五氧化二钒薄膜原子层沉积制备及其光学与电学特性研究

《五氧化二钒薄膜原子层沉积制备及其光学与电学特性研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、-博士学位论文五氧化二钒薄膜原子层沉积制备及其光学与电学特性研究作者姓名：张天宁指导教师：戴宁研究员中科院上海技术物理研究所陈鑫研究员中科院上海技术物理研究所学位类别:理学博士学科专业:微电子学与固体电子学培养单位:中国科学院上海技术物理研究所2018年6月中国科学院大学研究生学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文是本人在导师的指导下独立进行研究工作所取得的成果。尽我所知，除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对论文所涉及的研究工作做出贡献的其

2、他个人和集体，均已在文中以明确方式标明或致谢。作者签名：日期：中国科学院大学学位论文授权使用声明本人完全了解中国科学院大学有关保留，使用学位论文的规定，即：学校有权保存学位论文的印刷本和电子版，并提供目录检索与阅览服务；学校可以公布论文的全部或部分内容，可以采用影印、缩印、数字化或其它复制手段保存学位论文。本人同意《中国优秀博硕士学位论文全文数据库》出版章程的内容，愿意将学位论文提交《中国学术期刊（光盘版）》电子杂志社，编入CNKI学位论文全文数据库并充实到“学位论文学术不端行为检测系统”比对资源库，

3、同意按章程规定享受相关权益。保密论文在解密后遵守此规定。论文作者签名：指导教师签名：日期：年月日Atomic-Layer-DepositedpreparationofvanadiumpentoxidethinfilmsandtheiropticalandelectricalpropertiesAdissertation/thesissubmittedtoUniversityofChineseAcademyofSciencesinpartialfulfillmentoftherequirementfor

4、thedegreeofDoctorofPhilosophyinMicroelectronics&SolidElectronicsByZhangTianningSupervisor:ProfessorDaiNingProfessorChenXinShanghaiInstituteofTechnicalPhysicsoftheChineseAcademyofSciencesJune,2018摘要致谢素时锦年，稍纵即逝。五年青春年华，似沙漏般，流在昨天。在从事博士研究的五年间，感谢上海技术物理研究所为我提供

5、的一个海纳百川的学术环境、严肃认真的学术氛围，使我学到了很多知识，懂得了很多道理。感谢技术物理研究所的全体老师，你们渊博的学术功底与严谨的治学态度将我带入了我儿时所憧憬的科学殿堂。感谢我的导师戴宁老师对我的教导。戴老师理论扎实，见解独到，让我切身领会了学者的大家风范。戴老师不仅在学术上对我悉心指导，更是在为人处事上为我指明方向。您高深精湛的造诣与严谨求实的治学精神将永远激励着我。感谢我的导师陈鑫老师对我的教导。陈老师敏捷的科研思维以及良好的科研习惯为我树立了标杆和榜样。在论文的写作过程中，陈老师从选题

6、，构思到最后定稿的各个环节都对我进行了细心地指导，使我受益匪浅。感谢课题组孙艳老师对我学习和生活上的关心与帮助，让课题组如家一般温暖。感谢课题组胡古今老师、俞国林老师、胡淑红老师、邓惠勇老师、郝加明老师的指导与帮助，老师们严谨的科研态度给我留下了深刻的印象，给我带来前进的动力。感谢研究生部汪骏发、李淑微、朱晓琳、黄曦等老师的关心与帮助。感谢课题组葛美英、刘玉峰、黄婵燕、魏调兴、董文静、张云、张克难、邹娟娟、赵强、刘雨丛、王洋、王超等师兄师姐对我的指导。感谢课题组俞伟伟、王书霞、魏威、孙鹏、黄田田、彭芳

7、、邱梦霞等同学的支持与帮助，使我的研究生生活充实而有趣味。感谢复旦大学王子仪、张铭颖、郑华、翟晨慧、石跃杰等同学在光学测试中提供的帮助。感谢同济大学任伟娜同学在电化学测试中提供的帮助。感谢与我一起生活学习了五年的同学们，感谢宿舍的阿姨，感谢所有为我提供过帮助的人。感谢这美好而难忘的思念中所有的一切。感谢我的父母，没有你们的教导与支持，永远不会有我的今天。你们是我最坚强的后盾！特别感谢我的妻子马雪妍对我的关心与支持。你的出现为我的博士生涯添加了一道更绚丽的色彩。最后，衷心感谢各位评审专家百忙之中抽空评阅

8、我的论文！张天宁2018年4月摘要摘要五氧化二钒因具有许多独特的光学和电学性质而得到了广泛的研究。这些性质使得五氧化二钒在能量存储、红外探测、电致变色、气敏传感、催化等众多领域有着巨大的应用价值。随着近年来纳米技术的发展，超薄五氧化二钒薄膜因其优异性能逐渐成为人们的研究热点。然而，对于超薄五氧化二钒薄膜而言，传统薄膜制备工艺很难在复杂结构上实现对薄膜的厚度和均匀性的精确控制。这也使得传统薄膜制备手段难以满足当前各领域器件小型化，结构复杂化的发展需求。本文