基于多智能体的晶圆制造系统多目标优化与重调度方法研究

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3、师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不含任何其他个人或集体己经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均己在文中明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。ｙｊ巧．作者签名：问Ｐ日期：减关于论文使用巧权的说明学位论文作者完全了解北京化工大学有关保留和使用学位论文的规定，即；研巧生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属北京化工大学。学校有权保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印

4、件和磁盘，允许学位论文被查阅和借阅；学校可Ｗ公布学位论文的全部或部分内容，可允许采用影印、缩印或其它复制手段保存、汇编学位论文。□论文暂不公开（或保密）注释：本学位论文属于暂不公开（或保密）范围，在年解密后适用本授权书。＿□非暂不公开（或保密）论文注释：本学位论文不属于暂不公开（或保密）范围，适用本授权书。作者签名：却漸Ｐ日期：汹心作－导师签名－：日期：ｙｏｌｉｆ６ｈ学位论文数据集中图分类号ＴＰ２７３学科分类号５１０．８０６０论文编号

5、１００１０２０化０２６７密級公开学位授予单位代码１００１０学位授予单位名称北京化工大学作者姓名胡柳学号２０１３２１０２６７获学位专业名称控制工程获学位专业代码０８５２１０深题来源ＨＩ寒自然科学基金项目研究方自优化论文题目基于多智能体的晶困制造系统多目标优化与重调度方法研究关巧词品固制造系统，多智能体．多目标优化．重调度？－－论文笞辩日期２０１６５：２６论文类型基础研究学位论文评闽及答辩委员会情况姓名职称工作单位

6、学科专长括导教师ｔ政才疲？似大学￣￣■直北京华科巧智能复杂制造系统智能扣钥义，左巧了扣而龍有限责任公司難与优化评阅人２黄冉副教授北家化工大学自适应控制、巧优控制北京请密机电控制评，机ｉｎ山电控制出Ｉ阅人３徐顿祥巧绞王程师设备研究所评阅人４答辩委员会主巧王晶教授北京化工大学先进控制与故味诊巧答辩委员１巧其兵教投北京化工大学控制理论与控制工程答辩委员２王友清教投化京化工大学过程学习与容错控

7、制笞辩委员３张贝克副教授北京化工大学过程仿真答辩委员４黄冉副教授北京化工大学自适应控制、最优控制答辩委员５注一：２研究开发研４它．论文类退：１．基础研究．应用３．５．其＇二．中图分类号在《中国图书资料分类法》奎却。＂王Ａ－）。．学科分类号在中华人民共和国国家标准（ＧＢ１３７４５９《学科分类与代码》中奎巧四四位组．论文巧号由单位代码和年份及学号的后成。＾基于多替能体的晶困制造系统多目标化化与重巧度方法研究巧要晶圆制造系统是大规模

8、、复杂制造系统的典型代表，通过建立数学模型或传统的智能优化方法解决整个系统的调度问题是非常困难的，同时生产线中的不确定性因素对调度方法的高效性和实时性提出更高的－ｔ）要求。多智能体（ＭｕｌｔｉＡｇｅｎ技术将大规模复杂的待求解问题逐步分解为分散的小问题，处于系统中的各个智能体通过通信和协商形成具有一定关系的逻辑整体ｅｎｔ，共同完成任务，这样既能降低各ａｇ求解问题的规模，提高问题求解速度，也能提高系统的实时响应能力。本文基于多智能体思想针对晶圆制造系统的多目标优化与重调度