石墨烯基气体传感器的传感性能研究

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2、ｇｐｐｏｆｒａｈｅｎｅ－ｂａｓｅｄｇｐａｓｓｅｎｓｏｒｇＡＴｈｅｓｉｓＳｕｂｍｉｔｔｅｄｉｎＰａｒｔｉａｌＦｕｌｆｉｌｌｍｅｎｔｏｆｔｈｅＲｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔＦｏｒ化ｅＭ．Ｓ．ＤｅｇｒｅｅｉｎＭａｔｅｒｉａｌｓＰｈｙｓｉｃｓａｎｄＣｈｅｍｉｓｔｒｙＢｙＸｉａｏｐｅｎｇＤｏｎｇＰｏｓｔｒａｄｕａｔｅＰｒｏｒａｍｇｇＣｏｌｌｅｅｏｆＰｈｓｉｃａｌＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｇｙＣｅｎｔｒａｌＣｈｉｎａＮｏｒｍａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙＳｉｊｅｒｖｉｓｏｒ：ＸｉｎｔａｎＨｕａｎｑｇ

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4、文作者完全了解华中师范大学有关保留使用学位论文的规定即：研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属华中师范大学。学校有权保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和电子版；，允许学位论文被查阅和借阅学校可Ｗ公布学位论文的全部或部分内容，可Ｗ允许采用影印、缩印或其它复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后遵守此规定）保密论文注释：本学位论文属于保密，在年解密后适用本授权书。非保密论文注释：本学位论文不属于保密范围，适用本授权书。作者签名：＃导师签名：ｔ玄义１如＾：２曰期年ｉＴ月曰曰期＾告年月ｙｅ＂＂本人己经认真阅读ＣＡＬＩＳ离校学位论

5、文全文数据库发布章程，同意将本人的＂＂＂＂学位论文提交ＣＡＬＩＳ高校学位论文全文数据库中全文发布，并可按章程中的规定享受相关权益－。同意论义提巧后滞后□半年□年：□二年发布。；；、：：作者签名；？｜导师签名主义｜｜寒為日期：年月从日日年＾月又００恥学位论文ＭＡ＇ＳＴＥＲＳＴＨＥＳＩＳ摘要在快速发展的现代社会中，随着人们逐步提高的环保意识，对有毒、有害气体的检测，对大气污染和工业废气的监测都提出了更髙的要求，这就需要研究灵敏度。更高，响应更快的新型气体传感器而气敏材料是气体传感器的核也元件，决定了２２００４气体传感器性能的好坏。自从年石墨

6、赌被发现＾来，这种由单层碳原子［＾８９杂化而形成的六角蜂巢晶格排布的独特二维平面结构，在电、热及机械性能等方面、的优良性能表现出巨大的应用前景，石墨嫌大的比表面积高的载流子迁移率和低噪声等特性，使其在气体传感器领域备受瞩目。相比于常见的半导体金属氧化物气体传感器需要较高的工作温度，石墨稀可Ｗ在室温下进行气体检测，但是石墨婦气、。体传感器存在着灵敏度低响应恢复速度慢等问题，这也限制了石墨婦的实际应用针对Ｗ上石墨帰气体传感器中的问题，我们对改善石墨叛气体传感器的灵敏度Ｗ及响应恢复速度等气敏性能进行研究，主要工作包括：（１）研巧了ＣＶＤ法制备石墨帰的气体传感性能。通过

7、常压化学气相沉积（ＡＰＣＶＤ）的方法在铜基底上成功制备了单层石墨炼，经过直接接触转移这种简单有效的办法把石墨转移到绝缘基底上，进行微观操作制成传感器元件。在室温的条件下，检测了对Ｎ０２、ＮＨ３、和ＣＸｈＨ种气体的响应情况。在研巧对Ｃ化的气敏性能时，通过对转移之后的石墨帰进斤Ｃ〇２气体干燥处理，相比于没有经过Ｃ〇２气体。处理的石墨帰，其气体响应灵敏度有所提升，并简要分析了其原因（２）研究