessDepositionCobalt-baseAlloyFilmwithRareEarthJoinedAbstractThestructureandsoftmagneticpropertiesoftheelectrolessdepositioncobalt·basealloyfilmwithrareeachj

5、oinedwerestudied，ThebasicformulationandoptimumformulationofprocessofelectrolessdepositionCo·Ni—B-REalloysweredesignedandtestedusingperpenpularmethod．Thesampleswereprepared．Thestructureandmicromorphologywereobserved．Theelectrochemicalcharacter．ristic，mechanicala

6、ndmagneticpropertiesweremeasured．ThedifferentkindsofrareearthelementswereaddedtoelectrolessdepositionCo—Ni—Balloycoating．ThemechanismofactionandinfluencemodeOntheprocess，structureandpropertiesofCo．Ni—Balloycoatingwerediscussedinordertoobtaintheelectrolessdeposi

7、tioncobalt．basealloyfilmwithexcellentover-allsoftmagneticproperties．Theresultsshowedthataftertherareearthelementsareaddedtobath．theplatingrateisincreasedobviously．Insomerange，platingrateincreasesatfirt，thendecreaseswithincreaseofamountaddedofRE．BecauseofREbeing

8、addedtobath．thestabilityofbath，bondingforceofcoatingandsurfacequalityareimproved．TherareearthelementsREcancodepositwithcobalt—basealloy，andwithincreaseofamoutaddedofREinsolu