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1、第!"卷!第"期!光学精密工程6378!"!938"!!!!!!!!!!!!!!!!#$$%年&月!!!’()*+,-./012+*,*3.4.5*.221*.5!!:;58#$$%文章编号!!$$"=>#"M$#$$%%$"=$<"<=$&超精密非球面镜面模具直轴磨削的研究欧阳渺安!佛山职业技术学院"广东佛山<#&$$$#摘要!研究了非球面镜面模具直轴超精密磨削技术&给出了非球面镜面模具超精密加工机理’算法原理’软硬件结构’系统实现’工艺分析及实例应用&开发了小型超精密非球面镜面加工系统@GQ?:D!8$(研究结果表明&系统原理正确&加工出的非球面光学零部件形状误差在!$$.L
2、以下&表面粗糙度在<.L以下&达到纳米级加工精度(开发的系统使用方便&成本低(关!键!词!超精密加工!直轴磨削!单点金刚石切削!非球面镜面模具!计算机辅助制造中图分类号!QR!N!8%&"!!文献标识码!:B#.+4*/.)#0"?20%(’-’*,C%0#’(")10’,+’,1/*0"-2$%0’()%,-&*.)+’‘_:9GD*-3=-.$2.*#$%5.<6+-’#%,’".<<-&-&2.*#$%<#&$$$&"#,%$%53-#0"(#)QB2L2+B-.*,L3V;7)1-=(12+*,*3.L-+B*.*.5&)B2-7531*)BL3V(1*.+*(72&)B
3、2,)1;+);12,3VB-1/X-12-./,3V)X-12&)B212-7*a-)*3.3V?3L(;)21:*/2/D-.;V-+);12$?:D%,K,)2L-./)B2-.-7K=,*,3V(13+2,,*.5X212,);/*2/-./(12,2.)2/)3/2-7X*)BW21)*+-751*./*.5-./@*.57203*.)I*-L3./Q;1.*.5$@0IQ%8QB2?:D,K,)2L3V,L-77,*a2;7)1-=(12+*,*3.-,(B21*+72.,V31W21)*+-751*./*.5$@GQ?:D!8$%X-,/2W273(2/8QB2(1
4、*.+*(72*,(13W2/)3U2+3112+)-./)B212,;7),-12;()3)B2.-.3L-.;V-+);1*.5(12+*,*3.X*)B)B2V31L21131;./21!$$.L-./)B2,;1V-+2,L33)B.2,,;./21<.L8QB2+3.V7*+),U2)X22.B;52L-1P2)12Y;*12L2.),3V3()*+-7(13/;+),-./)B2B*5B(1*+23V+3./*=)*3.-7;7)1-=(12+*,*3..;L21*+-7L-+B*.2)337,X*77U212,37W2/UK)B273X/2W273(*.5+3,),
5、3V)B2,K,=)2L86%47*0+-);7)1-=(12+*,*3.L-+B*.*.5!W21)*+-751*./*.5!@*.57203*.)I*-L3./Q;1.*.5$@0IQ%!-,=(B21*+72.,L3;7/!?3L(;)21:*/2/D-.;V-+);12$?:D%内外有关专家投入了大量的人力物力&已经取得8!引!言了初步的研究成果(非球面光学产品有着无可比拟的光学性能和广阔的应用前景(在国防’航空!!非球面镜面超精密加工技术的研究一直是制航天领域&大型或超大型光学产品的开发是国防造领域的热点和难点&从#$世纪%$年代以来&国空间技术的关键&体现着一个国家的
6、技术实力和!!收稿日期!#$$<=!!=!&"修订日期!#$$%=$%=!N8!!基金项目!国家自然科学基金项目!国家"八五#重点攻关项目$938&<=N!>=#N%<"%!!!!!光学!精密工程!!!!!第!"卷经济实力!在CQ突飞猛进的时代"除国防#空间主轴上"而砂轮空气主轴固定于机床立柱"立柱沿技术宏观领域外"更多的民用光学产品如数码相P轴方向直线运动!调整P轴坐标"使加工接触机#电脑摄像头#I6I拾取头#光纤通讯以及激光点通过工件的中心&刀具对心’"加工过程中"O#S产品"也在朝小型#微型等微观方向发展"成为与两轴联动"完成非球面曲线形状加工!直轴磨削人民生活息息相关的核
7、心技术!西方发达国家"&‘0GQ=621)*+-7G1*./*.5’中"砂轮的回转运动"尤其是美国#日本和英国"已经有了成熟的超精密工件的回转运动在数控装置的控制下产生O#S机床设备及工艺研究成果"它们代表了当今世界两轴联动"主要完成高硬度材料的模具加工"原理的超精密制造水平"但其开发成本也相当高"一些上与数控车削是相同的"因此对于铜#铝等有色金典型设备市场价格在&$$万人民币左右!在发展属的加工"常采用原理方式一致的单点金刚石切中国家"这项技术还存在相当大的差距"尤其是经削&@
