超精密圆柱度误差测量方法研究

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1、分类号；ＴＨ１２４单位代码；１０１９０研究生学号：２０１２０１０１７密级：无朵采寺欠爹硕女学位论文超精密圆柱度误差测量方法研究－ｒｅＳｔｕｄｏｎＵｉｌｉｎｒｃＥｒｒｏｒｙｌｔｒａｐｃｓｉｏｎＣｙｄｉｉｔｙＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＭｅｔｈｏｄ研究生姓名：郑永涛专业；机械制造及其自动化指导教师姓名：马风雷指导教师职称：敎授２０巧年４月长春工业大学硕±学位论文摘要圆柱类零件是各种机器设备的基础部件，也是组成各种回转运动副的必要元件，

2、其表面的形状误差、，对配合精度及性质产生极大的影响，对控制回转运动过程的振动噪声ｔｕ及回转运动副间的润滑、密封效果有着重要意义。圆柱度误差是圆柱类零件形一项综合评定指标状精度的，反映了被测圆柱面要素相对于理想圆柱面的变动量。简易一、实用、经济、高精度、高效率的圆柱度误差测量方法直是国内外学者研究的热点。作者查阅了大量文献资料，，分析了国内外现行圆柱度误差测量方法根据圆柱度误差评定标准Ｗ及电容传感器的基本理论，提出了圆柱度误差测量的电容形面传感法一，该方法利用采样面的方式对圆柱类零件进行测

3、量，通过次采样就能获取被测面的全部信息，从而实现圆柱度误差的快速、高精度、非接触式测量，弥补了现有通过采样点取样进行测量的弊端。本文首先研究推导了多导体系统部分电容的求解过程及性质，并运用ＡＮＳＹＳ软件对Ｈ维实体模型的多导体系统部分电容进行提取，通过对提取的电容结果的对比分析，验证了电容形面传感法测量原理的准确性，同时也说明了电容形面传感方法的可行性。最后，依据电容形面传感法测量原理设计了电容式测量头，对设计的电容式测量头进行模拟实验，通过对实验结果和电场分布情况分析，表明所设计的电容式

4、测量头能够极大减小边缘效应和外界干扰对测量结果的影响，并对电容式测量头结构的尺寸参数进行了优化，找到了各个尺寸参数因素对测量结果影响的主次关系和最优水平组合。针对某公司生产零件的圆柱度误差不能大于０．００２ｍｍ的要求，Ｗ电容形面传感法的基本理论为基础，对测量装置机械结构进行了整体设计。关键词：圆柱度误差电容形面传感测量头Ｉ长＃Ｔ业大学硕击学位论文ＡｂｓｔｒａｃｔＧｙｌｉ打ｄｒｉｃ注１ｐａｒｔｓａｒｅｂｏｔｈｔｈｅｂａｓｉｃｃｏｍｐｏ打ｅｎｔｓｏｆａｌｌｋｉ打ｄ

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7、ｉｄｅａｌｃｙｌｉｎｄｅｒＴｈｅｍｅａｓｕｒｉｎｇｍｅ化ｏｄｏｆｃｌｉｎｄｒｉｃｉｔｅｒｒｏｒｉｓｓｉｍｌｅｒａｃｔｉｃａｌｅｃｏｎｏｍｉｃａｌｗｉ化ｈｉｈｒｅｃｉｓｉｏｎａｎｄｙｙｐ，ｐ，ｇｐ＂－ｈｉｈｅｆｉｃｉｅｎｃ．Ｔｈｅｒｅｆｂｒｅｉｔｉｓａｌｗａｓ化ｅｈｏｔｉｓｓｕｅｏｆｎｏｍｅｓｆｂｒｅｉａｎｄｄｓｔｉｃｉｅｓｅａｒｃｈｅｒ．ｇｙ，ｙｇＴｈｅａｕｔｈｏｒｅｘａｍｉｎｅｄａｌａｒｇｅａｍｏｕｎｔｏｆｌｉｔｅｒａｔｕｒｅａｎａｌｚｅｄ

8、ｔｈｅｃｕｒｒｅｎｔｆｂｒｅｉｎａｎｄ，ｙｇｄｏｍｅｓｔｉｃｍｅｔｈｏｄｓｏｆｃｙｌｉｎｄｒｉｃａｌｅｒｒｏｒｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ，ａｎｄｐｕｔｆｏｒｗａｒｄｔｈｅｃａｐａｃｉｔｉｖｅｓｈａｐｅｄｓｕｒｆａｃｅｓｅｎｓｉｎｇｍｅｔｈｏｄｕｓｅｄｔｏｍｅａｓｕｒｅ化ｅｃｙｌｉｎｄ