真空箱的工作原理

《真空箱的工作原理》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、箱体示意图箱体工作流程首先打开预抽阀门由预抽泵组对箱体抽空25秒（粗抽），然后关闭预抽阀门，再打开检漏阀门由检漏泵组继续对箱体进行抽空（精抽），并不断判断真空箱的真空度有没有到达检漏真空度（一般是10~20Pa），如果真空到达则打开检漏仪阀门，让检漏仪检测信号的大小。真空箱的工作原理充入氦气的工件真空箱检漏仪检漏仪阀门预抽泵组检漏泵组预抽阀检漏阀真空传感器具体说明与箱体的相关参数检漏压力响应时间报警阈值开关门超时时间预抽时间真空箱检漏超时时间检漏压力检漏压力和箱体本底的关系本底的概念本底是指没有

2、氦气信号输入时检漏仪显示的值。真空箱本底是指真空箱内不放任何物体时，检漏仪显示的信号。如果真空箱内放入工件后，由于工件表面存在放气现象，可能会造成抽真空的时间加长，如空箱时需要15秒可将箱内真空度抽到10Pa，但是放入工件后可能需要18秒才能抽到10Pa。此时在相同的真空下箱体的本底值可能是不一样的，这是由于工件表面虽然会藏气，但是这些藏气的氦气含量较低，由于真空箱预抽的时间变长所以氦气浓度更低，本底也就相应变小。如果检漏压力设定的太高，如设定到100Pa则可能箱体的本底会很高，可能会高达10-

3、8Pa·m3/S，这样可能会产生误报。但是如果将检漏的压力设定的过低，虽然可以提高检漏精度，但是会延长抽空的时间，造成效率的下降。所以检漏压力的设定应该根据箱内工件的实际情况设定。具体方法如下，取两只合格的工件，将他们放入箱内然后设定检漏压力为18Pa测试此时箱体产生的本底信号。如果本底高于2.0X10-9Pa·m3/S，则再将检漏压力设定低一点，如果低于此值，则可以将检漏压力调的在高一点，一般的准则是在保证检测精度情况下尽量增大检漏压力。响应时间响应时间的存在是由于氦气从漏孔中漏出后在箱体里要

4、产生平衡的时间（也就是信号达到最大值的时间），这个时间和箱体的体积，泵组的抽速有直接关系，从实验数据得出响应时间等于箱体的体积除泵组的抽速，这个时间就是箱内氦气达到平衡的时间。此外由于箱体和检漏仪接通的一瞬间箱体和检漏仪检漏口的真空度是不一样的，所以会产生一个冲击。由于现在的这台真空箱采用的检漏泵组抽速很大，所以相应时间很短（箱体的体积约为1立方，抽速越为300升/秒））约为4秒，但是由于存在冲击（约为8秒），所以响应时间的设定应该大于8秒。报警阈值当检漏仪检测到信号超过此值的时候，系统判断工件

5、为不合格报警阈值的设定本底和真空度的关系真空箱的本底和真空箱内的真空度和环境中的氦气含量有关，如果真空箱的真空度比较高，则相应箱体内的氦气含量要更少，所以箱体的本底相对较低；但是如果周围环境中的氦气含量较高则在箱体内的真空度相同的情况下，氦气含量可能要稍高一点。标准漏孔目前提供的漏孔在漏孔内压力为1个atm的情况下漏孔大小为4。6X10-7Pa·m3/S，将他放入箱内，产生的信号约为2~3X10-9Pa·m3/S。报警阈值分压比分压比是由于检漏时抽空箱体的罗次泵组和检漏仪泵组同时参与了对箱体抽空

6、。所以氦气一部分被大抽速的罗次泵抽走，只有一小部分被检漏仪的泵抽走，这两部分的气体的比例和泵组的抽速成比例（罗次泵组在10Pa左右的抽速约为300L/S，检漏仪泵的抽速约为1.5L/S），所以分压比约为200左右,也就是说如果工件产生的信号是201个单位，那么检漏仪实际只能检测到1个单位的信号。漏孔产生的信号和浓度压力关系信号大小和浓度，充氦压力的关系：（2克/年的漏孔在充氦浓度为100%和充氦压力为15公斤时，换算成氦气的漏孔为1.5X10-6Pa·m3/S）信号的大小和浓度及压力成正比，如果

7、压力为15公斤，充氦浓度为50%，那么泄露量为0.75X10-6Pa·m3/S，通例如果充氦浓度为100%充氦的压力为7。5公斤，氦气的泄露量为0.75X10-6Pa·m3/S。报警漏率的确定将未充入氦气的工件放入箱内，开始一次检漏过程。并记录下检漏结束时真空箱的本底值，(本底值)Vu1记下，然后将标准漏孔调到工件的漏率，（对于1.5X10-6Pa·m3/S）应该将漏孔的压力保持在1bar然后将漏孔放入真空箱,然后再开始一次检漏.在检漏阀关闭时记下漏率的值Vu2,用Vu2-Vu1=Vu3的值,V

8、u3的值就是标漏产生的实际漏率.以后如果要调整报警值,只需要再做一次空箱的本底值,然后将Vu3通过充氦浓度和压力进行修正既将Vu3的值乘浓度和当前压力/15公斤的值得出最后的值Vu4,将此值或较小一点的值做为报警阈值就可以了.其他参数开关门超时时间如果箱门在设定的时间内都没有关闭的话则系统会报警，提示系统有故障，在触摸屏上会有提示。预抽时间设定预抽阀门打开的时间。在此时间内箱体一直处于预抽状态真空箱检漏超时时间设定箱体抽空到检漏压力所允许的最大时间，如果在此时间内箱体都没有抽到次压力则会提示系统