微振动对超精密磨削光学非球面的成型精度影响研究.pdf

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1、分类号UDC：密级编号微振动对超精密磨削光学非球面的成型精度影响研究studYontheInflmtofMicro-VibrationollFormingAccuracy。fth8OpticalAsphericalsurfaceduringUltrapreciseGrinding学位授予单位及代码：量壹理王盘堂(!盟墅2学科专业名称及代码：扭越退让厦堡监fQ8Q2塑2研究方向：』壁苣崆煎甄蛰自i童磨剀挂苤申请学位级别：亟±指导教师：——』笙占垦』熬主要2研究生：逝塞监论文起止时间：—2009．12--—2010．12长春理工大学硕士学位论文原创性声明奉人郑重声明：所呈交的硕士学位论文《微振动埘

2、趣精密蜉削光学m球If

3、j的成型精度影【州研究》足本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成粜。除文。I’已经}i

4、!jI引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰，；过的作r铀成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文qt以明确方式栩、I¨术人完全意识到奉声明的法律结果由本人承担。作者簦#：遗i碴!!}『i：兰』』塑

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6、长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位呛义作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕上、博卜学化论文版权使用规定”，同意长春理』。大学保留并向国家有关部门或机构送交学似论文的复印什舯Uf版，允许论文被查阅和借阅。本人授权K存理r人学可以将小，’产

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8、^史的个*jl哎，；，分内锋编八仃关数据库进行检索．【!土可采J}J影印、缩印或十㈨4，}业．}“r段M仃州编学位论叟。作者誉g：渔!毯!!!』!1．i』]堡ll指e㈨j签痧轴娅_：划婴_I摘要本文在系统总结分祈国内外非球面超精密磨削加工技术发展现状的基础上，系统研究了非球面超精密数控磨床的砂轮轴和磨床主轴的微振动对非球面磨削加工的面形精度的影响。利用Solidworks软件建立了砂轮轴及支座、磨床主轴的三维模型，用ANSYS软件进行了砂轮轴、砂轮支座、磨床主轴固有频率的仿真分析，建立了砂轮轴和磨床主轴的径向微振动和轴向微振动对磨削非球面面形精度影响的数学模型，分析了砂轮轴和磨床主轴径向和

9、轴向微振动对加工精度的影响。所设计的高精度激光非接触砂轮轴和磨床主轴微振动测量装置的测量精度达到0、020m，系统研究了改变砂轮轴和磨床主轴的转速、砂轮轴静压轴承和磨床主轴静压轴承的油压对砂轮轴和磨床主轴的径向微振动和轴向微振动的影响．发现随着砂轮轴和磨床主轴转速增加，砂轮轴径向和轴向振动、磨床主轴的径向振动减少。得出了使砂轮轴综合微振动量塌小时的砂轮轴的转速和油压，以及使磨床主轴微振动量最小时的磨床主轴的转速和油压，并在此种条件下加工了一块丽型精度小于4帅的中型非球面，达到了高精度非球面数控磨削机床的设计要求。关键词：非球面磨削振动跳动ABSTRACTThispaperpresentsthe

10、influenceofthejumpinessofthe鲥ndingspindleandthemninshaftlnultraprecisenumericalcontroIgrindingmachineonthesurfaceprecisionduringtheasphericsurfacegrounding．whichisbasedonthegeneralizationandanalysesofthedevelopmentoftheasphericsurfaceultraprecisegroundinghomeandabroad1k3Dmodelsof山egrindingspindle．be

11、aringandthemainshaftareestablishedbySolidworks．andthesimulationofthenaturalfrequencyofthese3DmodekareproceedhyANSYSinthemeantime．山emathematica】modeloftheinfluenceonthesurfaceprecisionresultedbyradialjumpinessandtheaxialfumpinessisestablished，whichpresentstheconcreteinftuenceonthemachiningprecisionof

12、thegrinder．Themeasuringaccuracyofthelasernon-contactmeasuringdevicewithhighprecisionwedesignedtomessl“'etheiumpinessofthe硝ndingspindleandthemainshat矗isO02pmFurthermore，theinfluenceontheradialjumpiness