nio薄膜制备及其光学特性的研究

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1、长春理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文．(NiO薄膜的制备及其光学特性的研究》是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外．本论文不包台任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名：邋兰!堡年—三月芝日长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工太学硕士、博士学位论文版权使用规定”．同意睦春理工大学保留并向中国辩学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文

2、全文数据库和CNKI系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版．允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫拙等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名：邋—90—12-年三月盟闩导师签名：兰麴摘要NiO是一种用途广泛的半导体材料．通常以绿色粉末状存在，它的分子量为74．70。具有立方晶体结构。在功能材料中，NiO薄膜具备了许多优异的性能．在热敏元件、气敏元件、光探测器等电子元件方面具有良好的应用前景，NiO薄膜的制备工艺有很多种，主要有脉冲激光沉积技术．溶胶凝胶法．化

3、学气相沉积技术。喷雾热解法．分子束外延技术等等。各种制各工艺备具特点。这些制各技术及其制备时的工艺参数都会对NiO薄膜的厚度、表面形貌、结晶趋向以及光学、电学特性等性质有一定的影响。本论文采用射频反应磁控溅射法制各了Ni0薄膜，并研宄了溅射气压，溅射功率及氧氩比对Ni0薄膜结构、光学等性质的影响．本论文在制各了NiO薄膜基础上．利用现有的实验条件制备了基于NiO薄膜的pn结型紫外探测器原理器件．并对器件的紫外光敏特性进行了初步研究，最后给出了结论。关键词：NiO薄膜射频磁控溅射光学特性紫外探测器ABSTRACTNiOisakindofsemiconductor

4、materialswhichlswidelyused．itisusuallyexistenceintheformofgreenoreItsmolecularweightis7470．ithasacubiccrystallinestructureNiOhasmanyexcellentpropertiesaslhnctionalmaterials；ithasagoodapplicationprospectinthermosensitiveelements。gas·sensitiveelements，lightdetectorsandotherelectmnicco

5、mponentsTherearemanyrnethodsloformNiO山infilm．“inchidespulsedlaserdeposldon(PLD)，S01．gel，metalorgmlicchemicalvapourdeposition(MOCVD)，spraypyrolysis，molecularbeamepitaxy(MBE)andsoonThepropeaiesofNiOthinfilmisstronglydependonthepreparationmethods，andeachpreparationparmrtetersstronglyef

6、fectonthethickness，thesurfacemorphology,crystallizationandopticalandelectricalpropertiesofNiOminfilmsInthispaper，NiOthinfilmswe爬grownonbyradiofrequencyreacdvemagaetronsputteringmethodTheeffectsofspuneringIcchnologiealpargtmeterssuchasthespuaefingo"ssm．sputteHngpowerandtheO／Atrationo

7、fNiOthinfilmonthestructuralandpropertiesofNiOthinfilmswereinvestigated．BasedoilthesuccessfullypreparationofNiOthinfilms，theNiO-basedultravioletdetectorwithapnjunctionstmcturewerefabricatedandtheultravioletphotosensitivepropertiesofthedeviceweminvestigatedFinally80meconclusionsweredr

8、awnKeywords：NiOthin