洁净室性能测试

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1、洁净室性能测试（一）测试项H的选择和实施顺序1、性能测试项口和顺序的选样，参照国际标准《洁净室及相关受控环境，第3部份：检测方法》，ISO14644-3屮相关要求，根据具体工程的规模、空气洁净度等级、产品生产工艺要求及布置情况、净化空调系统等因索确定，并应由建设方、施工方协商一致填写下表：性能测试项目清单和测试顺序选择测试顺序测试内容测试程序参照条款选择测试仪器测试仪器悬浮粒子C1U离散粒子计数器#□悬浮超微粒子计数C.12U凝结核粒子计数器□离散粒子计数器□粒径屏蔽装置悬浮宏粒子与计数C13悬浮宏粒子采集与计数C.13.2□显微镜测量采样滤纸U梯级冲撞器#□C.13.3U离散

2、粒子计数器#□悬浮宠粒子计数无采□飞行时间粒子仪#□气流C.4单向流设施的风速测量C.2.2」□热风速计□超音速风速计（3维或相当3维）U旋翼风速计U皮托管与压力计#□非单向流设施的送风风速测量C.2.3□热风速计□超声风速计（3维或相当3维）□旋翼风速计□皮托管与压力计U一体式风量罩#□过滤器下风向总风虽测就C.2U文氏管计□孔流速计□皮托管与压力计送风管风虽测冒C.2□一体式风量罩□文氏管计U孔流速计U皮托管与压力计#□压差C.3□电子微压计□斜式压力计□机械式压差计过滤器安装后检漏C.4#□过滤器系统安装后泄漏扫描C.4U线性气溶胶光度计U对数气溶胶光度计□离散粒子计数器

3、□气溶胶发生器□气溶胶液□稀释系统U凝结核计数器#□安装在风管与空气处理机上的过滤器之测试C.4U线性气溶胶光度计□对数气溶胶光度计□离散粒子计数器U气溶胶发生器选择测试顺序测试内容测试程序参照条款选择测试仪器测试仪器气溶胶液□稀释系统□凝结核计数器#□气流方向和目检C.5n气溶胶发生器□示踪剂n热风速计n3维超声风速计□气溶胶发生器温度C.6#□i般温度C.6.2.1n玻璃温度计n数字温度计综合温度C.6.2.2□玻璃温度计数字温度计#□湿度C.7□湿度监测器（电容性）□湿度监测器（毛发式）□露点传感器n智能记录仪静电与离子发生器U15#□静电C」5n压电电压计□髙阻计□充电

4、板监测器#□自净时间C.ll□离散粒子计数器气溶胶发生器密闭性检测C.8离散粒子计数器法□离散粒子计数器□气溶胶发生器□稀释系统光度计法□光度计n气溶胶发生器#□噪声C.9n倍频程声级计□声级计#□照度CIO□照度计#□浮游菌、沉降菌C」6：i培养皿n培养基□采样器注：1测试可在第1列的格中按所选择的测试项目编号。2在第4列屮，测试可按所选的测试方法选择测试仪器。（二）测试方法A、空气洁净度等级测试1、木节提出的空气洁净度等级测试，主要是参照国际标准《洁净室及相关受控环境，第1部份：空气洁净度分级和第3部份:检测方法ISO14644-1iHlISO14644-3,并结合我国目前

5、的实际进行制定。2、空气洁净度等级的测试一般采用粒了计数器，采样量应大于lL/mino测试粒径大于等于0.5pm粒了时，宜采川光散射粒了计数器；测试粒径大于等于0.1的粒了时，宜采用大流量激光粒子计数器（采样量每分钟28.3L）；测试粒径小于0.1pm的超微粒子时，宜采用凝聚核激光粒子计数器。3、采样点确定（1）应按下式计算最少采样点川厶=顶（C.1.3）式小N厶——最少采样点，四舍五入取整数；A——洁净室（区）的而积。在水平单向流时，指与气流方向垂直的流动空气的截面积。以册计。（2）采样点应均匀分布于洁净室（区）的面积内，并位于工作区高度。4、每次采样的戢少采样量（1）每个采

6、样点的每次采样量（Vs）应按下式计算：20vs.=——xl000（L）（C.1.4）式中：Cnm——被测洁净室（区）空气洁净度等级被测粒径的允许限值（个/n?）；20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时，町检测到的粒子数。（2）每个采样点的采样量至少为2L,采样时间最少为lmim当洁净室（区）仅有1个采样点时，则在该点至少采样3次。当Vs很大时，采样时间会很长，町参照采用ISO14644-1附录F中规定的顺序采样法。5、对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向，对于非单向流洁净室，采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度。6、室内测试人员必须穿洁净服，不得超过3人，应位于测试

7、点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。7、每个采样次数为2次或2次以上的采样点，应按式C丄7计算平均粒子浓度。xJj+Xj+•••+/•”（C.1.7）n式中：Xi—采样点i的平均粒子浓度，i可代表任何位置；XiA至X“——每次采样的粒子浓度；n——在采样点i的采样次数。8、采样点为1个时，应按式C.1.7计算该点平均粒子浓度。采样点为10个或10个以上时,按式C.1.7计算各点的平均浓度麻，再按式C.1.8计算洁净室（区）总平均值。乙X,