纳米三坐标测量机误差分离方案的研究

《纳米三坐标测量机误差分离方案的研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、⑨纳米三坐标测量机误差分离方案的研究摘要三坐标测量机作为一种现代高效率的精密测量仪器，广泛应用于机械制造业、电子业、汽车业和航空航天等众多行业。而随着微纳米工程技术的快速发展，近年来，国内外都将纳米级精度、微型化，作为三坐标测量机研制发展的重点。本文以正在研制的新型纳米三坐标测量机为对象，研究和采用现代精度保障理论与技术，如纳米级水平的全误差来源分析与不确定度计算，纳米级精度系统的精度设计与误差分配，高精度误差分离方案研究与误差修正软件编制，系统精度标定等，实现低成本和高精度纳米三坐标测量机的研制任务。本文重点介绍高精度误差分离方案的研究，基于误差分离

2、技术，使用德国SIOS公司的微型纳米级精度的三光束激光干涉仪SP2000作为高精度的标准量，对正在研制的新型纳米三坐标测量机进行误差分离方案的研究。SP2000具有同步测量位移量值和角度量值的功能。根据提出的误差分离方法，检定测量机的各单项误差值。对实验测得的误差值，以NI(NationalInstruments)公司的图形化编程软件LabVIEW8作为虚拟界面编程平台，基于三次样条函数插值算法，进行一维曲线插值和二维曲面插值拟合。将测量机视为刚体模型，采用运动学建模的方法，进行误差修正。关键词：三坐标测量机误差分离误差修正三次样条函数Research

3、onErrorSeparationMethodsofNanoCoordinateMeasuringMachinesAbstractCoordinateMeasuringMachines(CMM)isakindofmodernhighefficiencyprecisionmeasuringequipment．Itiswidelyappliedtomachinerymanufacturing，electronicsindustry，automobileindustryandaviationandaerospaceindustry，etc．Withthera

4、piddevelopmentofnano—microengineeringtechnology，nanometerorderaccuracyandmicromationhavebecomeanewtrendindevelopingCMMhomeandabroadinrecentyears．Inthispaper，thenewNano—CMM，whichisbeingdeveloped，istheobjectofthestudy．Themodernaccuracyensuringtheoryandtechnologyareresearchedandado

5、pted，suchasnanometerorderlevelanalysisoftotalerrorsourceanduncertaintycalculator，nanometerorderaccuracysystemaccuracydesign，highaccuracyerrorseparationmethodsresearchanderrorcorrectionsoftwareprogramming，andsystemaccuracycalibration，torealizethedevelopmentofNano—CMMwithlowcostbu

6、thighaccuracy．ThispapermainlyintroducesthestudyOnhighaccuracyerrorseparationmethods．Basedonerrorseparationtechniques，theminiaturethree-beamlaserinterferometerwithnanometerorderaccuracySP2000oftheSIOSCorporationofGermanyiSutilizedtoresearchontheerrorseparationmethodsofthebeing—de

7、velopednewtypeNano—CMM．TheSP2000canmeasurelengthandanglevaluessynchronously．ItmeasureseverysingleerrorofCMMbyadoptingtheerrorseparationmethodsdesignedbytheauthor．Basedontheinsertvaluearithmeticofcubicsplinefunction，thegraphicalprogramsoftwareLabVIEW8oftheNationalInstrumentsCorpo

8、rationisusedassoftwareplatformtoprogramerrordat