《PECVD日常点检项目》

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1、《PECVD日常点检项目》1检查真空泵运行是否正常A真空泵的BP、MP值的察看；B真空泵自带的报警信息察看：至如下图信息后，按面板上的“Enter”键可进入，按面板上的“PRG”键可退出C真空泵背压值的察看：D真空泵氮气（N2）总压值，冷却水进出口有无漏水：E真空泵冷却水进出手阀状态及压力值：2检查尾气处理设备是否正常（详见《Scrubber日常点检项目》）3目查退舟和进舟机械结构是否正常A目视桨（Paddle）进退有无异常；B桨静止时目视其有无倾斜；C顺便目视提臂(Arm)在取、放舟时有无异常；D桨（Paddle）头的卡箍需要关注是否有松；4查看CMI电

2、脑警告内容PECVD触摸屏中CMI电脑警告内容中，显示了机器在这段时间内的运行中状况（Alarm菜单里）；5目检PECVD特气管路是否异常APECVD设备至Ebara真空泵BEbara真空泵至Scrubber设备之间的管路联接情况；C特气柜中特气管路的联接情况；D特气仪表参数值是否在正常范围内；A、B、C三部分，目视其各个联接头之间是否有颜色异常，如果有淡黄色的粉尘存在，就要做出更一步的细致检查与紧固相应接头；D部分，察看各气体压力值是否在标准范围内，压力值不能过大也不能过小；6目检PECVD真空泵进出气管路是否异常（详见[真空泵运行是否正常]）7查看CM

3、I电脑中显示加热电流状况APECVD炉内、外温度设定及实际值；BPECVD设备待机时的标准参数状况；SLS=UPScrubber=OFFSetpos=0mmTGA=YESDoor=ClosedActpos=0mmLift=readyPLC=OKTube=readyBoatStop=0BoatHomed=1BoatRefOK=1C加热电流百分比状况；8查看尾气NAOH情况目前NaOH都为自动加液，查看它是为了保证NaOH没有溢出的异常现象；9目检设备有无漏水A确保PECVD机台各个冷却水接入口没有漏水现像；B确保PECVD机台内部可控硅冷却水接口没有漏水现像

4、；10查看冷却水流量A炉门口冷却水流量检查（共四个流量计）；B加热区上方冷却水流量检查（共五个流量计）；C炉门尾冷却水流量检查（共四个流量计）；