单晶硅片超精密磨削技术与设备

《单晶硅片超精密磨削技术与设备》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、中国机械工程第２１卷第１８期２０１０年９月下半月单晶硅片超精密磨削技术与设备朱祥龙康仁科董志刚郭东明大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，大连，１１６０２４摘要：结合单晶硅片的发展，回顾了单晶硅片超精密磨削技术与设备的发展历程，对比分析了广泛应用的转台式磨削、硅片旋转磨削和双面磨削等硅片磨削技术的原理及代表性设备的特点，讨论了用于单晶硅片平整化加工和背面减薄加工的低损伤磨削技术的最新进展，并对单晶硅片磨削技术的发展趋势进行了展望。关键词：单晶硅片；超精密磨削；磨削设备；低损伤磨削；平整化；背面减薄中图分类号：ＴＮ３０５．１文章编号：１００４—

2、１３２Ｘ（２０１０）１８—２１５６—０９Ｕｌｔｒａ－ｐｒｅｃｉｓｉｏｎＧｒｉｎｄｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｎｄＧｒｉｎｄｅｒｏｆＳｉｌｉｃｏｎＷａｆｅｒｓＺｈｕＸｉａｎｇｌｏｎｇＫａｎｇＲｅｎｋｅＤｏｎｇＺｈｉｇａｎｇＧｕｏＤｏｎｇｍｉｎｇＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｆｏｒＰｒｅｃｉｓｉｏｎａｎｄＮｏｎ－ｔｒａｄｉｔｉｏｎａｌＭａｃｈｉｎｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＭｉｎｉｓｔｒｙｏｆＥｄｕｃａｔｉｏｎ，ＤａｌｉａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｄａｌｉａｎ，Ｌｉａｏｎｉｎｇ，１１６０２４Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅａｄｖａｎｃｅｓｏ

3、ｆｓｕｒｆａｃｅｇｒｉｎｄｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｎｄｇｒｉｎｄｅｒｏｆｓｉｌｉｃｏｎｗａｆｅｒｓｗｅｒｅｉｎｔｒｏ－ｄｕｃｅｄｂａｓｅｄｏｎｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆｓｉｌｉｃｏｎｗａｆｅｒｓ．Ｔｈｅｇｒｉｎｄｉｎｇｐｒｉｎｃｉｐｌｅｓａｎｄｔｈｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｒｅｐｒｅｓｅｎｔａｔｉｖｅｇｒｉｎｄｅｒｓｗｉｄｅｌｙｕｓｉｎｇｆｏｒｓｉｌｉｃｏｎｗａｆｅｒｇｒｉｎｄｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ，ｉ．ｅ．，ｒｏｔａｒｙｔａｂｌｅｇｒｉｎｄ－ｉｎｇ，ｗａｆｅｒｒｏｔａｔｉｏｎｇｒｉｎｄｉｎｇ，ａｎｄｄｏｕｂｌｅ－ｓｉｄ

4、ｅｇｒｉｎｄｉｎｇ，ｗｅｒｅｃｏｍｐａｒａｔｉｖｅｌｙａｎａｌｙｚｅｄ．Ｔｈｅｌａｔｅｓｔａｄ－ｖａｎｃｅｓｏｆｌｏｗ－ｄａｍａｇｅｇｒｉｎｄｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓｆｏｒｓｉｌｉｃｏｎｗａｆｅｒｓｂａｃｋｔｈｉｎｎｉｎｇａｎｄｐｌａｎａｒｉｚａｔｉｏｎｗｅｒｅｄｉｓｃｕｓｓｅｄａｎｄｔｈｅｔｒｅｎｄｏｆｔｈｅｗａｆｅｒｇｒｉｎｄｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙｗａｓｐｒｏｓｐｅｃｔｅｄ．Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｓｉｌｉｃｏｎｗａｆｅｒ；ｕｌｔｒａ－ｐｒｅｃｉｓｉｏｎｇｒｉｎｄｉｎｇ；ｇｒｉｎｄｅｒ；ｌｏｗ－ｄａｍａｇｅｇｒｉｎｄｉｎｇ；ｐｌａｎａｒｉｚ

5、ａ－ｔｉｏｎ；ｂａｃｋｔｈｉｎｎｉｎｇ０引言程（ｆｒｏｎｔ－ｅｎｄ）、晶圆测试（ｗａｆｅｒｔｅｓｔ）和后道制微电子行业是全球最大的产业，２００９年全球程（ｂａｃｋ－ｅｎｄ）。在硅片制备阶段，硅晶棒需要经半导体行业的年产值已达到２２８４亿美元。单晶过切片（内圆锯或线锯）、平整化、腐蚀和抛光加工硅片是集成电路（ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｃｉｒｃｕｉｔ，ＩＣ）制造中以形成具有光滑无损伤表面的单晶硅片。受成品最重要的衬底材料。ＩＣ芯片的制作过程包括四芯片制造成本因素的驱动，硅片尺寸不断增大，已个阶段：硅片制备（ｗａｆｅｒｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ）、前道制由半世

6、纪前的１２．５ｍｍ增加到目前的［１］。随着硅片尺寸的增大，对硅片面型３００ｍｍ收稿日期：２０１０—０１—２８精度的要求也不断提高。例如，对于２００ｍｍ和基金项目：国家高技术研究发展计划（８６３计划）资助项目，要求其总厚度变化（ｔｏｔａｌｔｈｉｃｋ－３００ｍｍ的硅片（２００８ＡＡ０４２５０５）；国家科技重大专项０２专项（２００９ＺＸ０２０１１）；ｎｅｓｓｖａｒｉａｔｉｏｎ，ＴＴＶ）分别小于１０μｍ和３μｍ。由ＮＳＦＣ－广东省联合基金资助项目（Ｕ０７３４００８）

7、ｐｕｔａｂｉｌｉｔｙ，ＣｏｍｐｌｅｘｉｔｙａｎｄＲａｎｄｏｍｎｅｓｓ．Ｎａｎｊｉｎｇ，［１１］ＣｈａｅＪ．ＰａｒｋＳＳ，ＦｒｅｉｈｅｉｔＴ．ＩｎｖｅｓｔｉｇａｔｉｏｎｏｆＭｉｃｒｏ２００８：４１６－４４３．－ｃｕｔｔｉｎｇＯｐｅｒａｔｉｏｎｓ［Ｊ］．ＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌＪｏｕｒｎａｌｏｆ［８］王应朝．公差等级与精度等级及应用［Ｊ］．标准化报ＭａｃｈｉｎｅＴｏｏｌｓａｎｄＭａｎｕｆａｃｔｕｒｅ，２００６，４６（３／４）：道，１９９８，１９（１）：４３－４４．３１３－３３２．［９］ＨｙｕｎｇＷＰ．ＤｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆＭｉｃｒｏ－ｇ

8、ｒｉｎｄｉｎｇＭｅ－（编辑张洋）ｃｈａｎｉｃｓａｎｄＭａｃｈｉｎｅＴｏｏｌｓ［Ｄ］．Ａｔｌａｎｔａ：ＧｅｏｒｇｉａＩｎ－ｓ