纳米三坐标测量机误差补偿及精度评定

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1、单位代码：１０３巧Ｔｉｎｉｌ分类号：１２１７００１８学号：２０公开密级：ＨｅｆｅｉＵ打ｉｖｅｒｓｉｔｏｆｙＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ硕：ｔ学位论文Ｍ乂ＳＴＥＲＤＥＧＲＥＥＴＨＥＳＩＳ产纳米Ｈ坐标测量机误差补偿及精度评定论文题Ｈ：学位类别：专业硕±学科专业：仪器仪紅程（谓贞域）作者麵名：周浩范光照搬＇完成时Ｍ：２０１５年４月今？．？？＇一＾七１的５９单位代码：巧级：公巧２０１２１７００巧分类号ＴＨ７１１学号：：冬化Ａ令义冬Ｈ

2、ｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｙｇｙ硕±学位论义ＭＡ＾ＳＴＥＲＳＤＩＳＳＥＲＴＡＴＩＯＮ论文題目：纳米Ｈ坐标测量机误差补偿及精度评定学位类别；专业硕壬专业名称：化器化表工稱作者姓名：周浩：范光照教梗导师姓名完成时间：２０１５年４月合肥工业大学专业硕±学位论女纳米Ｈ坐标测量机误差补偿及精度评定■：１ｆｉ１—ｉ作者姓名指导教师：范光照教授学科专业：化器仪表工程研究方向：纳米测量技术２０１５年４月ＡＤｉｓｓｅｒ

3、ｔａｔｉｏｎＳｕｂｍｉｔｅｄｆｏｒｔｈｅＤｅｒｅｅｏｆＭａ巧ｅｒｇＥｒｒｏｒｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎａｎｄＡｃｃｕｒａｃｙｅｖａｌｕａｔｉｏｎｏｆＮａ－口ｏＣＭＭＢｙＺｈｏｕＨａｏＨｅｆｅｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＨｅｆｅｉＡｎｈｕｉＰ．民．Ｃｈｉｎａ，，Ａｒｉｌ２０１５ｐ，含鹏工业大学本论文经答辩委资会全体委贸窜慈，确认符合舍肥工业大学专业硕±学位论义质量要求。答辫委赁会签名（工作单粒、职称、翅洛）＇主席，：合肥工业大学，教授婿蘭

4、ｈ甘委员：中电％研究所，窩缀工程师，．安鑛理Ｘ大学教援，Ａ＾合肥１业大学．顯教授．＾导师：合肥Ｉ业大擎，教缓，ｆｔ飞也学位论女独创性声明本人邦靈齊明：巧虽交的学位论文是本人在导师指辱下进巧独立硏巧工作巧取＃的成果，。踞我巧知，除了文中特魏加巧化巧教谢的巧容外论义中不包含其他人己媛发褒或撰写过的研究泼梁，也不哲含为获臀音踞工业大学或巧他教宵机构的学位或巧巧雨使用巧的材料。巧本义成梁傲出巧献的个人巧集体，本人己在论义中作ｒ塊磯顯说明，并表示谢懲。学位论文中衷达的＊点纯媛從卷本人观媒，与含

5、肥工业大学无关。＇学位论文萍者签名：签名日類：之哀０：又０叫．每学巧论文版极使用綾极书本挙垃论《化者宗全Ｔ解合ｅ工化大學有英谋留、您酒学拉论义的规定，，駿：除保密麗巧的涉密学位淀文外学校有较保存并向醫家脊关部口或机构送交论义的變巧件和电子）盛．话许论文被壺驟或猶絕．本人授巧合腰Ｘ化大學：巧＆格本学化论义的含祐或雜分内巧鑑、起共愁据库，发许巧巧影印、縮印或扫鷄等搜載手段保存、亿编学佐论文。（媽密的学位论文在解密后适用本媛较书）学应论文偉者签名：巧绿教师窓名；方ｔ也整名肖期：乃签名日類，年＂。月八日

6、口，口ｙ，ｒ德文玲者學盤去巧工巧单按；－Ｕ１＆験系电话；Ｅ；通ｍ她她；離駿鷄鶴；致谢。时光如梭，转眼毕业在即经历了在纳米测量实验室兰年研巧生阶段的学习与研究，不论是学习科研中还是生活处事中，都有了不少的收获，使自己在沉稳不急躁的基础上讲求做事的效率，在最短的时间内做最多最好的事。，首先最要感谢的是我的导师范光照教授本论文得Ｗ顺利完成，这Ｈ年来老师在科研上悉屯、指导、帮助，老师对于科研的细也执着，做事严谨的工作态度也深深的影响了我。在对我的研究工作要求严格的同时，并给予我充分的信任和支

7、持，让我有更多自由的科研创新空间，使我受益匪浅。在此我将最崇高的敬意献给老师。感谢合肥工业大学仪器科学与光电工程学院的黄强先老师在我担任范一老师助理的年里给予的支持和帮助，感谢学院领导马文革书记、陶余样老师对我生活上的关也与鼓励。，感谢将科研工作交接于我的张友良师兄，他教授了我很多的技术知识传授了许多实验室的宝贵经验，在我遇到问题时给予积极帮助和提供宝贵的意见，在科研的道路上避免了很多弯路。特别感谢李瑞君博±对我研究上的帮助与生活上的关也。感谢吴祥龙师兄、张晴、张巧师姐无论在研究还是生活上的鼓励与支持

8、；感谢同窗好友王响伴我度过纳米实验室充实的三年，无论是学术问题的互帮互助、或是工作空隙间的吃喝玩乐，都让我觉得很幸运有你这样的好伙伴。还要感谢泻建，向萌，何亚雄，李也愿带来实验上的帮助和生活上的